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아크릴 측쇄에 디옥사스피로환기 유도체를 갖는 화합물을 이용한 포토레지스트

  • 기술번호 : KST2015111432
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 디옥사스피로환기를 측쇄에 갖는 아크릴 유도체들을 합성하고 이들을 단독으로 중합시킨 중합체 또는 다른 비닐아크릴 유도체와 중합시킨 공중합체의 감광특성을 이용한 포토레지스트에 관한 것이다.종래의 포토레지스트는 광산발생제(photoacid generator)에 의해 탈리된 보호기가 강알카리 수용액에 용해되는 반면 본 발명은 탈리된 보호기를 선택 조절하여 약알카리 수용액이나 순수 수용액만으로도 포지티브 패턴을 형성시킬 수 있고 가공상의 조건을 조절하여 네가티브 패턴도 형성 할 수 있다.본 발명에 의하여 디옥사스피로기를 측쇄에 갖는 아크릴 유도체들은 다음과 같은 일반식 (I), (Ⅱ)의 화학구조를 갖는다.
Int. CL G03F 7/039 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1019980031402 (1998.08.01)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0273172-0000 (2000.09.01)
공개번호/일자 10-2000-0012859 (2000.03.06) 문서열기
공고번호/일자 (20010302) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.08.01)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진백 대한민국 서울특별시 동대문구
2 박종진 대한민국 경기도 구리시
3 장지현 대한민국 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박형준 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로*길 **, *층 (서초동, 삼호빌딩)(한솔국제특허법률사무소)
2 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1998.08.01 수리 (Accepted) 1-1-1998-0096222-11
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.08.01 수리 (Accepted) 1-1-1998-0096223-67
3 특허출원서
Patent Application		 1998.08.01 수리 (Accepted) 1-1-1998-0096221-76
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
9 등록사정서
Decision to grant		 2000.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0158386-41
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

하기 일반식 (I)의 화학구조로 표시되는 디옥사스피로환기를 측쇄에 갖는 아크릴 유도체 화합물이 단독 중합체를 이루거나 또는 다른 비닐아크릴 유도체와 중합하여 공중합체를 이루는 것을 특징으로 하는 아크릴 측쇄에 디옥사스피로환기 유도체를 갖는 화합물을 이용한 포토레지스트

2 2

제 1항에 있어서, 디옥사스피로환기를 측쇄에 갖는 아크릴 유도체 화합물이 아래의 구조식 (Ⅱ)로 표시됨을 특징으로 하는 아크릴 측쇄에 디옥사스피로환기 유도체를 갖는 화합물을 이용한 포토레지스트

3 3

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 단독 중합체나 공중합체 형성시 광산발생제로 오니움염을 사용하여 포지티브 패턴과 네가티브 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 아크릴 측쇄에 디옥사스피로환기 유도체를 갖는 화합물을 이용한 포토레지스트

4 4

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 공중합체 형성시 비닐아크릴계 유도체의 측쇄에 히드로 피란, 터셔리-부틸에스테르, 터셔리-부틸카보네이트, 터셔리-부톡시 및 터셔리-부톡시카보닐 중에서 한가지 이상의 보호기를 갖는 것을 특징으로 하는 아크릴 측쇄에 디옥사스피로환기 유도체를 갖는 화합물을 이용한 포토레지스트

5 5

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 단독 중합체나 공중합체를 이용하는 포토레지스트 제조공정에서 노광은 포토마스크가 피막에 접촉된 상태 또는 접촉되지 않은 상태에서 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 아크릴 측쇄에 디옥사스피로환기 유도체를 갖는 화합물을 이용한 포토레지스트

6 6

제 1항 또는 제 2항에 있어서, 단독 중합체나 공중합체 형성시 현상액은 셀로 솔보 아세테이트, 프로판올, 시클로헥사논, 크실렌, 부틸 셀로솔브, 부틸카비톨, 프로필렌 글리콜 모노에틸 에테르, 프로필렌 글리콜, 트리 클로로에탄, 트리클로로에틸렌, 개질 클로로에탄, 이소프로판올, 디클로로메탄, 디옥산, 메틸에틸케톤, 클로로포름, 수산화테트라히드로퓨란, 2-에톡시에틸아세테이트, 아세톤 수산화 칼륨 수용액, 수산화나트륨 수용액, 탄산칼륨 수용액, 인산나트륨 수용액, 규산나트륨 수용액, 암모니아수, 수성아민용액, 실리콘계의 계면활성제를 한가지만 사용하거나 또는 두가지를 섞은 혼합물을 이용하여 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 아크릴 측쇄에 디옥사스피로환기 유도체를 갖는 화합물을 이용한 포토레지스트

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1 US06146811 US 미국 FAMILY

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1 US6146811 US 미국 DOCDBFAMILY
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