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(ⅰ) 실리케이트 전구체와 산성의 증류수-에틸알콜 혼합물을 각각 다공성 알루미나 지지체의 안쪽과 바깥쪽에서 확산시켜 기공 내부에서 실리카 솔을 생성시키고, 그를 젤화 및 열처리하여 지지체의 기공 크기가 감 소된 알루미나-실리카 복합막을 제조하는 공정; (ⅱ) 전기한 공정에서 제조한 알루미나-실리카 복합막의 양 끝부분을 진공 하에서 침적코팅용 실리카 솔에 담구어 실리카로 침적코팅하는 공정; 및, (ⅲ) 전기한 공정에서 침적코팅한 알루미나-실리카 복합막의 바깥쪽에 팔라 듐 전구체의 침투혼합액을 균일하게 흘려 넣어 주고, 전기 복합막의 내부를 진공으로 유지시켜 막의 기공에 팔라듐 전구체를 침투시키고 건조시킨 다음, 막의 안쪽에 진공을 걸어주면서 170℃ 내지 190℃까지 승온시켜 알루미나-실리카 복합막의 기공표면에 팔라듐을 증착시키고, 복합막의 내부를 진공으로 유지하면서 290℃ 내지 310℃까지 승온시켜 열처리하는 공정을 포함하는 팔라듐이 함침된 알루미나-실리카 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 알루미나 지지체는 비대칭성 관형 알루미나 지지체를 사용하는 것을 특 징으로 하는 팔라듐이 함침된 알루미나-실리카 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 실리케이트 전구체는 TMOS(tetramethylorthosilicate), TEOS(tetraethylorthosilicate), 테트라-n-프로폭시실란 (tetra-n-propoxysilane), 테트라-n-부톡시실란(tetra-n-butoxysilane) 및 테트라키스(2-메톡시에톡시)실란(tetrakis(2-methoxyethoxy)silane) 으로 구성된 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 팔라듐이 함침된 알루미나-실리카 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 산성의 증류수-에틸알콜 혼합물은 증류수:에틸알콜 = 2∼10 : 1∼2의 몰비로 혼합시키고, pH가 2
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제 4항에 있어서, 산성의 증류수-에틸알콜 혼합물은 증류수:에틸알콜 = 4:1의 몰비로 혼 합시키고 pH가 2
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제 1항에 있어서, 열처리는 450℃ 내지 550℃에서 120분 내지 170분 동안 질소 분위기 하 에서 수행하는 것을 특징으로 하는 팔라듐이 함침된 알루미나-실리카 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 침적코팅용 실리카 솔은 실리케이트 전구체를 1 ∼ 2의 몰비로 사용하 고, 증류수:에틸알콜 = 2∼5 : 3∼5의 몰비로 혼합시키고 pH가 2
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제 7항에 있어서, 침적코팅용 실리카 솔은 실리케이트 전구체를 1의 몰비로 사용하고, 증 류수:에틸알콜 = 4
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제 1항에 있어서, 팔라듐 전구체의 침투혼합액은 팔라듐(II)아세테이트를 아세톤 및 염산 에 용해시킨 혼합액을 사용하는 것을 특징으로 하는 팔라듐이 함침된 알루미나-실리카 복합막의 제조방법
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제 1항에 있어서, 팔라듐 전구체를 침투시켜 팔라듐 증착을 위한 승온시 복합막의 외부에 서 내부로 질소를 흘려주면서 승온시키는 것을 특징으로 하는 팔라듐이 함침된 알루미나-실리카 복합막의 제조방법
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