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진동구조물의고유진동수조정방법

  • 기술번호 : KST2015111526
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진동 구조물의 고유 진동수 조정 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 정전력이 가해지는 제 1 축 방향에 길이 방향이 일치하는 스프링 부재(3), 상기 제 1 축 방향에 평면상 직교하는 제 2 축 방향에 길이 방향이 일치하며 상기 스프링 부재(3)의 폭보다 좁은 폭을 지니는 제 2 축 방향의 스프링 부재(2, 4) 및, 질량체(5)를 구비하는 진동구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법에 있어서, 상기 진동 구조물(24)의 제 1 축 및 이에 수직으로 직교하는 제 3 축 방향에 대한 고유 진동수를 측정하는 측정 단계, 상기 제 1 축 방향의 고유 진동수를 고정시킨 상태에서 상기 제 3 축 방향의 고유 진동수를 조정할 수 있도록, 상기 제 1 축 방향의 스프링 부재(3)의 두께를 변화시키는 두께 증감 단계 및, 상기 측정 단계에서 측정된 제 1 축 및 제 3 축 방향의 고유 진동수가 허용 오차 범위내에 들어올때까지 상기의 측정 단계 및 두께 증감 단계를 반복하는 반복 단계를 포함하는 진동 구조물 (24)의 고유 진동수 조정방법이 제공된다. 본 발명에 따른 2 축 진동 구조물의 고유 진동수 조정방법은 진동 구조물의 고유 진동수를 설계치에 일치되게 조정할 수 있도록 함으로써 센서의 감도 향상, 직선성 향상, 작동 대역 폭의 증가를 가져오는 효과가 있다.
Int. CL G01H 13/00 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1019950013256 (1995.05.25)
출원인 삼성전자주식회사, 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0360479-0000 (2002.10.28)
공개번호/일자 10-1996-0042023 (1996.12.19) 문서열기
공고번호/일자 (20030319) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.03.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이기방 대한민국 서울특별시 마포구
2 조영호 대한민국 대전직할시유성구
3 송기무 대한민국 경기도성남시분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오규환 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, ****호 (역삼동, 유니온센터)(리제특허법률사무소)
2 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
3 권석흠 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)(유미특허법인)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자 주식회사 대한민국 경기 수원시 팔달구
2 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1995.05.25 수리 (Accepted) 1-1-1995-0057859-11
2 특허출원서
Patent Application
1995.05.25 수리 (Accepted) 1-1-1995-0057858-76
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
1998.07.03 수리 (Accepted) 1-1-1995-0057860-68
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002075-52
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0027796-82
6 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification
1999.08.31 수리 (Accepted) 1-1-1999-5317689-65
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.09.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0119956-71
8 출원심사청구서
Request for Examination
2000.03.29 수리 (Accepted) 1-1-2000-5090782-38
9 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2000.03.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5090784-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2000.08.09 수리 (Accepted) 4-1-2000-0106069-21
11 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2001.12.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
12 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2002.01.23 수리 (Accepted) 9-1-2002-0034185-83
13 출원인정보변경(경정)신고서
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2002.04.30 수리 (Accepted) 4-1-2002-0039038-35
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2002.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0194676-90
15 의견서
Written Opinion
2002.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2002-5191567-99
16 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2002.07.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-5191568-34
17 등록결정서
Decision to grant
2002.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0338209-25
18 출원인정보변경(경정)신고서
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2002.10.11 수리 (Accepted) 4-1-2002-0079231-78
19 출원인정보변경(경정)신고서
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2003.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2003-0000806-26
20 출원인정보변경(경정)신고서
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2003.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2003-5079986-93
21 출원인정보변경(경정)신고서
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2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
22 출원인정보변경(경정)신고서
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2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
23 출원인정보변경(경정)신고서
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2005.07.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5072608-11
24 출원인정보변경(경정)신고서
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2005.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2005-5079334-14
25 출원인정보변경(경정)신고서
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2012.06.21 수리 (Accepted) 4-1-2012-5132663-40
26 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
27 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
28 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
29 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
30 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
31 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
32 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

정전력이 가해지는 제 1 축 방향에 길이 방향이 일치하는 스프링 부재(3), 상기 제 1 축 방향에 평면상 직교하는 제 2 축 방향에 길이방향이 일치하며 상기 스프링 부재(3)의 폭보다 좁은 폭을 지니는 제 2 축 방향의 스프링 부재(2, 4) 및, 질량체(5)를 구비하는 진동 구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법에 있어서,

상기 진동 구조물(24)의 제 1 축 및 이에 수직으로

2 2

제 1 항에 있어서, 상기 두께 증감 단계는, 상기 구조물(24)의 제 3 축 방향 고유 진동수가 제 1 축 방향 고유 진동수보다 높을 경우 스프링 부재(3)의 두께를 감소시키는 두께 감소 단계를 특징으로 하는 진동 구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법

3 3

제 1 항에 있어서, 상기 두께 증감 단계는, 상기 구조물(24)의 제 3 축 방향 고유 진동수가 제 1 축 방향 고유 진동수보다 낮을 경우 스프링 부재(3)의 두께를 증가시키는 두께 증가 단계를 특징으로 하는 진동 구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법

4 4

제 2 항에 있어서, 상기 두께 감소 단계는 반응 이온 에칭, 플라즈마 에칭 또는 스퍼터링에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 진동 구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법

5 5

제 3 항에 있어서, 상기 두께 증가 단계는 스퍼터 종착, 이온 비임 스퍼터 증착, ECR 스퍼터링 증착, 이온 플레이팅, 분자 비임 에피탁시, 화학적 증기 증착 또는 MOCVD에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 진동 구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법

6 6

제 1 항에 있어서, 상기 두께 증감 단계는 상기 스프링부재(3)에서 두께 증감이 행해질 부분(53)에 대응하는 구멍(52)을 구비하는 마스크(51)를 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진동 구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법

7 7

정전력이 가해지는 방향과 일치하는 제 1 축 방향의 스프링부재(3), 상기 제 1 축 방향에 직교하며 상기 스프링 부재(3)의 폭보다 좁은 폭을 지니는 제 2 축 방향의 스프링 부재(2, 4) 및 질량체(5)를 구비하는 진동 구조물(24)이 설치된 진동형 자이로스코프(20)의 고유진동수 조정 방법에 있어서,

상기 진동 구조물(24)의 제 1 축 및 이에 직교하는 제 3 축 방향에 대한 고유 진동수를 측정하는 측정 단계,

상기 제 l축 방향의 고유 진동수를 고정시킨 상태에서 상기 제 3 축 방향의 고유 진동수를 조정할 수 있도록, 상기 제 1 축 방향의 스프링부재(3)의 두께를 변화시키는 두께 증감 단계 및,

상기 측정 단계에서 측정된 제 1 축 및 제 3 축 방향의 고유진동수가 허용 오차 범위내에 들어올때까지 상기의 측정 단계 및 두께 증감 단계를 반복하는 반복 단계를 포함하는 진동형 자이로스코프의 고유 진동수 조정 방법

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP03767943 JP 일본 FAMILY
2 JP08334333 JP 일본 FAMILY
3 US05804087 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 DE19620832 DE 독일 DOCDBFAMILY
2 DE19620832 DE 독일 DOCDBFAMILY
3 JP3767943 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP8334333 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JPH08334333 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 US5804087 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.