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레이저 이득매질, 광경로 및 입사된 빛을 입사방향과 반대방향으로 반사시키는 2개 이상의 반사체로 구성된 레이저 공진기 ; 상기 2개 이상의 반사체에서 반사하지 않고 통과한 빛을 간섭시키기 위한 간섭 수단 ; 및, 상기 간섭수단으로부터 출력된 간섭 신호를 검출하고 처리하기 위한 신호처리부를 포함하는 간섭계형 레이저 센서
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제1항에 있어서, 상기 레이저 매질로서 He-Ne 기체, Nd-YAG 막대(rod), Nd ; 유리 막대, Nd 막대, 루비 막대(ruby rod), 염료셀(dye cell), 희토류원소 첨가 광섬유 및 다이오드 증폭기 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서
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제1항에 있어서, 상기 광경로로서 진공, 대기, 유리, LinbO3 결정 및 광섬유 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서
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제1항에 있어서, 상기 반사체로서 반사경, 광섬유 브래그격자, 광섬유 루프 반사경 및 패러데이 반사경 중에서 선택된 적어도 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서
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제1항에 있어서, 상기 레이저 공진기가 1개의 모드를 발전시키는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서
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제1항에 있어서, 상기 레이저 공진기가 복수 개의 레이저 모드를 발진하고, 발진하는 레이저 모드의 종모드 번호가 모드 짝수 또는 홀수인 것을 특징으로 하는 간섭계형레이저 센서
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제1항에 있어서, 상기 레이저 공진기가 복수 개의 레이저 모드를 발진하고, 공진기 외부에 레이저 모드의 종모드를 선택하는 필터를 설치하여 간섭되는 레이저 모드들의 조오드 번호를 모두 짝수 또는 홀수로 선택하는 것을 특징으로 하는 간섭계형레이저 센서
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제1항에 있어서, 상기 간섭수단이 광분할기, 반사경, 광섬유 방향성 결합기, 집적 광학소자 및 미세 광학소자 중에서 선택된 적어도 하나를 포함하거나, 또는 유동하는 유체 자체인 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서
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제1항에 있어서, 상기 간섭수단이 집적 광학소자, PZT 위상 변조기, 미세 광학소자 위상 변조기 및 주파수 변환기 중에서 선택되는 신호 변조기를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계형 레이저 센서
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