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환화이미드로 치환된 스티렌계 유도체를 이용한포토레지스트

  • 기술번호 : KST2015111558
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하기 일반식(I)로 표시되는 스티렌계 유도체의 단독중합체 또는 공중합체를 이용한 화학증폭형 포토레지스트 및 그를 이용한 레지스트 패턴의 형성방법에 관한 것이다.상기 식에서,R1은 수소, 탄소수 1 내지 10의 알킬기, 탄소수 6 내지 12의 아릴기 또는 탄소수 3 내지 9의 트리알킬실릴기이고;R2는 탄소수 1 내지 10의 알킬기, -O-, -OR', -CO2R', -CONR', -SO2R' 또는 -PO2R'(R'는 탄소수 1 내지 12의 알킬기; 탄소수 6 내지 12의 아릴기 ; 또는, 시클로알킬기)이며;R3는 -OR', -SO3R', -CO2R', -SO2R' 또는 -PO2R(R'는 탄소수 1 내지 12의 알킬기; 탄소수 6 내지 12의 아릴기; 시클로알킬기; 또는, N, O, P 또는 S의 헤테로원자를 포함한 시클로기)이고;R4 및 R5는 탄소수 0 내지 5의 알킬기, -OH 또는 -OR(R은 탄소수 1 내지 10의 알킬기 또는 탄소수 6 내지 12의 아릴기)이며;R6는 수소, 탄소수 1 내지 5의 알킬기, 시클로알킬기, -OH, -CO2H, -CO2R'(R'는 탄소수 1 내지 10의 알킬기 또는 탄소수 6 내지 12의 아릴기) 또는 R5와 동일한 기이고; 및, n은 0또는 1의 정수이다.
Int. CL C08F 12/26 (2006.01.01) G03F 7/027 (2006.01.01)
CPC C08F 12/26(2013.01) C08F 12/26(2013.01)
출원번호/일자 1019960013287 (1996.04.27)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0190908-0000 (1999.01.21)
공개번호/일자 10-1997-0071138 (1997.11.07) 문서열기
공고번호/일자 (19990601) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1019980036589;
심사청구여부/일자 Y (1996.04.27)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김진백 대한민국 서울특별시 동대문구
2 박종진 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이한영 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 ** (서초동, 아트스페이스 ***빌딩 *층)(리앤리국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1996.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1996-0054006-13
2 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1996.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1996-0054007-69
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1996.04.27 수리 (Accepted) 1-1-1996-0054008-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1998.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1996-0020803-48
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 1998.09.04 수리 (Accepted) 1-1-1996-0054010-07
6 의견서
Written Opinion		 1998.09.04 수리 (Accepted) 1-1-1996-0054009-50
7 등록사정서
Decision to grant		 1998.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1996-0020806-85
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.06 수리 (Accepted) 4-1-1999-0030399-30
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

하기 일반식(I) 로 표시되는 측쇄에 환화이미드 유도체를 갖는 스티렌계 유도체;

지정국 정보가 없습니다

패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.