요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약
본 발명은 분광영역 30-300Å에 이용되는 평면결상형 극자외선 분광기와 그의 정렬을 위한 정렬장치에 관한 것이다. 분광기의 구성요소인 토로이드거울과 실틈, 에돌이발을 하나의 정렬판에 설치하여 각 구성요소의 정렬을 일괄적으로 쉽게 할 수 있도록 하였으며, 에돌이발의 각도와 극자외선 필름의 위치를 별도로 정렬하는 방법과, 토로이드거울을 제작하고 토로이드거울의 수평반경을 정렬하기 위한 토로이드거울 구부림 및 수평반경 정렬장치가 포함된다. 본 발명에 따른 분광기 정렬장치는 본 발명 분광기의 각 구성요소의 각도와 위치를 정렬하고, 분광특성에 가장 큰 영향을 미치는 에돌이발의 입사각도와 극자외선 필름의 위치를 독립적으로 정렬할 수 있게 하므로 본 발명 분광기의 특성을 극대화시키는 효과가 있다.
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번호
이름
국적
주소
1
한국과학기술원
대한민국
대전광역시 유성구
발명자
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번호
이름
국적
주소
1
남창희
대한민국
대전광역시 유성구
2
최일우
대한민국
대전광역시 유성구
3
이병훈
대한민국
경기도 수원시 팔달구
대리인
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번호
이름
국적
주소
1
이한영
대한민국
서울특별시 서초구 반포대로**길 ** (서초동, 아트스페이스 ***빌딩 *층)(리앤리국제특허법률사무소)
최종권리자
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번호
이름
국적
주소
1
한국과학기술원
대한민국
대전광역시 유성구
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번호
서류명
접수/발송일자
처리상태
접수/발송번호
1
특허출원서 Patent Application
1996.09.24
수리 (Accepted)
1-1-1996-0146181-75
2
출원심사청구서 Request for Examination
1996.09.24
수리 (Accepted)
1-1-1996-0146183-66
3
대리인선임신고서 Notification of assignment of agent
1996.09.24
수리 (Accepted)
1-1-1996-0146182-10
4
명세서등보정서 Amendment to Description, etc.
1996.12.28
수리 (Accepted)
1-1-1996-0146184-12
5
등록사정서 Decision to grant
1998.12.31
발송처리완료 (Completion of Transmission)
1-5-1996-0465803-18
6
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.01.08
수리 (Accepted)
4-1-1999-0002352-05
7
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.01.18
수리 (Accepted)
4-1-1999-0008675-76
8
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.02.01
수리 (Accepted)
4-1-1999-0025779-69
9
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.03.03
수리 (Accepted)
4-1-1999-0041039-77
10
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.06.21
수리 (Accepted)
4-1-1999-0085486-82
11
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2004.01.14
수리 (Accepted)
4-1-2004-0001933-29
12
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2004.03.19
수리 (Accepted)
4-1-2004-0012166-74
13
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2013.02.01
수리 (Accepted)
4-1-2013-5019983-17
14
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5157968-69
15
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5157993-01
16
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5158129-58
17
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2019.04.24
수리 (Accepted)
4-1-2019-5081392-49
18
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2020.05.15
수리 (Accepted)
4-1-2020-5108396-12
19
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2020.06.12
수리 (Accepted)
4-1-2020-5131486-63
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번호
청구항
1
1
광원으로부터 나오는 극자외선을 수렴성으로 반사하는 토로이드 거울과, 상기 토로이드거울에서 반사된 극자외선이 통과하는 실틈과, 상기 실틈을 통과한 극자외선을 에돌이빛으로 분산시키는 비등간격 오목에돌이발과, 상기 비등간격 오목에돌이발에서 형성된 에돌이빛을 검출하는 극자외선 필름으로 이루어진 평면결상형 극자외선 분광기에 있어서, 상기 토로이드거울, 실틈 및 비등간격 오목에돌이발이 하나의 정렬판에 함께 고정되고 상기 극자외선 필름은 상기 정렬판과 별도로 장착되는 것을 특징으로 하는 일괄정렬방식 평면결상형 극자외선 분광기
2
2
제1항에 있어서, 전기정렬판은 전기 토로이드거울과 실틈과 비등간격 오목에돌이발의 정렬시 표준으로 사용되는, 극자외선 광선의 진행경로를 나타내는 정렬기준선; 극자외선 광원으로부터 나오는 광선을 수렴성으로 반사하는 전기토로이드거울을 지지하기 위하여, 상기 정렬기준선을 따라 설치된 토로이드거울 지지대; 전기 토로이드거울에서 반사된 수렴성 광선이 투과하는 전기 실틈을 지지하기 위하여, 상기 정렬기준선을 따라 설치된 실틈 지지대; 전기 실틈을 통과한 광선을 에돌이빛으로 분산시키는 전기 비등간격 오목에돌이발을 지지하기 위하여, 상기 정렬기준선을 따라 설치된 에돌이발 지지대; 상기 정렬기준선의 시작점과 토로이드거울 지지대 사이와, 상기 토로이드거울 지지대와 실틈 지지대 사이와, 상기 실틈 지지대와 에돌이발 지지대 사이와, 상기 에돌이발 지지대와 정렬기준선이 끝점 사이에 설치되어 정렬용 레이저광선의 진행경로가 상기 정렬기준선과 일치하는지를 확인할 수 있는 다수의 침공; 및, 전기비등간격 오목에돌이발에서 형성된 에돌이빛 중 영차광을 차단하기 위한 영차광 차단거울로 구성된 일괄정렬방식 평면결상형 극자외선 분광기
3
3
제2항에 있어서, 상기 정렬판의 정렬기준선의 시작점과 끝점에, 분광기 정렬시에는 연결하고 정렬을 마친 후에는 제거할 수 있는 제1정렬보조판과 제2정렬보조판을 추가로 구비하는 일괄정렬방식 평면결상형 극자외선 분광기
4
4
길이방향으로 절단한 원통형 파이렉스관을 지지하는데; 상기 파이렉스관의 양쪽 끝부위의 외주와 접촉하도록 상기 대 위에 형성된 고정점; 상기 고정점이 상기 파이렉스관에 접촉하느 위치의 반대측에 접촉하도록 상기 대 위에 형성되어 상기 파이렉스관을 밀 수 있는 가동점; 및 상기 고정점 방향으로 상기 두 가동점을 밀어 소정곡률로 상기 파이렉스관을 구부릴 수 있게 하는 두 개의 마이크로미터로 구성된, 제1항의 토로이드거울을 제작하기 우한 토로이드거울 구부림 및 수평반경 정렬장치
5
5
제4항에 있어서, 상기 파이렉스관을 길이방향으로 움직이는 선형이동수단; 상기 파이렉스관을 향해 광선을 조사하는 정렬용 레이저광원; 상기 레이저광원에서 나오는 광선을 평행광선으로 변환하는 광선조준기; 및 상기 광선조준기에서 나오는 광선을 파이렉스관의 반사면에 비추어 그 반사되는 빛이 결상되는 결상막을 추가로 구비하는 토로이드거울 구부림 및 수평반경 정렬장치
6
6
제5항에 있어서,상기 광선조준기에서 나오는 평행광선의 방출위치와 결상막에 맺히는 반사광과의 편향거리가 d, 상기 파이렉스관의 이동거리가 x, 상기 파이렉스관과 상기 결상막과의 거리가 Y일 때 토로이드거울의 수평반경 R이 식
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.
본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
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특허 등록번호
10-0204113-0000
권리란
표시번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 권리란 표입니다.
표시번호
사항
1
출원 연월일 : 19960924
출원 번호 : 1019960041964
공고 연월일 : 19990615
공고 번호 :
특허결정(심결)연월일 : 19981231
청구범위의 항수 : 6
유별 : G02B 27/10
발명의 명칭 : 일괄정렬방식 평면결상형 극자외선 분광기와 그 정렬장치
존속기간(예정)만료일 : 20130326
특허권자란
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