요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약
본 발명은 실리콘 단결정 제조장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로 본 발명은 도가니 또는 시드의 회전속도를 가변시켜 고품질의 실리콘 단결정을 제조할 수 있는 실리콘 단결정 제조장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조방법에 관한 것이다.본 발명의 실리콘 단결정 제조장치는 시드회전축(1), 시드(2), 도가니(4), 히터(5), 도가니 회전축(9), 챔버(11) 및 단열층(12)으로 구성되며 초크랄스키법에 의해 실리콘 단결정을 제조하는 제조장치에 있어서, 직류발생기(31), 함수발생기(32), 전압가산회로(33) 및 스태핑 모터(34)로 구성되며 전기한 도가니(4)의 회전속도를 시간에 따라 가변시키기 위한 도가니 회전속도 제어수단(21)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 실리콘 단결정 제조장치는 복잡한 부대장치나 다량의 에너지 소모없이도 간단한 구성에 의해 실리콘 단결정 제조시 용융액의 온도진동에 따라 발생하는 실리콘 단결정의 띠무늬 결함을 감소시킬수 있으며, 직경이 큰 웨이퍼도 경제적으로 제조할 수 있다. 또한, 전기한 실리콘 단결정 제조장치를 사용하는 본 발명의 제조방법에 의해 간단하고도 경제적으로 고품질의 실리콘 단결정을 제조할 수 있다.
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번호
이름
국적
주소
1
한국과학기술원
대한민국
대전광역시 유성구
발명자
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번호
이름
국적
주소
1
성형진
대한민국
대전광역시유성구
2
최정일
대한민국
대구광역시남구
대리인
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번호
이름
국적
주소
1
이한영
대한민국
서울특별시 서초구 반포대로**길 ** (서초동, 아트스페이스 ***빌딩 *층)(리앤리국제특허법률사무소)
최종권리자
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번호
이름
국적
주소
1
한국과학기술원
대한민국
대전광역시유성구
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번호
서류명
접수/발송일자
처리상태
접수/발송번호
1
출원심사청구서 Request for Examination
1995.04.17
수리 (Accepted)
1-1-1995-0039605-10
2
대리인선임신고서 Notification of assignment of agent
1995.04.17
수리 (Accepted)
1-1-1995-0039604-75
3
특허출원서 Patent Application
1995.04.17
수리 (Accepted)
1-1-1995-0039603-29
4
등록사정서 Decision to grant
1998.04.06
발송처리완료 (Completion of Transmission)
1-5-1995-0020137-14
5
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.01.08
수리 (Accepted)
4-1-1999-0002352-05
6
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.01.18
수리 (Accepted)
4-1-1999-0008675-76
7
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.02.01
수리 (Accepted)
4-1-1999-0025779-69
8
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.03.03
수리 (Accepted)
4-1-1999-0041039-77
9
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
1999.06.21
수리 (Accepted)
4-1-1999-0085486-82
10
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2004.01.14
수리 (Accepted)
4-1-2004-0001933-29
11
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2004.03.19
수리 (Accepted)
4-1-2004-0012166-74
12
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2013.02.01
수리 (Accepted)
4-1-2013-5019983-17
13
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5157993-01
14
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5157968-69
15
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2014.12.24
수리 (Accepted)
4-1-2014-5158129-58
16
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2019.04.24
수리 (Accepted)
4-1-2019-5081392-49
17
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2020.05.15
수리 (Accepted)
4-1-2020-5108396-12
18
출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information
2020.06.12
수리 (Accepted)
4-1-2020-5131486-63
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번호
청구항
1
1
시드회전축(1), 시드(2), 도가니(4), 히터(5), 도가니 회전축(9), 챔버(11) 및 단열층(12)으로 구성되며 초크랄스키법에 의해 실리콘 단결정을 제조하는 제조장치에 있어서, 직류발생기(31), 함수발생기(32), 전압가산회로(33) 및 스태핑 모터(34)로 구성되며 전기한 도가니(4)의 회전속도를 시간에 따라 가변시키기 위한 도가니 회전속도 제어수단(21)을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치
2
2
제1항에 있어서, 도가니 회전속도 제어수단(21)은 도가니(4)의 시간에 따른 회전속도를 하기 식(Ⅰ)에 따라 가변하도록 구성된 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치
3
3
제1항에 있어서, 도가니(4)의 내부에 자기장을 형성할 수 있는 전극(6)이 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치
4
4
시드회전축(1), 시드(2), 도가니(4), 히터(5), 도가니 회전축(9), 챔버(11) 및 단열층(12)으로 구성되며 초크랄스키법에 의해 실리콘 단결정을 제조하는 제조장치에 있어서, 직류발생기(31), 함수발생기(32), 전압가산회로(33) 및 스태핑 모터(34)로 구성되며 전기한 시드(2)의 회전속도를 시간에 따라 가변시키기 위한 시드 회전속도 제어수단(22)을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치
5
5
제4항에 있어서, 시드 회전속도 제어수단(22)은 시드(2)의 시간에 따른 회전속도를 하기 식(Ⅰ)에 따라 가변하도록 구성된 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치
6
6
제4항에 있어서, 도가니(4)의 내부에 자기장을 형성할 수 있는 전극(6)이 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치
7
7
(ⅰ) 도가니(4) 외부의 히터(5)에 의해 도가니(4)에 포함된 실리콘 용융액(10)을 가열하는 단계; 및, (ⅱ) 직류발생기(31), 함수발생기(32), 전압가산회로(33) 및 스태핑 모터(34)로 구성된 도가니 회전속도 제어수단(21) 및 시드 회전속도 제어수단(23)중에서 선택된 어느 하나를 사용하여 도가니(4) 또는 시드(2)의 회전속도를 하기 식(Ⅰ)에 따라 가변시키면서 도가니(4) 또는 시드(2)를 회전시켜 시드(2)를 인양하는 단계를 포함하는 실리콘 단결정의 제조방법
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종류
1
US05817176
US
미국
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DOCDB 패밀리 정보
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1
US5817176
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DOCDBFAMILY
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