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플라즈마 처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화방법

  • 기술번호 : KST2015111719
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막형태의 리튬2차전지의 전극용 리튬전이금속 산화물 박막의 결정성과 전기화학적 특성 향상방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 마이크로파 또는 라디오 주파수파에 의해 유기된 산소 또는 불활성 기체 플라즈마에 리튬전이금속 산화물 박막을 반응시킴으로써 결정성이 향상된 리튬전이금속 산화물 박막을 얻는 방법에 관한 것이다. 본 발명에서 리튬 박막전지의 전극용 리튬전이금속 산화물 박막은 두께 약 10μm 이하의 박막형태로 LiCoO2, LiNiO2, LiMn2O4, V2O5, V6O13 , SnO2, TiS2, LiAl, LiGaO2, LiTiO2, Li3PO4 중에서 선택된 어느 하나이거나 또는 이들을 혼합한 산화물을 실리콘, 알루미나 등의 기판물질 위에 증착한 것으로서 기존의 노열처리방법으로는 상기 산화물 박막을 결정화시키기 위하여 750℃ 이상의 고온에서 수시간 내지 수십시간이 필요하던 문제점을 상기 플라즈마 처리법을 사용하여 400℃ 이하의 저온에서 20분 이내의 시간으로 단축할 수 있으며 종래 유리기판 또는 알루미늄 등의 융점이 낮은 물질을 기판으로 사용할 수 없던 문제점을 해결할 수 있다.
Int. CL H01M 2/14 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020000023286 (2000.05.01)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0341407-0000 (2002.06.07)
공개번호/일자 10-2001-0102593 (2001.11.16) 문서열기
공고번호/일자 (20020622) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.05.01)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재영 대한민국 대전광역시유성구
2 강윤선 대한민국 대전광역시유성구
3 이호 대한민국 대전광역시유성구
4 박성철 대한민국 대전광역시유성구
5 강용묵 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박형준 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로*길 **, *층 (서초동, 삼호빌딩)(한솔국제특허법률사무소)
2 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.05.01 수리 (Accepted) 1-1-2000-0087328-13
2 등록결정서
Decision to grant		 2002.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0100348-04
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

공지의 방법으로 증착한 리튬전이금속 산화물 박막에 벨자형의 마이크로웨이브 플라즈마 장치 또는 라디오 주파수 플라즈마 장치를 이용하여 플라즈마 가스에 의해 후처리하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화 방법
2 2

제 1항에 있어서, 리튬전이금속 산화물 박막의 두께는 10㎛ 이하의 LiCoO2, LiNiO2, LiMn2O4, V2O5, V6O13 , SnO2, TiS2, LiAl, LiGaO2, LiTiO2, Li3PO4 중에서 선택된 어느 하나이거나 또는 이들을 혼합한 산화물 박막인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화 방법

3 3

제 1항에 있어서, 플라즈마를 발생시킴에 있어 2

4 4

제 1항에 있어서, 플라즈마 가스는 산소 또는 불활성 기체 또는 산소와 불활성 기체가 혼합된 가스인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화 방법
5 5

제 1항 또는 제 4항에 있어서, 불활성기체는 아르곤, 헬륨, 네온, 크립톤 또는 세논 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화 방법
6 6

제 1항에 있어서, 리튬전이금속 산화물 박막의 표면 평탄화는 플라즈마의 이온충돌에 의해 평탄화시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마처리에 의한 리튬전이금속 산화물 박막의 결정화 방법
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1 JP03486166 JP 일본 FAMILY
2 JP13316817 JP 일본 FAMILY
3 US06376027 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 DE10053733 DE 독일 DOCDBFAMILY
2 DE10053733 DE 독일 DOCDBFAMILY
3 JP2001316817 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP3486166 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 US6376027 US 미국 DOCDBFAMILY
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