맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

타원편광분석장치 및 타원편광분석장치를 이용한 입사각정렬방법

  • 기술번호 : KST2015111814
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 박막의 물성을 측정하는 타원편광분석기에 관한 것으로, 방사방향으로 다수의 제 1홈(17)이 형성되고, 원주방향으로 제 2홈(18)에 형성된 반원형상의 메인 프레임(16); 상기 메인 프레임(16)의 중심영역에 설치되고, 3축방향으로 운동이 가능한 시편 스테이지(11); 상기 메인 프레임(16)과 접하는 면에 상기 제 1홈(17)에 삽입 가능한 두개의 제 1 볼(31) 및 제 2볼(32), 상기 제 2홈(18)에 삽입 가능한 제 3볼(33) 및 상기 메인 프레임(16)에 밀착되어 위치를 고정할 수 있는 밀착수단을 포함하고 편광이 조사되는 편광부(12); 및 상기 메인 프레임(16)과 접하는 면에 상기 제 1홈(17)에 삽입 가능한 두개의 제 1 볼(31) 및 제 2볼 (32), 상기 제 2홈(18)에 삽입 가능한 제 3볼(33) 및 상기 메인 프레임(16)에 밀착되어 위치를 고정할 수 있는 밀착수단을 포함하고, 시편 스테이지(11) 상에 놓인 시편의 상부면에서 반사된 빛을 수광하는 검광부(14);를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원편광분석장치에 의하여 달성된다.타원, 편광, 분석장치, 반도체, 박막, 기구학적 커플링
Int. CL G01N 21/21 (2006.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020000065406 (2000.11.04)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0384132-0000 (2003.05.01)
공개번호/일자 10-2002-0035219 (2002.05.11) 문서열기
공고번호/일자 (20030514) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.11.04)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 권대갑 대한민국 대전광역시유성구
2 박성림 대한민국 대전광역시유성구
3 정재화 대한민국 대전광역시유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2000-0232631-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2002.04.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2002.05.23 수리 (Accepted) 9-1-2002-0005880-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.07.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0263398-09
5 의견서
Written Opinion		 2002.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2002-0311524-80
6 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.09.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0311526-71
7 등록결정서
Decision to grant		 2003.04.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0141803-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

방사방향으로 다수의 제 1홈(17)이 형성되고, 원주방향으로 제 2홈(18)에 형성된 반원형상의 메인 프레임(16);

상기 메인 프레임(16)의 중심영역에 설치되고, 3축방향으로 운동이 가능한 시편 스테이지(11);

상기 메인 프레임(16)과 접하는 면에 상기 제 1홈(17)에 삽입 가능한 두개의 제 1 볼(31) 및 제 2볼(32), 상기 제 2홈(18)에 삽입 가능한 제 3볼(33) 및 상기 메인 프레임(16)에 밀착되어 위치를 고정할 수 있는 밀착수단을 포함하고 편광이 조사되는 편광부(12); 및

상기 메인 프레임(16)과 접하는 면에 상기 제 1홈(17)에 삽입 가능한 두개의 제 1 볼(31) 및 제 2볼(32), 상기 제 2홈(18)에 삽입 가능한 제 3볼(33) 및 상기 메인 프레임(16)에 밀착되어 위치를 고정할 수 있는 밀착수단을 포함하고, 시편 스테이지(11) 상에 놓인 시편의 상부면에서 반사된 빛을 수광하는 검광부(14);를 포함하고,

상기 제 3 볼(33)은 상기 제 1 볼(31)과 상기 제 2 볼 (32)을 잇는 연장선상에 놓이지 않고,

상기 제 1홈(17)과 상기 제 2홈(18)의 길이 방향에 대한 가로방향의 단면은 대략 "V" 자 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 타원편광분석장치

2 2

삭제
3 3

삭제
4 4

제 1 항에 있어서, 상기 편광부(12) 및 상기 검광부(14)의 밀착수단은 영구자석(30)이고, 상기 메인 프레임(16)은 철인 것을 특징으로 하는 타원편광분석장치

5 5

타원편광장치의 입사각 정열방법에 있어서,

3축방향으로 운동이 가능한 시편 스테이지(11)의 높이를 조절하여 상기 시편 스테이지(11)상에 높인 시편의 높이를 조절하는 단계;

편광부(12)에서 조사된 빛이 검광부(14)로 수광되기 위하여 결점의 검출가능영역으로 결점을 이동하는 단계;

상기 검출가능영역내에서 상기 결점을 상기 검출가능영역의 중심으로 이동시키는 단계를 포함하고,

상기 높이 조절단계에서, 높이(h)는,

6

삭제
7 7

제 5 항에 있어서, 상기 결점의 검출가능영역으로 결점을 이동하는 단계는,

상기 결점을 원형으로 회전시켜 신호를 검출하게 함으로써 상기 검출가능영역으로 상기 결점이 이동시키는 것을 특징으로 하는 타원편광분석장치를 이용한 입사각 정렬방법

8 8

제 5 항에 있어서, 상기 중심 이동단계는,

상기 검출가능영역내에서 일방향으로 상기 결점을 이동시키면서 빛의 최대광량을 얻는 단계;

상기 최대광량의 절반이 될 때까지 상기 결점을 이동시켜 제 1 위치(x1)를 기억하게 하는 단계;

상기 결점을 상기 방향과 반대방향으로 이동시키면서 최대광량의 절반이 될 때까지 이동시켜 제 2위치(x2)를 기억시키는 단계; 및

상기 제 1위치(x1) 및 제 2위치(x2)의 평균위치로 상기 결점을 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 타원편광분석장치를 이용한 입사각 정렬방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.