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선형구동기

  • 기술번호 : KST2015111901
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 직선운동을 필요로 하는 구동시스템이나 초정밀 2축 또는 3축 스테이지, 그리고 리소그라피 장비가 요구하는 3축 스테이지의 틸트 구동 시스템에 적용되는 선형구동기에 관한 것으로, 영구자석과 코일을 이용한 서브선형구동기와 이동 간격을 형성하고, 이동 간격에 형성되는 자속의 세기를 코일에 인가되는 전류의 량으로 변화시켜 자속의 밀도 차에 의한 직선 구동의 힘을 얻고, 구동 힘을 연결 축과 구동부의 틀어짐을 막으면서 직선 운동의 가이드 역할을 갖도록 원판을 사용을 하여 직선운동을 얻을 수 있도록 한 것이다.선형구동기, 영구자석, 리소그라피, 스테이지, 구동시스템, 원판 직선 가이드
Int. CL H02K 33/00 (2006.01) H02K 41/02 (2006.01)
CPC H02K 41/031(2013.01)
출원번호/일자 1020010067708 (2001.10.31)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0454262-0000 (2004.10.14)
공개번호/일자 10-2003-0035593 (2003.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20041026) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.10.31)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권대갑 대한민국 대전광역시유성구
2 이성규 대한민국 대전광역시유성구
3 김기현 대한민국 대전광역시유성구
4 김동민 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2001.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2001-0283286-71
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2003.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2003.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2003-0039941-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2003.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0364702-12
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2003.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2003-0440485-13
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2003.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2003-0488081-95
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
8 의견서
Written Opinion
2004.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2004-0020153-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2004.06.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0240496-61
11 의견서
Written Opinion
2004.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2004-0349224-91
12 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2004.08.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0349227-27
13 등록결정서
Decision to grant
2004.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0357758-38
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

1축 내지 3축 구동시스템에 사용되는 선형구동기로서,

자속 흐름을 형성시키는 영구자석(1)과;

상기 영구자석(1)의 자속 흐름 내에 대칭적으로 배치된 한 쌍의 코일(2, 2')과;

상기 한 쌍의 코일(2, 2')을 각기 감싸서 상기 영구자석(1)의 내, 외측에 자속 흐름을 따라 배치된 내, 외측 요크(3, 4)와;

상기 내, 외측 요크(3,4)의 끝단 면과 각기 일정한 간격(g, g')을 갖고 마주하고, 상기 영구자석(1)의 자속 흐름 내에 배치되는 상, 하부 요크(6, 7)와;

상기 한 쌍의 코일(2,2')에 전류를 인가시킬 때 상기 간격(g, g')에 발생되는 자속의 밀도차에 의해 상기 내, 외측 요크(3,4) 또는 상기 상, 하부 요크(6,7)의 운동동작을 외부로 전달하는 작동축(8)과;

상기 작동축(8)의 작동을 안내 지지하고 일정한 탄성력으로 상기 간격(g, g')이 유지되도록 하는 작동축 지지수단을 포함한 것을 특징으로 하는 선형구동기

2 2

제 1항에 있어서,

상기 영구자석(1)의 자속 흐름은 상기 간격(g, g')을 지나는 대칭형으로 폐루프를 형성하는 것을 특징으로 하는 선형구동기

3 3

제 1항에 있어서,

상기 영구자석(1), 코일(2, 2') 및 내, 외측 요크(3,4)가 작동축(8)을 중심으로 하여 대칭적 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 선형구동기

4 4

제 1항에 있어서,

상기 영구자석(1), 코일(2, 2') 및 내, 외측 요크(3, 4)가 일체형으로 제작된 것을 특징으로 하는 선형구동기

5 5

제 1항에 있어서,

상기 작동축 지지수단은 상기 상, 하부 요크(3, 4)에 각기 장착되어 상기 작동축(8)에 연결된 얇은 원판으로서 소정의 탄성 복원력을 갖는 것을 특징으로 하는 선형구동기

6 6

제 1항에 있어서,

상기 상, 하부 요크(6, 7)에는 각기 상기 작동축 지지수단을 장착하기 위해 상, 하판(10, 11)이 각기 더 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 선형구동기

7 7

제 1항에 있어서,

상기 작동축(80)은 상, 하부 요크(6,7)에 설치된 베어링의 슬라이딩 안내를 받도록 구성한 것을 특징으로 하는 선형구동기

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.