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기판과; 상기 기판 상에 형성된 제1 반사체와; 상기 제1 반사체로부터 이격되어 있으며, 상기 제1 반사체에 대해 평행하게 위치한 제2 반사체와; 상기 제1 반사체로부터 이격되어 있으며, 상기 제2 반사체를 지지하는 지지체와; 상기 지지체와 상기 제1 반사체를 서로 연결하되, 자체 탄성력에 의한 변형이 가능한 스프링과; 상기 지지체 및 스프링 상에 형성된 도선과; 상기 도선에 전류를 흘리기 위한 전류 인가수단과; 상기 도선에 자장을 인가하되, 상기 도선에 흐르는 전류에 의해 발생하는 로렌츠 힘이 상기 제1 및 제2 반사체들의 간격 방향으로 작용하도록 그 인가방향이 결정된 자장 인가수단; 을 구비하며, 상기 제1 및 제2 반사체의 간격의 유효 광경로가 필터 입사광 파장의 1/4이 되도록 상기 제1 및 제2 반사체가 서로 이격된 가변 광학 필터
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제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 반사체가 다층 박막으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가변 광학 필터
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제2항에 있어서, 상기 다층 박막이 SiO2/Si3N4, TiO2/SiO2 및 Si/SiO2로 구성된 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는 가변 광학 필터
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제1항에 있어서, 상기 스프링이 직선 막대형태인 것을 특징으로 하는 가변 광학 필터
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제1항에 있어서, 상기 스프링이 굴곡을 갖는 막대형태인 것을 특징으로 하는 가변 광학 필터
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기판과; 상기 기판 상에 형성된 제1 반사체와; 상기 제1 반사체로부터 이격되어 있으며, 상기 제1 반사체에 대해 평행하게 위치한 제2 반사체와; 상기 제1 반사체로부터 이격되어 있으며, 상기 제2 반사체를 지지하는 지지체와; 상기 제1 반사체 상에 일정 두께를 갖도록 형성된 금속층과; 상기 지지체와 상기 금속층을 서로 연결하되, 자체 탄성력에 의한 변형이 가능한 스프링과; 상기 지지체 및 스프링 상에 형성된 도선과; 상기 도선에 전류를 흘리기 위한 전류 인가수단과; 상기 도선에 자장을 인가하되, 상기 도선에 흐르는 전류에 의해 발생하는 로렌츠 힘이 상기 제1 및 제2 반사체들의 간격 방향으로 작용하도록 그 인가방향이 결정된 자장 인가수단; 을 구비하며, 상기 제1 및 제2 반사체의 간격의 유효 광경로가 필터 입사광 파장의 1/4이 되도록 상기 제1 및 제2 반사체가 서로 이격된 가변 광학 필터
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기판과; 상기 기판 상에 형성된 제1 반사체와; 상기 제1 반사체로부터 이격되어 있으며, 상기 제1 반사체에 대해 평행하게 위치한 제2 반사체와; 상기 제1 반사체로부터 이격되어 있으며 상기 제2 반사체를 지지하는 지지부, 및 상기 지지부와 상기 제1 반사체를 서로 연결하되 자체 탄성력에 의한 변형이 가능한 스프링부를 가지는 금속 재질의 도선과; 상기 도선에 전류를 흘리기 위한 전류 인가수단과; 상기 도선에 자장을 인가하되, 상기 도선에 흐르는 전류에 의해 발생하는 로렌츠 힘이 상기 제1 및 제2 반사체들의 간격 방향으로 작용하도록 그 인가방향이 결정된 자장 인가수단; 을 구비하며, 상기 제1 및 제2 반사체의 간격의 유효 광경로가 필터 입사광 파장의 1/4이 되도록 상기 제1 및 제2 반사체가 서로 이격된 가변 광학 필터
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기판과; 상기 기판 상에 형성된 제1 반사체와; 상기 제1 반사체로부터 이격되어 있으며, 상기 제1 반사체에 대해 평행하게 위치한 제2 반사체와; 상기 제1 반사체로부터 이격되어 있으며 상기 제2 반사체를 지지하는 지지부, 및 상기 지지부와 상기 제1 반사체를 서로 연결하되 자체 탄성력에 의한 변형이 가능한 스프링부와; 스프링 위에 형성되어 전압을 가했을 때 힘이 장기 제1 및 제2 반사체들의 간격 방향으로 작용하도록 배치된 압전박막과 전극; 을 구비하며, 상기 제1 및 제2 반사체의 간격의 유효 광경로가 필터 입사광 파장의 1/4이 되도록 상기 제1 및 제2 반사체가 서로 이격된 가변 광학 필터
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