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광학 스위치 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015111948
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 정전기력을 이용한 광학 스위치 및 광학 스위치의 제조 방법에 관하여 개시한다. 본 발명의 광학 스위치는, 기판과; 일면에 반사면을 가지는 상부 전극판과; 기 기판과 상부 전극판의 다른 일면의 중심을 연결하는 탄성 지지체와; 기판 상에 탄성 지 지체를 중심으로 하여 방사 대칭으로 배열되며, 상부 전극판의 다른 일면과 대향하도록 형성된 복수 개의 하부 전극판을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 광학 스위치에 의하면, 선택적으로 어느 하나 또는 복수 개의 하부 전극판에 전류를 인가함으로써, 빛의 반사 방향과 빛의 양을 적절하게 조절할 수 있으므로 미세한 빛을 제어하는 미소기전집적시스템 산업에 효율성을 증대한다.광학스위치, 탄성지지체, 미소기전집적시스템, 전극판, 방사구조
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01) G02B 26/0841(2013.01)
출원번호/일자 1020020012102 (2002.03.07)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0426208-0000 (2004.03.25)
공개번호/일자 10-2003-0072849 (2003.09.19) 문서열기
공고번호/일자 (20040406) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.03.07)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이춘섭 대한민국 대구광역시동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.03.07 수리 (Accepted) 1-1-2002-0066649-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.12.10 수리 (Accepted) 9-1-2003-0060076-04
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
5 등록결정서
Decision to grant		 2004.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0023762-22
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

정전기력을 이용한 광학 스위치에 있어서,

기판과;

일면에 반사면을 가지는 상부 전극판과;

상기 기판과 상기 상부 전극판의 다른 일면의 중심을 연결하는 탄성 지지체와;

상기 기판 상에 상기 탄성 지지체를 중심으로 하여 방사 대칭으로 배열되며, 상기 상부 전극판의 상기 다른 일면과 대향하도록 형성된 복수 개의 하부 전극판을 구비하는 광학 스위치

2 2

제 1항에 있어서, 상기 탄성 지지체의 형상은 횡단면이 대칭 구조를 이루는 기둥 형상인 것을 특징으로 하는 광학 스위치

3 3

제 2항에 있어서, 상기 탄성 지지체의 상기 횡단면은 사각형, 육각형 및 원형 인 것을 특징으로 하는 광학 스위치

4 4

제 1항에 있어서, 각각의 상기 하부 전극판들은 같은 면적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 스위치

5 5

제 1항에 있어서, 각각의 상기 하부 전극판들의 형상은 자신들의 중심이 상기 탄성 지지체를 향하는 부채꼴 형상인 것을 특징으로 하는 광학 스위치

6 6

제 1항, 제 4항 또는 제 5항에 있어서, 상기 하부 전극판은 적어도 4개인 것을 특징으로 하는 광학 스위치

7 7

제 1항 있어서, 상기 상부 전극판과 상기 탄성 지지체는 하나의 구조물로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 스위치

8 8

정전기력을 이용한 광학 스위치 제조방법에 있어서,

기판 상에 절연층을 형성하는 단계와;

상기 절연층의 소정영역 상에 임의의 영역을 중심으로 하여 복수 개의 하부 전극판을 방사 대칭으로 형성하는 단계와;

상기 하부 전극판들 및 상기 절연층 상에 제 1금속층을 형성하는 단계와;

상기 제 1금속층 상에 감광막을 증착하고, 상기 하부 전극판들로 둘러싸인 상기 임의의 영역 상부에 형성된 상기 제 1금속층의 소정영역이 노출되도록, 상기 감광막의 소정영역을 제거하여 상기 감광막을 상하로 관통하는 구멍을 형성는 단계와;

제거되지 않은 상기 감광막 상에 제 2금속층을 형성하는 단계와;

상기 제 2금속층 상의 소정영역에, 자신들의 내부에 소정 공간이 형성되도록 감광막 몰드를 형성하는 단계와;

상기 감광막에 의하여 형성된 상기 구멍 및 상기 감광막 몰드에 의하여 형성된 상기 공간에 금속이온이 함유된 전해질 용액을 채우는 단계와;

상기 제 2금속층 상의 소정영역에는 상부 전극판이, 상기 구멍에는 상기 제 1금속층과 상기 상부 전극판을 연결하는 탄성 지지체가 형성되도록, 상기 하부전극판에 전류를 인가하여 전기도금을 실시하는 단계와;

상기 제 1금속층의 소정영역에 의하여 상기 탄성 지지체와 상기 기판이 연결되도록, 상기 제 1금속층의 나머지 소정영역, 상기 제 2금속층, 상기 감광막 및 상기 감광막 몰드를 제거하는 단계를 포함하는 광학 스위치 제조방법

9 9

제 8항에 있어서, 상기 제 1 금속층 및 상기 제 2 금속층은 Au 또는 Ti/Au로 이루어지고, 상기 상부 전극판, 상기 탄성 지지체 및 상기 하부 전극판들은 Cu 또는 Ni로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광학 스위치 제조방법

10 10

제 8항에 있어서, 상기 탄성 지지체 및 상기 감광막에 의하여 형성된 상기 구멍의 형상은 상기 탄성 지지체 및 상기 구멍의 횡단면이 대칭 구조를 이루는 기둥 형상인 것을 특징으로 하는 광학 스위치 제조방법

11 11

제 10항에 있어서, 상기 횡단면은 사각형, 육각형 또는 원인 것을 특징으로 하는 광학 스위치 제조방법

12 12

제 8항에 있어서, 각각의 상기 하부 전극판들은 같은 면적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 광학 스위치 제조방법

13 13

제 8항에 있어서, 각각의 상기 하부 전극판들은 자신들의 중심이 상기 탄성 지지체를 향하는 부채꼴인 것을 특징으로 하는 광학 스위치 제조방법

14 14

제 8항, 제 12항 또는 제 13항에 있어서, 상기 하부 전극판은 적어도 4개인 것을 특징으로 하는 광학 스위치 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.