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미소 구동기 제조방법

  • 기술번호 : KST2015111959
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 빗 형상의 미소 구동기 제조방법에 있어서, 기판을 마련하는 단계와; 상기 기판 상에 복수 개의 핑거를 갖는 상기 제 1전극을 형성하는 단계와; 상기 식각으로 노출된 상기 제 1전극의 측면에 측면 산화막을 형성하는 단계와; 상기 제 1산화막이 노출된 영역 상에 상기 제 1전극의 핑거들 각각과 서로 대응하는 상기 제 2전극의 핑거들 각각이 맞물리는 형상으로 패턴을 형성하고, 상기 제 2전극의 패턴에 따라 상기 제 4산화막 및 상기 제 2실리콘막을 식각하여 상기 제 1산화막이 노출되도록 상기 제 2전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1산화막, 상기 제 2산화막, 상기 측면 산화막, 상기 제 4산화막 및 상기 질화막을 제거하여 미소 구동기를 완성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 산화막 및 질화막을 증착하여 화학적 또는 기계적 식각만으로 빗 형상의 전극들이 미세 간격 갖게 되어 더욱 큰 정전기력을 발생함으로써, 낮은 동작 전압으로도 구동 가능한 효과가 있다.미소기전집접시스템, 빗 형상, 미소 구동기, 핑거, 정전기력, 열산화
Int. CL B81B 7/00 (2006.01)
CPC B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01) B81C 1/00015(2013.01)
출원번호/일자 1020020016681 (2002.03.27)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0465914-0000 (2005.01.03)
공개번호/일자 10-2003-0077791 (2003.10.04) 문서열기
공고번호/일자 (20050113) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.03.27)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이춘섭 대한민국 대구광역시동구
2 이재덕 대한민국 경기도수원시팔달구
3 황치호 대한민국 대전광역시서구
4 한철희 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2002-0089901-92
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.09.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.10.17 수리 (Accepted) 9-1-2003-0050544-81
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0265867-26
7 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.08.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0394370-93
8 의견서
Written Opinion		 2004.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2004-0394368-01
9 등록결정서
Decision to grant		 2004.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0557596-74
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

복수 개의 핑거를 갖는 빗 형상의 제 1전극 및 제 2전극으로 이루어지되, 상기 제 1전극의 핑거들 각각과 서로 대응하는 상기 제 2전극의 핑거들 각각이 맞물리는 형상으로 이루어지는 미소 구동기 제조방법에 있어서,

기판을 마련하는 단계와;

상기 기판 상에 제 1산화막, 제 1실리콘막, 제 2산화막, 질화막, 및 제 3산화막을 순차적으로 증착한 다음, 상기 제 3산화막 상에 감광막으로 상기 제 1전극의 패턴을 형성하고, 상기 제 1전극의 패턴에 따라 상기 제 3산화막, 상기 질화막, 상기 제 2산화막 및 상기 제 1실리콘막을 상기 제 1산화막이 노출되도록 식각하여 복수 개의 핑거를 갖는 상기 제 1전극을 형성하는 단계와;

상기 식각으로 노출된 상기 제 1전극의 측면에 측면 산화막을 형성하는 단계와;

상기 제 1산화막이 노출된 영역 상에 제 2실리콘막을 상기 제 1실리콘막의 두께로 형성하고, 상기 제 1전극 상의 상기 제 3산화막을 제거하고, 상기 제 2실리콘막 상에 제 4산화막을 형성한 다음, 상기 제 4산화막 상에 감광막으로 상기 제 2전극의 패턴을 형성하고, 상기 제 2전극의 패턴에 따라 상기 제 4산화막 및 상기 제 2실리콘막을 식각하여 상기 제 1산화막이 노출되도록 상기 제 2전극을 형성하는 단계와;

상기 제 1산화막, 상기 제 2산화막, 상기 측면 산화막, 상기 제 4산화막 및 상기 질화막을 제거하여 미소 구동기를 완성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미소 구동기 제조방법

2 2

제 1항에 있어서, 상기 제 1실리콘막 및 상기 제 2실리콘막은 다결정 실리콘막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미소 구동기 제조방법

3 3

제 1항에 있어서, 상기 측면 산화막 또는 상기 제 4산화막은 열산화 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 미소 구동기 제조방법

4 4

제 1항에 있어서, 상기 제 2전극을 형성하는 단계와 상기 미소 구동기를 완성하는 단계 사이에, 상기 제 1전극의 핑거들 각각을 식각하여 상기 제 1전극이 수평 이동할 수 있는 공간을 마련하는 것을 특징으로 하는 미소 구동기 제조방법

5 5

제 1항에 있어서, 상기 제 2전극을 형성하는 단계는, 상기 제 1산화막이 노출된 영역 상에 상기 제 2실리콘막을 형성 시, 상기 제 2실리콘막을 상기 제 1실리콘막의 두께이상으로 증착한 다음에 화학적 또는 기계적으로 연마하여 상기 제 1실리콘막의 두께와 같게 형성하는 것을 특징으로 하는 미소 구동기 제조방법

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.