상하를 관통하는 구멍이 있는 기판과;

상하로 관통하는 구멍이 있으며 상기 기판의 구멍 내부에 위치하되, 자신을 중심으로 좌우 대칭되게 형성되는 제1 및 제2 토션바에 의하여 상기 기판과 연결되는 프레임과;

상기 프레임의 구멍 내부에 위치하되 자신을 중심으로 전후 대칭되게 형성되는 제3 및 제4 토션바에 의하여 상기 프레임과 연결되는 미소거울과;

상기 기판과 상기 프레임 사이에 위치되며 좌우 대칭되도록 상기 구멍의 내벽으로부터 상기 구멍의 내측으로 돌출되어 형성되는 제1 및 제2 외팔보와, 상기 기판과 상기 프레임 사이에 위치되며 상기 프레임을 기준으로 상기 제1 및 제2 외팔보와 전후 대칭되도록 상기 구멍의 내벽으로부터 상기 구멍의 내측으로 돌출되는 제3 및 제4 외팔보와;

상기 제1, 제2 외팔보 상에 각각 형성되며 서로 연결되는 제1 및 제2 도선과, 서로 연결되도록 상기 제3 및 제4 외팔보 상에 각각 형성되되 상기 제1 및 제2 도선에 흐르는 전류와 반대 방향의 전류가 흐르도록 형성되는 제3 및 제4 도선과, 상기 제3 및 제4 토션바를 연결한 가상의 선을 기준으로 좌우 대칭되며 서로 반대방향의 전류가 흐르도록 상기 미소거울 상에 각각 형성되는 제5 및 제6 도선과;

상기 제1, 제2, 제3, 및 제4 외팔보와 상기 프레임을 각각 연결하는 제1, 제2, 제3, 및 제4 연결바와;

제 1항에 있어서, 상기 기판과, 상기 프레임과, 상기 미소거울과, 상기 제 외팔보들과, 상기 토션바들과, 상기 연결바들은 하나의 실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기

제 2항에 있어서, 상기 미소거울의 상면에는 금속 박막이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기

제 1항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 도선들에 전류가 인가되면 상기 제1 및 제2 토션바를 중심으로 상기 미소거울이 회전하는 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기

제 1항에 있어서, 상기 제5 및 제6 도선에 전류가 인가되면 상기 제3 및 제4 토션바를 중심으로 상기 미소거울이 회전하는 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기

제 1항에 따른 미소거울 구동기를 제조하는 방법에 있어서,

상부 실리콘층, 산화막층 및 하부 실리콘층으로 이루어진 SOI 기판을 마련하는 단계와;

상기 상부 실리콘층을 식각하여 상기 프레임, 미소거울, 제1 내지 제4 토션바, 제1 내지 제4 외팔보, 및 제1 내지 4 연결바를 형성하는 단계와;

상기 제1 내지 제4 외팔보 상면 및 미소거울 상면에 도선을 도금하는 단계와;

상기 프레임, 미소거울, 제1 내지 제4 토션바, 제1 내지 제4 외팔보, 및 제1 내지 4 연결바가 소정의 두께만을 유지하도록 상기 하부 실리콘층을 식각하고 산화막층을 제거하는 단계를 포함하는 미소거울 구동기 제조방법

제 6항에 있어서, 상기 상부 실리콘층을 식각하여 상기 프레임, 미소거울, 제1 내지 제4 토션바, 제1 내지 제4 외팔보, 및 제1 내지 4 연결바를 형성하는 단계는:

상기 상부 실리콘층 상면 및 하부 실리콘층 하면을 산화시켜서 상부 실리콘산화막 및 하부 실리콘산화막을 각각 형성하는 단계와;

상기 하부실리콘 산화막의 하면에 상부 및 하부 실리콘질화막을 각각 형성하는 단계와;

노출된 상기 상부 실리콘산화막 상에 감광제를 도포하고, 상기 프레임, 미소거울, 제1 내지 제4 토션바, 제1 내지 제4 외팔보, 및 제1 내지 4 연결바가 형성될 영역을 패턴한 후 현상하여 감광제 마스크를 만들고, 상기 감광제 마스크를 이용하여 상기 상부 실리콘산화막을 식각하여 상기 상부 실리콘층을 식각할 실리콘 산화막 마스크를 형성하는 단계와;

상기 상부 실리콘층을 식각하여 상기 프레임, 미소거울, 제1 내지 제4 토션바, 제1 내지 제4 외팔보, 및 제1 내지 4 연결바를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미소거울 제조방법

제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 외팔보 상면 및 미소거울 상면에 도선을 도금하는 단계는:

상기 상부 실리콘층을 식각하여 형성된 결과물 상에 하부 금속막을 증착하는 단계와;

상기 하부 금속막 상에 감광제를 도포하고, 하부 금속도선이 형성될 영역을 포토리소그래피법으로 패터닝하여 하부 금속틀을 형성하는 단계와;

상기 하부 도금틀을 이용하여 상기 노출된 하부 금속막 상의 소정영역에 하부 금속층을 전해도금공정으로 형성하는 단계와;

상기 하부 금속막을 제거하는 단계와;

상기 하부 금속층 상에 감광제를 도포하고, 상기 하부 금속층 상에 형성되게 될 상부 금속층을 상기 하부 금속층과 연결하기 위한 포스트틀을 포토리소그래피법으로 패터닝하여 형성하는 단계와;

상기 포스트틀 상에 상부 금속막을 증착하는 단계와;

상기 상부 금속막 상에 감광제를 도포하고, 상부 금속도선이 형성될 영역을 포토리소그래피법으로 패터닝하여 상부 금속틀을 형성하는 단계와;

제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 프레임, 미소거울, 제1 내지 제4 토션바, 제1 내지 제4 외팔보, 및 제1 내지 4 연결바가 소정의 두께만을 유지하도록 상기 하부 실리콘 및 산화막을 식각하는 단계는:

상기 하부 실리콘산화막의 하면에 형성된 상기 하부 실리콘질화막 하면에 감광제를 도포하고 실리콘을 식각할 영역을 포토리소그래피법으로 패터닝하여 하부 실리콘층 식각을 위한 마스크를 형성하는 단계와;

패터닝된 상기 하부 실리콘질화막을 식각 마스크로 사용하고 상기 SOI 기판의 산화막층을 식각 정지층으로 하여 상기 하부 실리콘층을 식각하는 단계와;

상기 산화막층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기 제조방법