| 1 |
1
다음의 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 블록공중합체의 나노패턴에 의해 노출된 금속에 바이오 리셉터가 부착된 나노-바이오칩의 제조방법: (a) 기질상에 바이오 리셉터와 친화력이 있는 금속의 박막을 형성하는 단계; (b) 상기 박막위에 블록공중합체를 도포하는 단계; (c) 상기 블록공중합체를 열처리하여 자기조립을 유도하고 규칙적인 구조를 형성하는 단계; (d) 상기 규칙적인 구조가 형성된 블록공중합체를 에칭하여 다공성의 나노패턴을 형성하는 단계; 및 (e) 상기 다공성의 나노패턴에 의해 노출된 금속에 바이오 리셉터를 부착하는 단계
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 (b) 단계는 사용한 블록공중합체의 액정 상전이온도 이상으로 온도를 올린 후에 서냉하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 바이오 리셉터는 효소기질, 리간드, 아미노산, 펩티드, 단백질, 핵산, 지질, 코펙터 및 탄수화물로 구성된 군에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 바이오 리셉터는 단백질 또는 DNA인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 바이오 리셉터와 친화력이 있는 금속은 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 니오비움(Nb), 탄탈륨(Ta), 지르코늄(Zr) 및 코발트(Co)로 구성된 군에서 선택된 하나와 크롬(Cr)의 합금인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 블록공중합체는 폴리스타이렌-폴리메틸메타아크릴레이트(PS-PMMA), 폴리스타이렌-폴리부타디엔(PS-PB), 또는 폴리스타이렌-폴리아이소프렌(PS-PI)인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, (d) 단계는 UV 에칭을 수행한 다음 반응성 이온 에칭을 수행하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 8 |
8
다음의 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 S-M-BR 형태의 나노-바이오칩을 제조하는 방법:(a) 기질(S)상에 바이오 리셉터(BR)와 친화력이 있는 금속(M)의 박막을 형성하는 단계;(b) 상기 박막위에 블록공중합체를 도포하는 단계;(c) 상기 블록공중합체를 열처리하여 자기조립을 유도하고 규칙적인 구조를 형성하는 단계;(d) 상기 규칙적인 구조가 형성된 블록공중합체를 에칭하여 다공성의 나노패턴을 형성하는 단계;(e) 상기 다공성의 나노패턴에 마스크 금속을 선택적으로 증착하는 단계;(f) 상기 증착된 금속을 마스크로 하여 블록공중합체와 바이오 리셉터(BR)와 친화력이 있는 금속의 박막을 에칭하여 기질상에 금속의 나노패턴을 형성하는 단계; 및(g) 상기 바이오 리셉터와 친화력이 있는 금속에 바이오 리셉터를 부착하는 단계
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 상기 (c) 단계는 사용한 블록공중합체의 액정 상전이온도 이상으로 온도를 올린 후에 서냉하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 10 |
10
제8항에 있어서, 바이오 리셉터는 효소기질, 리간드, 아미노산, 펩티드, 단백질, 핵산, 지질, 코펙터 및 탄수화물로 구성된 군에서 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 11 |
11
제10항에 있어서, 바이오 리셉터는 단백질 또는 DNA인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 12 |
12
제8항에 있어서, 바이오 리셉터와 친화력이 있는 금속은 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 니오비움(Nb), 탄탈륨(Ta), 지르코늄(Zr) 및 코발트(Co)로 구성된 군에서 선택된 하나와 크롬의 합금인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 13 |
13
제8항에 있어서, 블록공중합체는 폴리스타이렌-폴리메틸메타아크릴레이트(PS-PMMA), 폴리스타이렌-폴리부타디엔(PS-PB), 또는 폴리스타이렌-폴리아이소프렌(PS-PI)인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 14 |
14
제8항에 있어서, 마스크 금속은 (a) 단계에서 사용한 기질상의 박막 금속과 동일한 것임을 특징으로 하는 방법
|
| 15 |
15
제8항에 있어서, (d) 단계는 UV 에칭을 수행한 다음 반응성 이온 에칭을 수행하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 16 |
16
제8항에 있어서, (f) 단계는 반응성 이온 에칭과 이온밀링을 이용하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 17 |
17
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조되고, 블록공중합체의 나노패턴에 의해 노출된 금속에 표적 바이오물질과 결합하거나 반응하는 바이오 리셉터가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 나노-바이오칩
|
| 18 |
18
제17항에 있어서, 금속(M)은 금(Au)인 것을 특징으로 하는 나노-바이오칩
|
| 19 |
19
제8항 내지 제16항 중 어느 한 항의 방법에 의해 제조되고, 기질(S)상의 금속(M) 나노패턴에 표적 바이오물질과 결합하거나 반응하는 바이오 리셉터(BR)가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 S-M-BR 형태의 나노-바이오칩
|
| 20 |
20
제19항에 있어서, 금속(M)은 금(Au)인 것을 특징으로 하는 나노-바이오칩
|
| 21 |
21
제18항의 나노-바이오칩을 이용하는 것을 특징으로 하는 바이오 리셉터와 결합하거나 반응하는 표적 바이오물질의 검출방법
|
| 22 |
22
제19항의 나노-바이오칩을 이용하는 것을 특징으로 하는 바이오 리셉터와 결합하거나 반응하는 표적 바이오물질의 검출방법
|
| 23 |
22
제19항의 나노-바이오칩을 이용하는 것을 특징으로 하는 바이오 리셉터와 결합하거나 반응하는 표적 바이오물질의 검출방법
|
