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스캐닝 탐침 현미경의 탐침 특성 측정장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015112375
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 스캐닝 탐침 현미경의 탐침 특성 측정장치에 관한 것으로, 일측에 배치되는 스캐닝 탐침 현미경의 탐침; 상기 탐침이 미소 진동되도록 상기 탐침에 연결되는 엑츄에이터; 상기 탐침의 진동을 감지하도록 대응 배치되는 감지수단; 및상기 감지수단의 진동신호를 기초로 상기 탐침의 고유진동수 연산 및 상기 엑츄에이터 입력신호로의 피드백이 가능하여 미소 변화되는 상기 탐침의 각 고유진동수를 기초로 상기 탐침의 변화된 특성 측정이 가능하도록 상기 감지수단 및 엑츄에이터에 전기적으로 연결되는 컨트롤러;를 포함하여 구성된다. 여기서 상기 탐침의 미소 진동이 광신호로 변조될 수 있도록 상기 탐침에 대해 레이저광을 조사하는 광조사기 및 상기 탐침으로부터 미소 진동에 기반하여 반사되는 광신호를 상기 감지수단에 반사 및 입사하도록 대응 배치되는 반사경을 포함하는 것이 바람직하며, 이 때 상기 감지수단은, 상기 반사경으로부터 반사 및 입사되는 광신호를 레이저광의 변화를 감지할 수 있는 광감지기인 것이 바람직하다.원자, 현미경, 탐침, 특성, 고유진동수, 컨트롤러, 피드백, 폐루프
Int. CL G01N 29/12 (2006.01)
CPC G01N 29/12(2013.01) G01N 29/12(2013.01) G01N 29/12(2013.01) G01N 29/12(2013.01)
출원번호/일자 1020050086203 (2005.09.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2007-0031596 (2007.03.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.09.15)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박영진 대한민국 대전 유성구
2 박윤식 대한민국 대전 유성구
3 하재훈 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2005-0516719-97
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.10.17 수리 (Accepted) 9-1-2006-0068382-50
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0620554-04
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0964539-40
6 의견서
Written Opinion
2006.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0964455-14
7 수수료 반환 안내서
Notification of Return of Official Fee
2006.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2006-0156631-51
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2007.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0155540-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
일측에 배치되는 스캐닝 탐침 현미경의 탐침;상기 탐침이 미소 진동되도록 상기 탐침에 연결되는 엑츄에이터;상기 탐침의 진동을 감지하도록 대응 배치되는 감지수단; 및상기 감지수단의 진동신호를 기초로 상기 탐침의 고유진동수 연산 및 상기 엑츄에이터 입력신호로의 피드백이 가능하여 미소 변화되는 상기 탐침의 각 고유진동수를 기초로 상기 탐침의 변화된 특성 측정이 가능하도록 상기 감지수단 및 엑츄에이터에 전기적으로 연결되는 컨트롤러;를 포함하는 스캐닝 탐침 현미경의 탐침 특성 측정장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 탐침의 미소 진동이 광신호로 변조될 수 있도록상기 탐침에 대해 레이저광을 조사하는 광조사기 및상기 탐침으로부터 미소 진동에 기반하여 반사되는 광신호를 상기 감지수단에 반사 및 입사하도록 대응 배치되는 반사경을 포함하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 탐침 현미경의 탐침 특성 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 감지수단은, 상기 반사경으로부터 반사 및 입사되는 광신호를 레이저광의 변화를 감지할 수 있는 광감지기인 것을 특징으로 하는 스캐닝 탐침 현미경의 탐침 특성 측정장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 엑츄에이터는, 압전 구조인 것을 특징으로 하는 스캐닝 탐침 현미경의 탐침 특성 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.