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연료전지를 위한 열원으로 작용하는 마이크로 촉매 연소기에 있어서,예혼합 가스가 주입되는 입구와;반응물이 배출되는 출구와;상기 입구 및 출구 사이에 형성되고, 촉매를 담지하는 내부 벽면은 다공질의 실리콘 층으로 형성되는 연소실;을 포함하여 구성되는 마이크로 촉매 연소기
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제 1항에 있어서, 상기 마이크로 촉매 연소기는상기 연소실이 형성되는 지지체와 연소실을 덮는 커버체로 분리되어 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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제 2항에 있어서, 상기 입구 및 출구는상기 커버체에 형성되고, 상기 지지체와 커버체는 접합되어 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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제 1항에 있어서, 상기 다공질의 실리콘 층은전기화학적 식각(electrochemical etching)에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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제 1항에 있어서,상기 연소실의 내부 벽면에는 실리콘으로 형성되는 복수의 리브가 반응 가스가 흐르는 방향으로 안정되도록 정렬되어 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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제 2항에 있어서, 상기 커버체는파이렉스 유리(pyrex glass)이고, 상기 지지체와 양극접합(anodic bonding)에 의하여 견고하게 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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제 2항, 제 3항 또는 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 커버체의 연소실에 대응되는 부위에는 복수의 온도 센서가 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 촉매는 백금인 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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제 7항에 있어서, 상기 촉매는 백금인 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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제 7항에 있어서, 상기 온도 센서는사행 형태(meander type)의 곡선 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기
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연료전지를 위한 열원으로 작용하는 마이크로 촉매 연소기의 제조 방법에 있어서,지지체로서의 평판 형상의 실리콘 기판을 준비하는 단계;상기 실리콘 기판의 상면에 식각에 의해 트랜치 형상의 연소실을 형성하는 단계;상기 실리콘 기판의 하면에 전극을 마련하는 단계;상기 실리콘 기판의 상기 전극을 양극으로 하여 전기화학적 식각법에 의해 연소실에 다공질의 실리콘층을 형성하는 단계;다공질 실리콘층에 백금을 담지하는 단계;평판 형상의 커버체를 마련하는 단계;커버체의 일면에 지지체의 연소실에 대응되도록 복수의 온도 센서를 형성하는 단계;커버체가 지지체의 연소실을 덮도록 견고하게 접합하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기의 제조 방법
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제 11항에 있어서, 상기 온도 센서를 형성하는 단계는백금을 이용하여 스퍼터링(sputtering) 또는 증발에 의한 공정으로 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 촉매 연소기의 제조 방법
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