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투명 유리를 이용한 레이저 미세 가공 장치

  • 기술번호 : KST2015112699
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투명 유리를 이용한 레이저 미세 가공 장치에 관한 것으로서, 레이저 빔을 발진하는 레이저 장치, 레이저 장치로부터 발진된 레이저 빔을 작업 대상물 상에 집속하기 위한 집속 렌즈, 집속 렌즈와 작업 대상물 사이에 삽입 가능한 복수의 투명 유리, 복수의 투명 유리를 세척하기 위한 세척 장치, 및 복수의 투명 유리를 장착하고, 복수의 투명 유리 각각을 집속 렌즈와 작업 대상물 사이의 위치와 세척 장치가 복수의 투명 유리를 세척할 수 있는 위치 사이에서 레이저 빔의 방향과 수직인 면 상에서 이동시킬 수 있는 회전체를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 유리를 이용한 레이저 미세 가공 장치를 제공한다.투명유리, 레이저, 증기, 유리세척, 굴절
Int. CL B23K 26/06 (2014.01) B23K 26/02 (2014.01)
CPC B23K 26/0648(2013.01) B23K 26/0648(2013.01) B23K 26/0648(2013.01) B23K 26/0648(2013.01) B23K 26/0648(2013.01) B23K 26/0648(2013.01)
출원번호/일자 1020070007308 (2007.01.24)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0847677-0000 (2008.07.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080723) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나석주 대한민국 대전 유성구
2 박관우 대한민국 서울 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0071103-92
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.12.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2008-0003555-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0052050-51
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2008-0221715-88
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.03.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0221714-32
7 등록결정서
Decision to grant
2008.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0351952-09
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
작업대(135) 상에 설치된 작업 대상물(200)을 미세 가공하기 위한 레이저 미세 가공 장치(100)로서, 상기 레이저 미세 가공 장치(100)는,레이저 빔을 발진하는 레이저 장치(105);상기 레이저 장치(105)로부터 발진된 상기 레이저 빔을 상기 작업 대상물(200) 상에 집속하기 위한 집속 렌즈(115);상기 집속 렌즈(115)와 상기 작업 대상물(200) 사이에 삽입할 수 있고 상기 집속 렌즈(115)를 상기 작업 대상물(200) 환경으로부터 차단할 수 있는 서로 같은 지름을 가진 원형이고 서로 다른 두께를 가지는 복수의 투명 유리(120); 상기 복수의 투명 유리(120)를 세척하기 위한 세척 장치(125); 및상기 복수의 투명 유리(120)를 장착하고, 상기 복수의 투명 유리(120) 각각을 상기 집속 렌즈(115)와 상기 작업 대상물(200) 사이의 위치와 상기 세척 장치(125)가 상기 복수의 투명 유리(120)를 세척할 수 있는 위치 사이에서 상기 레이저 빔의 방향과 수직인 면 상에서 이동시킬 수 있는 회전체(130);를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 유리를 이용한 레이저 미세 가공 장치(100)
2 2
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3 3
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4 4
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5 5
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6 6
제 1 항에 있어서,상기 회전체(130)는 상하 운동이 가능한 것을 특징으로 하는 투명 유리를 이용한 레이저 미세 가공 장치(100)
7 7
제 1 항에 있어서,상기 작업대(135) 상에 설치되고 상기 작업 대상물(200)의 3축 위치를 제어하기 위한 3축 정밀 스테이지(140)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명 유리를 이용한 레이저 미세 가공 장치(100)
8 8
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9 9
삭제
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 복수의 투명 유리(120)는 상기 레이저 미세 가공 장치(100)에 탈부착이 가능한 것을 특징으로 하는 투명 유리를 이용한 레이저 미세 가공 장치(100)
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.