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레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치 및 그 접합방법

  • 기술번호 : KST2015112702
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 루프 높이의 감소에 의한 패키지 두께 감소의 효과를 얻을 수 있고, 용융접합에 의한 접합강도의 증가로 인해 몰딩 시 발생하는 접합부의 파손을 줄일 수 있는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치 및 그 접합 방법을 제공하기 위한 것으로, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일실시예에 따른 구체적인 수단은, 마이크로 전기 배선을 하기 위한 장치에 있어서, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 빔 발생장치(10)와; 상기 레이저 빔 발생장치(10)로부터 공급된 빔을 와이어(W)의 용융 온도가 되도록 집속시키는 빔 집속장치(20)와; 상기 빔 집속장치(20)에서 발생된 집속빔으로 와이어(W)를 안내하는 와이어 노즐(30)과; 상기 와이어 노즐(30)로 배선 용접이 되는 와이어(W)를 공급하는 와이어 공급장치(40)와; 상기 빔 집속장치(20)와 와이어 공급장치(40)를 탑재시켜 3축 이송시키는 3축 이송장치(50)를 포함한 구성으로 된 것을 특징으로 한다.레이저, 마이크로 와이어, 와이어 본딩
Int. CL H05K 13/06 (2006.01)
CPC H05K 13/065(2013.01) H05K 13/065(2013.01)
출원번호/일자 1020070021400 (2007.03.05)
출원인 한국과학기술원, 하나기술(주)
등록번호/일자 10-0833640-0000 (2008.05.23)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080530) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.03.05)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 하나기술(주) 대한민국 서울 서초구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 나석주 대한민국 대전 유성구
2 박관우 대한민국 서울 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 하나기술(주) 대한민국 서울특별시 서초구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2007.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0180694-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.11.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2007-0073524-00
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0674015-40
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2008-0101706-96
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0101705-40
7 등록결정서
Decision to grant		 2008.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0256710-16
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.05.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5095286-34
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2010-5023825-47
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.10.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-0049758-59
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.11.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5141898-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마이크로 전기 배선을 하기 위한 장치에 있어서,레이저 빔을 발생시키는 레이저 빔 발생장치(10)와;상기 레이저 빔 발생장치(10)로부터 공급된 빔을 와이어(W)의 용융 온도가 되도록 집속시키는 빔 집속장치(20)와;상기 빔 집속장치(20)에서 발생된 집속빔으로 와이어(W)를 안내하는 와이어 노즐(30)과;상기 와이어 노즐(30)로 배선 용접이 되는 와이어(W)를 공급하는 와이어 공급장치(40)와;상기 빔 집속장치(20)와 와이어 공급장치(40)를 탑재시켜 3축 이송시키는 3축 이송장치(50)를 포함한 구성으로 된 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 3축 이송장치(50)에 설치되며, 상기 빔 집속장치(20)에 의해 형성된 집속빔으로 불활성 가스를 공급하는 가스노즐(60)과;상기 가스노즐(60)에 연결되어 불활성가스를 공급하는 가스공급기(70)를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치
3 3
제 1항에 있어서,상기 빔 집속장치(20)는 상기 와이어 노즐(30)에 배치된 집속렌즈(22)와;상기 3축 이송장치(50)에 탑재되어 점광원을 평행광으로 변화시켜 상기 집속렌즈(22)로 조사하는 시준기(24)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 와이어 노즐(30)은,상기 집속 렌즈(22)가 설치되고 빔 통과 경로를 제공하는 빔 통과공(31)과, 상기 빔 통과공(31)의 일측으로 상기 와이어(W)를 안내하는 와이어 안내구멍(32)을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 장치
5 5
마이크로 전기 배선을 하기 위한 방법에 있어서,(a) 3축 정밀스테이지(7)상에 마이크로 와이어 배선이 요구되는 패드(2)를 안착시킨 후 상기 패드(2)의 상방으로 3축 이송장치(50)를 위치시키는 단계와;(b) 상기 3축 이송장치(50)내의 와이어 공급장치(40)로부터 와이어(W)를 배출시켜 와이어(W)의 선단을 와이어 노즐(30)의 하부 끝단에서 일정한 길이로 노출시키는 단계와;(c) 상기 3축 이송장치(50)를 하향 이송시켜 와이어(W)와 패드(2)의 접촉면에 2차 결합(Van der Waals force)를 발생시키는 단계와;(d) 상기 3축 이송장치(50)를 상향 이송과 수평 이송을 시킨 후, 와이어(W)에 레이저 빔(4)을 집속시켜 1차 접합을 실시하는 단계와;(e) 1차 접합이 완료되면 레이저 빔의 집속 조사를 중단하고 와이어(W)를 계속 공급하면서 3축 이송장치(50)를 다음 접합 위치까지 수평방향으로 이동시킨 후 와이어 공급을 중단시키는 단계와;(f) 상기 3축 이송장치(50)를 하향 이동시켜 와이어(W)와 패드(3)의 접촉면에 2차 결합(Van der Waals force)를 발생시킨 후, 3축 이송장치(50)를 상향 이송시킨 상태에서 와이어(W)에 레이저 빔을 집속 조사시켜 접합을 수행하고 소성 변형된 와이어를 절단하는 단계를 포함하여 와이어 접합을 수행하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 방법
6 6
제 5항에 있어서,상기 (d)단계 및 (f)단계에서 각기 와이어(W)의 접합부에서 발생되는 금속증기를 가스공급기(70)로부터 공급되는 불활성가스에 의해 제거시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 마이크로 전기 배선 접합 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.