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음향광학 변조 필터를 이용한 분광타원해석기 및 이를이용한 타원 해석방법

  • 기술번호 : KST2015112731
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 음향광학 변조 필터를 이용한 분광타원해석기 및 이를 이용한 타원해석방법에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 여러 파장에서의 편광 특성을 이용하여 다층 박막을 포함한 박막 측정의 정확도를 향상시킬 수 있는 분광타원해석기 및 그 타원해석방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 음향광학변조필터를 이용한 타원해석기는 광원으로부터 출사되는 단색광이 편광되어 시편부에서 반사된 후, 음향광학변조필터를 통과하면서 분광 및 편광된 후 2개의 회절광의 혼선오차를 측정하여 보상하는 방법으로 시편의 두께와 굴절률을 정밀하게 계산하는 것을 특징으로 한다. 음향광학 변조 필터, 분광타원해석기,
Int. CL G01N 21/21 (2006.01) G01J 4/04 (2006.01)
CPC G01N 21/21(2013.01) G01N 21/21(2013.01) G01N 21/21(2013.01) G01N 21/21(2013.01) G01N 21/21(2013.01)
출원번호/일자 1020070049409 (2007.05.21)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0870132-0000 (2008.11.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20081125) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.05.21)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오세백 대한민국 대전 서구
2 유장우 대한민국 대전 유성구
3 예상헌 대한민국 대전 유성구
4 류성윤 대한민국 대전 유성구
5 김수현 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0372547-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.02.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2008-0017412-27
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0283012-88
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2008-0538115-49
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.07.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0538108-29
7 등록결정서
Decision to grant
2008.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0574831-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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단사광을 출사하는 광원(2)과;상기 광원으로부터 조사되는 단색광이 반사되는 시편부(3)와;상기 시편부(3)로부터 반사되는 단색광과 음향광학 변조 필터 드라이버(61)로부터 RF신호(63)를 받아 정해지는 소정의 파장 대역폭을 가지는 음향광학변조필터(40)를 포함하여 파면이 서로 수직인 2개의 회절광을 발생시키는 파장 및 편광 변조부(4)와;상기 음향광학변조필터(40)로부터의 상기 회절광을 2차원 결상 소자(51a,51b)로 서로 직교 방향으로 된 2개의 회절광을 동시에 측정하여 상기 음향광학 변조필터(40)에서 발생하는 편광혼선 오차를 보상하는 검출부(5)와;상기 2차원 결상 소자(51a,51b)를 동기화 및 제어하여 편광혼선 오차를 보상하고, 시편의 굴절률 및 두께를 계산하는 신호처리 제어부(6);를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광학 변조 필터를 이용한 분광타원해석기
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
광원부(2)에서 빛을 방출하는 단계(s10)와; 상기 방출된 빛을 편광기(22)로 선형편광시키는 단계(s20)와; 상기 선형편광된 빛을 시편(31)에서 반사하는 단계(s30))와; 상기 시편(31)에서 반사된 빛을 음향광학 변조필터(40)로 입사시키는 단계(s40)와;상기 음향광학변조 필터(40)에서 2개의 회절 편광을 발생시키는 단계(s50)와; 상기 회절편광된 빛을 검출부(5)에서 검출하는 단계(s60)와; 상기 회절 편광된 빛의 강도를 측정하는 방법을 통하여 입사광의 강도를 측정하는 단계(s70)와; 입사광(7)의 강도로부터 얻은 데이터로 선형편광된 빛의 편광혼선 오차를 보상하는 단계(s80)와; 상기 편광 혼선 오차를 이용하여 시편(31)의 두께와 굴절률을 측정하는 단계(s90);를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광학 변조필터를 이용한 타원해석방법
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제 7항에 있어서,상기 선형편광혼선 오차를 보상하기 위해서 상기 신호처리 및 제어부(6)에서 신호를 편광기(22)로 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광학변조필터를 이용한 타원해석방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.