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입사광(24a)과 기준광(24b)을 방출하는 광원부(2)와; 상기 광원부(2)에서 방출된 입사광(24a)을 여러 차수의 빛으로 회절시키는 제1 회절격자부(3)와; 상기 제1 회절격자부(3)를 통과한 회절된 빛에 대한 위상지연을 발생시키는 시편부(4)와; 상기 시편부(4)로부터 발생하여 분산되어 있던 각 파장별 빛을 집속시키는 제2 회절격자부(5)와; 상기 제2 회절격자부(5)로부터 집속된 집속광(53)과 상기 기준광(24b)을 합치시켜 백색광을 다시 생성하여 특정파장의 측정광(63)을 출사시키는 분광부(6)와; 상기 측정광(63) 중에서 특정 파장에 대한 간섭신호를 검출하는 검출부(7)와;상기 검출부(7)에서 검출된 간섭신호를 데이터로 저장하고,상기 제1 회절격자부(3), 상기 시편부(4)및 상기 분광부(6)를 제어하는 신호처리 및 제어부(8);로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 제1 회절격자부(3)는 백색광을 여러 차수의 빛으로 회절시키기 위한 제1 회절격자(31)와, 회절된 빛을 평행광상태로 일정한 분산각을 가지고 시편(41)에 입사하도록 하기 위한 렌즈부(32)를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 물체의 3차원 굴절률 분포 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 제1 회절격자부(3)내의 렌즈부(32)는 두 렌즈(32a,32b)의 초점거리만큼 떨어져 있는 것을 특징으로 하는 위상 물체의 3차원 굴절률 분포 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 시편부(4)는 측정시편(41)과 상기 시편(41)과 비슷한 굴절률을 가지는 굴절률 정합용액(42)을 포함하고 시편 장착부(43)에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정장치
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제 4항에 있어서,상기 시편 장착부(43)는 시편 회전 구동부(44)를 포함하고 있어서, 시편을 임의의 원하는 각으로 회전시킬 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정장치
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6
제 1항에 있어서,상기 제2 회절격자부(5)는 전단부에 렌즈부(52)가 위치하고, 상기 렌즈부(52)의 후단부에 제2 회절격자(51)를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상 물체의 3차원 굴절률 분포 측정장치
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제 2항 또는 제 6항에 있어서, 상기 제1, 2 회절격자부(3,5)는 서로 공액인 관계를 이루고 있어서 제2 회절격자부(5)에서 방출되는 빛이 백색광이 되는 것을 특징으로 하는 위상 물체의 3차원 굴절률 분포 측정장치
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8
위상물체(4)의 3차원 굴절률을 측정하는 광학장치에 있어서,(a) 상기 광원부(2)에서 방출된 빛을 입사광(24a)와 기준광(24b)로 분리하는 단계(S10)와,(b) 상기 입사광(24a)을 제1 회절격자부(3)에서 파장에 따라 분광시키는 단계(S20)와,(c) 파장에 따라 분광된 빛이 시편부(4)를 통과하면서 위상 지연을 갖고 있는 상태로 제2 회절격자부(5)로 입사되어 백색광으로 집속되는 단계(S30)와,(d) 상기 집속된 백색광 중 분광부(6)에서 기준광(24b)와 합친 후 특정파장의 대역을 갖는 빛만 검출부(7)로 방출시키는 단계(S40)와,(e) 상기 특정 파장의 대역을 갖는 빛에 대한 간섭 신호를 측정데이터(71)로 저장하는 단계(S50)및(f) 상기 특정 파장의 대역을 갖는 빛의 간섭신호에 대한 측정이 완료되면, 분광부(6)에 분광조절신호(83)를 방출하는 단계(S60)를 포함하는 것을 특징으로 하는 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정방법
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제 8항에 있어서,상기 (f)단계에서, 상기 분광부(6)에 방출되는 분광조절신호(83)는 특정 주파수의 간섭 투영정보만이 입력되도록 하는 것을 특징으로 하는 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정방법
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제 8항에 있어서, 상기 (c)단계에서, 분광된 빛이 입사되기 전에 시편부(4)에 시편(41)회절각 조절신호(82)를 방출하여 시편 회절각을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정방법
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제 8항에 있어서, 상기 (b)단계에서, 입사광(24a)이 입사하기 전에 회절각도 조절신호(81)를 방출하여 회절각도를 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정방법
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제 11항에 있어서, 회절각도 조절신호(81)는 백색광의 1차 회절 성분을 사용할 것인지, 회절되지 않은 0차의 빛을 사용할 것인지에 따라 제1 회절격자부(3)의 제1 회절격자(31)의 각도를 조절하는 것을 특징으로 하는 위상물체의 3차원 굴절률 분포 측정방법
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