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금속 와이어의 편평한 일단면에 탄소나노튜브 전자빔원이 형성된 팁 형 음극 전극과, 상기 음극 전극에 이격되어 설치되며 상기 음극 전극의 반대 방향으로 나팔관형으로 벌어져서 형성된 게이트 전극과, 상기 게이트 전극에 이격되어 설치되는 엑스선 발생부를 포함하는 전자총부; 및
게터 타겟의 전면에 설치되며, 인출된 전자빔을 집속 또는 발산하게 하는 전기장을 형성하는 전기장 조절 전극을 포함하며,
상기 엑스선 발생부는 전자빔 충돌에 의해 엑스선이 발생하는 투과형 엑스선 타겟;
발생된 엑스선이 엑스선관 밖으로 인출되도록 하는 엑스선 투과창; 및
엑스선관 내부의 진공 상태를 유지하는 게터 타겟을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 1에 있어서,
상기 엑스선 발생부는 전자빔이 충돌하여 엑스선이 발생하는 투과형 엑스선 발생부인 동시에 전자빔 가속 전압이 인가되는 양극 전극이며, 원통형으로서 일측에 개구부가 형성되고, 상기 개구부의 반대측에는 상기 엑스선 투과창으로 폐구되며, 상기 엑스선 투과창의 내면에는 상기 투과형 엑스선 타겟이 설치되고, 상기 개구부 내측면에는 상기 게터 타겟이 설치되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 1에 있어서,
상기 투과형 엑스선 타겟은 몰리브덴, 탄탈륨, 텅스텐, 금 및 구리 중 선택되는 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 1에 있어서,
상기 엑스선 투과창은 베릴륨, 베릴륨동, 알라미늄, 탄소 및 구리 중 선택되는 하나의 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 1에 있어서,
상기 게터 타겟은 바륨, 알루미늄, 마그네슘, 지르코늄, 바나듐, 코발트, 티타늄 및 팔라디움 중 선택되는 하나의 재질 또는 그 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 1에 있어서,
상기 음극 전극은 일단면이 편평하게 연마된 원통형 금속 팁이며, 상기 음극 전극의 직경은 0
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청구항 1에 있어서,
상기 음극 전극의 일단면에 형성된 탄소나노튜브 전자빔원은 관 지름이 1 내지 50nm인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 1에 있어서,
상기 음극 전극은 텅스텐, 철, 니켈, 티타늄, 은, 구리 중 선택되는 하나의 재질로 형성된 금속 팁인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 9에 있어서,
상기 탄소나노튜브 전자빔원은 유전영동법, 레이저증착법, 화학증착법, 플라즈마 화학증착법, 프린팅기법 중 선택되는 하나의 방법으로 상기 음극 전극의 일단면에 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 1에 있어서,
상기 게이트 전극은 상기 음극 전극의 반대 방향으로 5°내지 30°의 나팔관형으로 전극면이 기울어져 나가는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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청구항 2에 있어서,
상기 엑스선 발생부는 반구형, 뿔형, 원통형 중 선택되는 하나의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브 전계방출원을 이용한 초소형 엑스선관
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