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증착물질을 수용하도록 내부에 충전공간이 구비된 통형상의 도가니; 상기 도가니의 충전공간 내부로 상기 증착물질을 공급하도록 상기 도가니의 측부를 관통하여 설치되는 장입관; 상기 도가니 내부의 충전된 상기 증착물질을 가열하는 가열 수단; 및상기 가열수단에 의해 상기 도가니 내부에서 기화된 상기 증착물질을 상기 도가니의 하부를 통해 하향 배출시키는 노즐을 포함하고, 상기 노즐은,상기 도가니의 상기 충전공간 내부에 설치되며, 단면이 점차 축소되는 하부단면 축소부가 상기 도가니의 하부를 관통하여 설치되는 하향식 선원 증발원
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제1항에서,상기 도가니는,탄소 또는 탄화규소를 재질로 이루어지는 하향식 선원 증발원
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제2항에서,상기 도가니는 외주면을 덮는 외벽을 더 포함하고, 상기 외벽은 내화 물질로 이루어지는 하향식 선원 증발원
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제2항에서,상기 가열수단은, 상기 도가니 자체의 전기 저항에 의해 열을 발생시키도록 전원을 공급하는 전원 공급기를 포함하는 하향식 선원 증발원
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제2항에서,상기 가열수단은, 상기 도가니 내부에 설치되며, 상기 도가니와 동일 재질로 이루어지는 그물망을 더 포함하는 하향식 선원 증발원
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제1항에서,상기 노즐의 단면이 "U"자 또는 "V"자 형상으로 이루어지고,상기 노즐의 하부 단면 축소부 하단에는 슬릿 또는 다수의 구멍 형태의 배출구가 구비되는 하향식 선원 증발원
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제1항에서,상기 도가니 내부에서 상기 노즐 높이는 상기 도가니의 상기 충전공간의 최대 높이의 1/2 이상인 것을 포함하는 하향식 선원 증발원
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제1항에서,상기 장입관은 세라믹 재질로 이루어지는 하향식 선원 증발원
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제1항의 상기 하향식 선원 증발원; 상기 하향식 선원 증발원의 상기 장입관에 의해 연결되는 증착물질 저장고; 및상기 장입관에 구비되어, 상기 증착물질 저장고로부터 상기 하향식 선원 증발원의 상기 도가니 내부 충전공간으로 공급되는 상기 증착물질의 공급량을 제어하는 게이트 밸브를 포함하는 하향식 선원 증발원을 이용한 박막 형성 장치
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제9항에서, 상기 장입관 내부를 냉각시키기 위한 냉각 수단을 더 포함하는 하향식 선원 증발원을 이용한 박막 형성 장치
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제10항에서, 상기 냉각 수단은, 상기 장입관 외주면을 감는 냉각 코일을 포함하는 하향식 선원 증발원을 이용한 박막 형성 장치
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제10항에서, 상기 게이트 밸브를 통해 상기 장입관에 연결되어,상기 장입관 내부로 불활성 가스를 공급하는 기체 공급관을 더 포함하는 하향식 선원 증발원을 이용한 박막 형성 장치
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