맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

펨토초 레이저에 의해 나노 보이드 어레이 형성을 통한 절단방법

  • 기술번호 : KST2015114011
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 펨토초 레이저에 의해 나노 보이드 어레이 형성을 통한 절단방법에 관한 것으로, 극초단 펨토초 레이저를 개구수(NA)가 0.7 내지 0.95를 가지는 집광렌즈로 집광시켜 투명재료 또는 기판에 조사함으로써, 비선형 커렌즈(Kerr Lens) 현상에 의한 자체 집속(Self Focusing)과 다중광자이온화(Multi-Photon Ionization) 현상에 의한 플라즈마 디포커싱(Plasma Defocusing) 되도록 하여 기판에 나노 보이드 어레이(Nano-Void Array)를 형성한 후 절단하는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 나노 보이드 어레이를 형성하여 투명재료의 절단 및 가공 효율을 향상시킬 수 있고, 기존에 불가능한 얇은 투명재료의 효율적인 절단 및 가공을 가능한 이점이 있다.
Int. CL H01L 21/304 (2014.01) C03B 33/09 (2014.01) B23K 26/55 (2014.01) H01S 3/10 (2014.01)
CPC B23K 26/55(2013.01) B23K 26/55(2013.01) B23K 26/55(2013.01) B23K 26/55(2013.01) B23K 26/55(2013.01) B23K 26/55(2013.01) B23K 26/55(2013.01) B23K 26/55(2013.01)
출원번호/일자 1020100059233 (2010.06.22)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1181719-0000 (2012.09.05)
공개번호/일자 10-2011-0139007 (2011.12.28) 문서열기
공고번호/일자 (20120919) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.22)
심사청구항수 2

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김승우 대한민국 대전광역시 유성구
2 김영진 대한민국 경상남도 창원시 진해구
3 김윤석 대한민국 광주광역시 서구
4 유준호 대한민국 대전광역시 유성구
5 김승만 대한민국 인천광역시 남동구
6 한승회 대한민국 대전광역시 동구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인대한 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 부봉빌딩 *층 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0401185-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.03.19 수리 (Accepted) 9-1-2012-0017802-58
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0161240-81
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.05.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0404752-87
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0404751-31
7 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0518615-72
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
극초단 펨토초 레이저를 개구수(NA)가 0
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 나노 보이드 어레이를투명재료 또는 기판에 비스듬히 형성되도록 펨토초 레이저를 조사하여 형성시키는 것을 특징으로 하는 펨토초 레이저에 의해 나노 보이드 어레이 형성을 통한 절단방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.