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적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템으로서,예열, 예냉된 공기에 의해 내부 온도가 주기적으로 반복 변경되는 챔버;상기 챔버의 내부에 설치되어 별도의 전력을 공급받아 기설정된 기준 온도보다 높은 고온 및 기설정된 기준 온도보다 낮은 저온 환경에서 독립적으로 작동하는 냉각 시스템;상기 냉각 시스템의 상부에 온도 센싱을 위해 설치되는 적층 패키지 대표 시편;상기 냉각 시스템의 상부에 설치되어 향상된 열 사이클링 시험을 동시에 수행하기 위한 다수개의 적층 패키지 시험 시편;각 센서에 의해 센싱된 상기 챔버 내 온도(Tchamber)와, 상기 적층 패키지 대표 시편의 상부에서의 온도(Ts,up)와, 상기 적층 패키지 대표 시편의 하부에서의 온도(Ts,down)와, 상기 냉각 시스템의 하부에서의 온도(Tc,down)를 측정하는 디지털 멀티미터; 및상기 디지털 멀티미터에서 측정된 상기 챔버 내 온도(Tchamber)와 상기 적층 패키지 대표 시편의 하부에서의 온도(Ts,down)를 모니터링하여 제어하기 위한 제어 신호를 생성하는 제어 시스템을 포함하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 냉각 시스템 작동을 위한 에너지 입력시 상기 챔버 내 온도(Tchamber)가 상승하는 경우 상기 챔버 내 온도(Tchamber)는 사용자 설정에 의한 상수값으로 제어되는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 1에 있어서,청구항 1에 있어서,상기 냉각 시스템은 상기 적층 패키지 시험 시편의 향상된 열 사이클링 시험시의 온도 범위와 동일한 기설정된 기준 온도보다 높은 고온 및 기설정된 기준 온도보다 낮은 저온 환경에서 독립적으로 작동하는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 냉각 시스템은 상기 적층 패키지 대표 시편의 하부 온도(Ts,down)를 감소시키는 역할을 하는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 냉각 시스템은 열전 냉각기 또는 오일 냉각기를 사용하는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 적층 패키지 대표 시편에서의 온도 센싱은 상기 챔버 내 온도(Tchamber)와, 상기 적층 패키지 대표 시편의 상부에서의 온도(Ts,up)와, 상기 적층 패키지 대표 시편의 하부에서의 온도(Ts,down)와, 상기 냉각 시스템의 하부에서의 온도(Tc,down) 센싱을 포함하는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 7에 있어서,상기 다수개의 적층 패키지 시험 시편 각각의 상부에서의 온도와 하부에서의 온도는 상기 적층 패키지 대표 시편의 상부에서의 온도(Ts,up)와 하부에서의 온도(Ts,down)와 동일한것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 제어 시스템은 상기 적층 패키지 대표 시편의 하부에서의 온도(Ts,down)를 유지시키는 제어 신호를 상기 냉각 시스템으로 전송하는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 9에 있어서,상기 냉각 시스템은 상기 제어 시스템의 제어 신호에 따라 상기 적층 패키지 대표 시편의 하부에서의 온도(Ts,down)를 유지시키는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 10에 있어서,상기 다수개의 적층 패키지 시험 시편의 각각의 하부 온도 역시 상기 적층 패키지 대표 시편의 하부에서의 온도(Ts,down)와 동일하게 유지되는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 1에 있어서,상기 제어 시스템은 상기 챔버 내 온도(Tchamber)를 유지시키는 제어 신호를 상기 챔버 내 온도를 변경시키는 온도 변경 시스템으로 전송하는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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청구항 12에 있어서,상기 챔버 내 온도(Tchamber)는 상기 온도 변경 시스템의 제어에 따라 예열, 예냉된 공기에 의해 - 40℃ ~ 125℃ 범위 내에서 주기적으로 반복 변경되는것을 특징으로 하는 적층 패키지의 신뢰성 평가를 위한 향상된 열 사이클링 시험 시스템
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14
청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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15
청구항 15은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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16
청구항 16은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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청구항 17은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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청구항 18은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다
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