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피도금물에 전해 도금 또는 무전해 도금하는 장치에 있어서,도금액이 수용되는 도금조(100);수평 또는 수직으로 일정 간격 이격되어 나란하게 상기 도금조(100) 내에 배치되는 도금제인 양극판(210)과, 피도금물인 음극판(220);상기 도금조(100)가 내부에 수용되며, 진공 상태를 유지하도록 조절되는 진공챔버(300);상기 진공챔버(300)에 연결되어 진공도를 조절하는 진공도 조절장치(400); 및상기 도금조(100) 내에 수용되는 도금액의 온도를 조절하는 가열장치(500); 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 도금 장치
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제 1항에 있어서,상기 진공 도금 장치(10)는상기 양극판(210) 및 음극판(220)에 각각 연결되어 전류를 통전시키는 정류기(600)를 포함하여 형성되며, 도금액이 전해질 용액인 것을 특징으로 하는 진공 도금 장치
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제 1항에 있어서,상기 진공 도금 장치(10)는도금액이 환원제를 포함한 무전해 도금용 도금액인 것을 특징으로 하는 진공 도금 장치
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제 2항 및 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 진공도 조절장치(400)는상기 진공챔버(300)의 환기구(310)에 설치되어 상기 진공챔버(300) 내의 진공도를 측정하는 진공게이지(410); 상기 진공챔버(300)의 환기구(310)에 설치되어 상기 환기구(310)의 개폐를 조절하는 환기밸브(420); 및 상기 진공챔버(300)와 연결되어 상기 진공챔버(300)를 진공상태로 만들어주는 진공펌프(430); 를 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 도금 장치
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제 4항에 있어서,상기 진공 도금 장치(10)는증발된 도금액이 상기 진공펌프(430)로 넘어가지 않도록 필터링 하며, 상기 진공챔버(300)와 진공펌프(430) 사이에 설치되는 트랩부(320)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 도금 장치
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제 5항에 있어서,상기 진공 도금 장치(10)는상기 도금조(100)에 도금액을 보충하는 도금액 보충장치(700)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 도금 장치
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제 6항에 있어서,상기 진공 도금 장치(10)는도금액에 초음파를 가해주는 초음파 발생장치(800)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 도금 장치
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제 6항에 있어서,상기 진공 도금 장치(10)는도금액을 휘저어 섞어주는 교반장치(900)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 도금 장치
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진공 도금 장치(10)를 이용한 진공 도금 방법에 있어서,a) 도금제인 양극판(210) 및 피도금물인 음극판(220)을 도금액이 수용되는 도금조(100) 내에 배치하는 배치 단계(S100);b) 상기 양극판(210) 및 음극판(220)에 전류를 통전시켜주는 정류기(600)를 연결하는 정류기(600) 설치 단계(S200);c) 상기 도금조(100)가 수용되는 진공챔버(300)를 밀폐시킨 다음, 상기 진공챔버(300)의 진공도를 조절하는 진공도 조절장치(400)에 의해 상기 진공챔버(300) 내에 적정량의 진공도를 유지시키는 진공 단계(S300);d) 상기 도금조(100)가 진공상태가 되어 도금액 내의 기포가 밖으로 배출되는 기포 배출 단계(S400);e) 배출된 도금액의 기포가 제거된 다음, 상기 정류기(600)를 작동시켜 상기 음극판(220)을 도금하는 도금 단계(S500); 를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 도금 방법
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제 9항에 있어서,상기 진공 도금 방법은f) 상기 진공챔버(300)의 환기구(310)에 설치되어 상기 환기구(310)의 개폐를 조절하는 환기밸브(420)를 개방하여 상기 도금조(100)의 진공상태가 해제된 다음, 도금이 완료된 음극판(220)을 꺼내는 환기 단계(S600); 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 도금 방법
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제 9항에 있어서,상기 진공 도금 방법은a) 내지 e) 단계 중 어느 하나 이상에서도금액에 초음파를 가해주는 초음파 발생장치(800)가 작동되어 기포가 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 도금 방법
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제 9항에 있어서,상기 진공 도금 방법은a) 내지 e) 단계 중 어느 하나 이상에서도금액을 휘저어 섞어주는 교반장치(900)가 작동되어 기포가 배출되도록 하는 것을 특징으로 하는 진공 도금 방법
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제 9항에 있어서,상기 진공 도금 방법은c) 단계에서 도금액이 적정온도 및 적정수위를 유지하도록도금액의 온도를 조절하는 가열장치(500)와, 상기 도금조(100)에 도금액을 보충하는 도금액 보충장치(700)가 작동되는 것을 특징으로 하는 진공 도금 방법
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