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미소거울 구동기

  • 기술번호 : KST2015114611
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 두축 자유도를 가지며 정전력에 의하여 구동되는 미소거울 구동기에 관하여 개시한다. 본 발명의 장치는, 절연층이 형성된 기판과; 절연층 상에 각각 형성되는 두 개의 하부기둥과; 하부기둥들 상면에 걸쳐지도록 형성되는 제1 비틀림바와; 제1 비틀림바와 직교하도록 형성되는 제2 비틀림바와; 제1 비틀림바와 제2 비틀림바의 교차에 의하여 형성되는 영역의 내측에 각각 위치되도록 절연층 상에 각각 형성되는 네 개의 전극과; 제2 비틀림바의 상면에 각각 형성되는 두 개의 상부기둥과; 상부기둥들 상면에 걸쳐짐으로써 상부기둥들에 의하여 지지 고정되도록 형성되는 미소거울을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 두 개의 상부기둥에 의하여 미소거울을 희망하는 높이까지 직접 띄울 수 있으며, 비틀림바가 미소거울의 하부에 위치됨으로써 구조체의 면적을 줄일 수 있고, 전압이 인가되는 전극에 따라 두 축 자유도를 가짐으로써 3-D 광스위치로 유용하게 사용된다. 미소거울, 정전력, 전극, 비틀림바, 기둥
Int. CL G02B 26/08 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020020029546 (2002.05.28)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0431581-0000 (2004.05.04)
공개번호/일자 10-2003-0091479 (2003.12.03) 문서열기
공고번호/일자 (20040517) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.05.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤준보 대한민국 대전광역시유성구
2 이형규 대한민국 경기도군포시
3 김지혁 대한민국 서울특별시성동구
4 윤의식 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허진석 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로***, **,**층(역삼동, 동희빌딩)(특허법인아주김장리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2002-0165576-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.01.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2004-0009000-49
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
6 등록결정서
Decision to grant		 2004.04.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0157261-13
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

절연층이 형성된 기판과;

소정거리 이격되어 상기 절연층 상에 각각 형성되는 두 개의 하부기둥과;

상기 하부기둥들 각각의 상면에 걸쳐지도록 형성되는 제1 비틀림바와;

상기 제1 비틀림바와 직교하도록 형성되는 제2 비틀림바와;

상기 제1 비틀림바와 상기 제2 비틀림바의 교차에 의하여 형성되는 영역의 내측에 각각 위치되도록 상기 절연층 상에 각각 형성되는 네 개의 전극과;

자신들의 상면 각각이 상기 전극들의 상면들보다 높은 위치에 있도록, 상기 제2 비틀림바의 상면에 각각 형성되는 두 개의 상부기둥과;

상기 상부기둥들 상면에 걸쳐짐으로써 상기 상부기둥들에 의하여 지지 고정되도록 형성되는 미소거울을 포함하는 미소거울 구동기

2 2

제 1항에 있어서, 상기 미소거울이 기울어지는 희망 각도에 따라 상기 전극들의 높이가 다르게 형성되거나 또는 상부기둥들의 높이가 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기

3 3

제 1항에 있어서, 상기 제1 비틀림바, 제2 비틀림바, 및 전극들은 구리, 니켈, 금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기

4 4

제 1항 또는 제 3항에 있어서, 상기 미소거울은 구리, 니켈, 금, 단결정 실리콘 또는 다결정 실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기

5 5

제 1항에 있어서, 상기 전극들 상면은 사각, 1/4 원 또는 부채꼴 형상인 것을 특징으로 하는 미소거울 구동기

6 6

제 1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 비틀림바는 일직선의 바 또는 굴곡이 있는 바의 형상인 것을 특징으로 하는 정전방식으로 미소거울 구동기

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1 JP16102227 JP 일본 FAMILY
2 US06775050 US 미국 FAMILY
3 US20030223103 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 JP2004102227 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 US2003223103 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US6775050 US 미국 DOCDBFAMILY
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