n×n의 2차원 배열형으로 형성된 4개 이상의 잉크 공급로 구멍들을 가지는 기판과;

상기 잉크 공급로 구멍들의 각각에 연결된 노즐과;

상기 노즐의 구동수단과;

상기 노즐들을 선택적으로 구동시키기 위해 외부에서 가해진 전기적 신호를 디코딩하여 상기 구동수단에 전달하는 전기소자를 구비하는 잉크젯 프린트 헤드, 단 n은 2 이상의 자연수

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제1항에 있어서, 상기 노즐의 크기가 상기 2차원 배열의 구역별로 서로 다르도록 하여 다양한 해상도를 구현할 뿐 아니라 출력속도도 향상시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제1항에 있어서, 제1항에 있어서, 상기 잉크 공급로에 각각 한 개 또는 복수개의 노즐과 각각의 노즐에 해당하는 잉크채널을 가진 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제1항에 있어서, 상기 구동수단이, 열 분사방식 또는 피에조 분사방식에 의해 상기 노즐로부터 잉크를 토출시키는 수단인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제1항에 있어서, 상기 전기소자가 다이오드 또는 모스 트랜지스터 등의 스위칭 소자로서 상기 기판에 집적 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제1항에 있어서, 상기 노즐들의 각각이, 상기 잉크 공급로 구멍을 덮는 노즐판에 형성되며, 상기 도전막을 포함하여 잉크젯 프린트 헤드의 구동을 위한 전원선 또는 접지선 등의 배선으로 사용되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제1항에 있어서, 상기 잉크 공급로 구멍들과 노즐들의 2차원 배열이 상기 프린트 헤드의 인쇄 운동방향에 대해 일정 각도를 갖는 열들로 이루어진 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제1항에 있어서, 상기 노즐들을 어레이 블록으로 배치하고 블록마다 적어도 서로 다른 색의 잉크를 공급하여 복수 개의 색을 인쇄할 수 있는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제1 도전형 불순물이 도핑된 실리콘 기판 상에 실리콘 산화막과 실리콘 질화막을 순차적으로 형성하는 단계와;

스위칭 소자가 형성될 영역과 주잉크 공급로가 형성될 영역을 제외한 나머지 부분의 상기 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막을 식각하여 상기 기판의 일부 영역을 노출시킨 후 이 노출영역에 제2 도전형 불순물을 도핑하는 단계와;

상기 결과물에 대해 산화공정을 적용하여 상기 노출영역에 열전달 방지용 실리콘 산화막을 형성하는 단계와;

상기 주잉크 공급로가 형성될 영역 전체, 및 상기 스위칭 소자가 형성될 영역의 양단부 상의 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막을 제거하고 상기 제거영역에 제1 도전형 불순물을 도핑하여 소자격리용 제1 도전형 불순물 확산층을 만드는 단계와;

상기 소자격리용 제1 도전형 불순물 확산층의 도핑농도를 낮추고 상기 스위칭 소자가 형성될 영역의 양단부에 소자격리용 실리콘 산화막을 형성함과 동시에 상기 열전달 방지용 산화막의 두께를 증가시키기 위해 산화공정 및 열처리 공정을 차례로 거치게 하는 단계와;

잔류한 모든 실리콘 질화막 및 그 하부의 산화막을 제거하는 단계와;

상기 스위칭 소자가 형성될 영역 상에 게이트 산화막, 게이트 전극용 폴리실리콘막, 및 소스-드레인을 포함한 스위칭용 트랜지스터를 형성하는 단계와;

잉크 공급로가 형성될 영역과 후속 금속 배선간의 접촉저항을 낮추기 위해, 상기 잉크 공급로가 형성될 영역 위의 산화막을 제거하고 제1 도전형 불순물을 도핑하는 단계와;

상기 소스-드레인 영역 상의 산화막을 제거한 후, 금속 배선과 발열저항용 박막을 증착하고 식각함으로써 배선과 발열저항을 형성하는 단계와;

상기 트랜지스터와 발열저항 내지 배선을 잉크로부터 보호하기 위한 보호층 Ⅰ과 보호층 Ⅱ를 순차 증착한 후, 상기 보호층 Ⅱ는 발열저항 주위의 보호층 Ⅱ 패턴만 남기고 나머지를 식각하고, 패드-배선 접촉창이 형성되는 영역과 잉크 공급로 형성 영역 위의 보호층 I 부분을 식각하는 단계와;

상기 결과물에 노즐판 도금을 위한 기초 금속층을 증착하고, 노즐판 도금을 위해 잉크채널, 잉크방 및 노즐형성용 도금 몰드를 감광막 패터닝에 의해 형성하는 단계와;

상기 도금 몰드를 이용하여 노즐판을 도금에 의해 형성하되, 상기 도금 두께가 상기 감광막의 높이보다 낮게 하는 단계와;

상기 기판을 식각하여 잉크 공급로를 형성하는 단계와;

상기 잉크채널, 잉크방 및 노즐 형성용 감광막 도금 몰드를 제거한 후, 상기 도금용 기초금속층도 제거하는 단계를 구비하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법

제10항에 있어서, 상기 제1 도전형이 p형이고, 상기 제2 도전형이 n형인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법

제10항에 있어서, 상기 도금물들을 형성하는 단계에서, 한번의 감광막 도포에 이어 잉크방/잉크채널 마스크와 노즐 마스크 두 개를 각각 노광시간을 달리하여 3차원 노즐몰드를 한 번의 사진작업으로 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법

제10항에 있어서, 상기 기판을 식각하여 잉크 공급로를 형성하는 단계에서 전해 연마공정을 적용하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법

제10항에 있어서, 상기 기판을 식각하여 잉크 공급로를 형성하는 단계가:

상기 실리콘 기판의 뒷면에 감광막을 도포하고 양면 정렬 노광기를 사용하여 잉크 공급로가 형성될 부분의 감광막을 제거하는 단계와;

상기 실리콘 기판을 그 뒷면부터 DRIE 공정을 사용하여 식각하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법

제14항에 있어서, 상기 DRIE 공정에서 식각 정지층으로서 상기 도금용 기초 금속 또는 도금용 몰드로 사용된 감광막을 이용하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드 제조방법

적어도 하나의 잉크 공급로를 가지는 기판과;

프린트 헤드의 운동방향과 평행한 선상에 적어도 2개의 노즐을 상기 잉크공급로에 각각 연결하여 배치된 노즐과;

상기 노즐의 구동수단과;

상기 노즐을 선택적으로 구동시키기 위해 외부에서 가해진 전기적 신호를 디코딩하여 상기 구동수단에 전달하는 전기소자를 구비하여,

인쇄속도 향상 및 고해상도 인쇄를 구현하는 2차원 노즐 배열 어레이를 가지는 잉크젯 프린트헤드

제16항에 있어서, 상기 노즐배치를 n×n 또는 1×n으로 형성하는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드, 단 n은 1보다 큰 자연수

제16항에 있어서, 상기 노즐의 크기가 상기 2차원 배열의 구역별로 서로 다르도록 하여 다양한 해상도를 구현할 뿐 아니라 출력속도도 향상시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제16항에 있어서, 상기 구동수단이 열분사방식 또는 피에조 분사방식에 의해 상기 노즐로부터 잉크를 토출시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드

제16항에 있어서, 상기 전기소자가 다이오드 또는 모스 트랜지스터 등의 스위칭 소자로서 상기 기판에 집적 형성되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린트 헤드