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메쉬형 기판;상기 메쉬형 기판에 형성된 N형 열전물질 및 P형 열전물질;상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질을 전기적으로 직렬 연결하는 제1 전극 및 제2 전극을 포함하며,상기 메쉬형 기판은 상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질의 중간 부분을 관통하여 지지하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자
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제1항에 있어서,상기 열전소자의 내부를 충진하여 지지하는 충진물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질은 교번하여 위치되는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 제1 전극은 상기 열전소자의 일면에서 상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질 사이를 연결하고,상기 제2 전극은 상기 열전소자의 타면에서 상기 제1 전극에 의해 연결되지 않은 N형 열전물질 및 P형 열전물질 사이를 연결함으로써, 상기 메쉬형 기판에 형성된 모든 N형 열전물질 및 P형 열전물질이 상기 제1 전극 및 제2 전극에 의해 직렬 연결되도록 구성된 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 메쉬형 기판은 유리섬유 기판인 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 메쉬형 기판은 열전도도가 10W/m·K 이하인 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자
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8
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 N형 열전물질은 비스무스-텔루륨(BixTe1-x) 화합물이고,상기 P형 열전물질은 안티몬-텔루륨(SbxTe1-x) 화합물인 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질과 상기 제1 전극 및 제2 전극 사이에 전도성 접착제를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자
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메쉬형 기판을 이용한 플랙시블 열전소자 제조방법으로서,(a) 메쉬형 기판 제공 단계;(b) 상기 메쉬형 기판에 N형 열전물질 및 P형 열전물질을 형성하는 단계;(c) 상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질을 전기적으로 직렬 연결하는 제1 전극 및 제2 전극을 형성하고 상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질 사이 공간을 충진물로 충진하는 단계; 를 포함하며,상기 (b) 단계에 의해 상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질이 상기 메쉬형 기판을 통과하여 상기 메쉬형 기판이 상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질의 중간 부분을 관통하여 지지하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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제10항에 있어서,상기 (b) 단계는 스크린 프린팅 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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제11항에 있어서,상기 (b) 단계는,(b-1) 열전 페이스트 합성단계;(b-2) 열전 페이스트 프린팅 단계; 및(b-3) 건조 및 열처리 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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제12항에 있어서,상기 (b-1) 단계는,열전물질 파우더, 페이스트의 유동성을 조절하기 위한 용제(Solvent), 프린팅 해상도를 조절하기 위한 바인더(Binder) 및 접착성(Adhesion)을 향상시키기 위한 글래스 파우더를 혼합하여 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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제13항에 있어서,상기 (b-3) 단계는,상기 용제를 증발시키기 위한 제1 열처리 단계;상기 바인더를 증발시키기 위한 제2 열처리 단계;상기 열전물질의 열전특성을 높이기 위한 제3 열처리 단계;를 포함하며, 상기 제1, 2, 3 열처리 단계는 순차적으로 더 높은 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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제10항에 있어서,상기 (c) 단계는,(c-1) 제1, 2 전극 패턴이 형성된 제1, 2 희생기판을 제조하는 단계;(c-2) 상기 제1, 2 전극 패턴을 상기 메쉬형 기판에 형성된 상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질에 접착하여 상기 N형 열전물질 및 P형 열전물질이 직렬로 연결되도록 하는 제1, 2 전극 접착단계;(c-3) 상기 제1 희생기판 및 제2 희생기판 사이 공간을 충진물로 충진하는 충진물 충진단계; 및(c-4) 제1, 2 희생기판을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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제16항에 있어서상기 (c-1) 단계는,실리콘 산화막 기판의 전면에 니켈(Ni) 박막을 증착한 후 그 위에 제1, 2 전극 패턴을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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제16항에 있어서상기 (c-2) 단계는,상기 열전물질과 제1, 2 전극의 적어도 어느 하나에 전도성 접착제를 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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제17항에 있어서상기 (c-4) 단계는,제1, 2 희생기판의 실리콘 산화막 기판과 니켈 박막 사이의 계면을 박리시킨 후 소자의 양면에 남아있는 니켈 박막을 식각하여 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플랙시블 열전소자 제조방법
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