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그래핀의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015115783
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 그래핀의 제조 방법에 있어서, 베이스 기판 상에 그래핀층을 형성한다. 상기 그래핀층 상에 접착층을 매개로 하여 타겟 기판을 부착한다. 상기 그래핀층을 상기 베이스 기판으로부터 분리시켜 상기 그래핀층을 상기 타겟 기판 상에 전사시킨다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) B44C 1/16 (2006.01)
CPC C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01) C01B 32/186(2013.01)
출원번호/일자 1020120020972 (2012.02.29)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0099451 (2013.09.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.29)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김택수 대한민국 대전 유성구
2 윤태식 대한민국 경기 광명시 하안로 ***, *
3 조병진 대한민국 대전 유성구
4 신우철 대한민국 서울 마포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.02.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0168099-00
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.05.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0047692-04
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0565315-16
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2013.11.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0811035-86
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스 기판 상에 그래핀층을 형성하는 단계;상기 그래핀층 상에 접착층을 매개로 하여 타겟 기판을 부착하는 단계;상기 그래핀층을 상기 베이스 기판으로부터 분리시켜 상기 그래핀층을 상기 타겟 기판 상에 전사시키는 단계를 포함하는 그래핀의 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 그래핀층을 형성하는 단계는 상기 베이스 기판 상에 촉매층을 형성하는 단계; 및상기 촉매층 상에 상기 그래핀층을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 그래핀층을 성장시키는 단계는 화학기상증착 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 촉매층은 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 촉매층은 구리를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 그래핀층 상에 상기 타겟 기판을 부착하는 단계는상기 그래핀층 상에 고분자 물질을 도포하는 단계; 및상기 그래핀층과 상기 타겟 기판 사이에서 상기 고분자 물질을 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 그래핀층과 상기 타겟 기판 사이에 기계적인 하중을 가하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 그래핀층을 상기 베이스 기판으로부터 분리시키는 단계는 기계적인 힘을 가하여 상기 타겟 기판과 상기 베이스 기판을 분리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 그래핀층을 상기 타겟 기판 상에 전사시키는 단계 이후에, 상기 그래핀층이 제거된 베이스 기판 상에 새로운 그래핀층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 그래핀층을 새로운 타겟 기판 상에 전사시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
11 11
(ⅰ) 금속층이 형성된 베이스 기판 상에 그래핀층을 형성하는 단계;(ⅱ) 상기 그래핀층 상에 접착층을 매개로 하여 타겟 기판을 부착하는 단계;(ⅲ) 상기 그래핀층을 상기 금속층으로부터 기계적으로 박리시켜 상기 그래핀층을 상기 타겟 기판 상에 전사시키는 단계; 및(ⅳ) 상기 동일한 베이스 기판 상에서 단계(ⅰ) 내지 단계(ⅲ)를 반복적으로 수행하는 단계를 포함하는 그래핀의 제조 방법
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 그래핀층을 상기 금속층으로부터 기계적으로 박리시키는 단계는 기계적인 힘을 가하여 상기 베이스 기판과 상기 타겟 기판을 분리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
13 13
제 11 항에 있어서, 상기 그래핀층을 형성하는 단계는 상기 베이스 기판 상에 촉매층을 형성하는 단계; 및상기 촉매층 상에 상기 그래핀층을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 그래핀층을 성장시키는 단계는 화학기상증착 공정에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
15 15
제 11 항에 있어서, 상기 촉매층은 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀의 제조 방법
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1 WO2013129807 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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1 WO2013129807 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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