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액상물질을 저장하는 저장부;상기 액상물질의 표면장력을 이용하여 칩을 부착시키는 부착부; 상기 저장부와 상기 부착부를 연결시키는 연결부; 및상기 부착부에 부착된 상기 칩을 상기 부착부에서 분리시키는 분리부;를 포함하고, 상기 분리부는, 내측에 상기 부착부가 슬라이딩 방식으로 이동 가능하게 구비되는 분리하우징; 및상기 분리하우징의 하측에 구비되어 상기 부착부가 상기 분리하우징에 대하여 상측으로 이동하면, 상기 부착부에 부착된 상기 칩을 상기 부착부에서 분리시키는 분리부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 저장부와 연결되어 상기 저장부에 상기 액상물질을 공급하는 저장탱크;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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제 2항에 있어서, 상기 저장탱크는, 상기 저장탱크 내에 저장된 상기 액상물질의 압력을 조절하는 압력조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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제 2항에 있어서, 상기 저장탱크와 상기 저장부를 연결하여 상기 액상물질의 이동을 안내하는 제1안내부; 및상기 제1안내부를 통하여 안내되는 상기 액상물질의 이동을 제어하는 밸브부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 부착부는, 다공성물질을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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제 1항에 있어서, 상기 연결부는, 상기 액상물질을 상기 저장부에서 상기 부착부로 안내하는 제2안내부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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7
제 6항에 있어서, 상기 제2안내부는, 다공성물질을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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8
제 6항에 있어서, 상기 제2안내부는, 상기 저장부와 상기 부착부를 연결하는 관 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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9
삭제
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10
삭제
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제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부착부는 복수 개 구비되는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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12
제 11항에 있어서, 복수 개의 상기 부착부를 결합시키는 결합부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 칩 이송장치
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