| 1 |
1
a) 규소 분말, 분산제, 바인더 및 용매를 혼합하여 슬러리를 형성하는 단계;b) 상기 a) 단계에서 형성된 슬러리를 냉각하여 상기 용매를 고체로 상변화하여 상기 슬러리를 동결주조(freeze-casting)하는 단계;c) 상기 동결주조된 슬러리로부터 동결 건조를 통해 고상의 용매를 승화시켜 제거하는 단계; 및 d) 상기 용매가 제거된 다공질 구조체를 질화반응을 통해 질화규소를 제조하는 단계;를 포함하는 다공성 질화규소 구조체의 제조 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 b) 단계의 슬러리 냉각은 하부로부터 상부로 냉각이 이루어져 하부쪽에서 고체가 먼저 생성되는 것을 특징으로 하는, 다공성 질화규소 구조체의 제조 방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 냉각 단계에서 냉각속도는 분당 0
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 규소분말은 0
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 혼합물 슬러리에서 규소의 함량은 혼합물 전체 중량 대비 5 ~ 40 wt% 범위이고, 상기 분산제 및 바인더의 함량은 규소 함량을 100으로 하였을 때 각각 0
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 용매는 어는점이 10 ℃ 내지 -30 ℃의 범위내에 있는 것을 특징으로 하는, 다공성 질화규소 구조체의 제조 방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 용매는 물인 것을 특징으로 하는 다공성 질화규소 구조체의 제조 방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,분산제는 아크릴계 수지, 폴리카르복실산 염, 유기 고분자 계면활성제 중에서 선택되는 어느 하나 이상이며, 바인더로서는 폴리 비닐 알코올 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리에틸렌계 수지 중에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는, 다공성 질화규소 구조체의 제조 방법
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 질화온도는 1300 ℃ ~ 1600 ℃의 범위이고, 또한 상기 질화반응은 질소 가스, 암모니아 가스 또는 수소 가스와 질소가스의 혼합가스 분위기에서 수행되는 것을 특징으로 하는, 다공성 질화규소 구조체의 제조 방법
|
| 10 |
10
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 다공성 질화규소 구조체의 제조 방법에 의해 제조되는 다공성 질화규소 구조체
|
| 11 |
11
제10항에 있어서, 상기 다공성 질화규소 구조체의 기공도는 50 내지 90 % 이고, 압축강도는 20 MPa 이상인 것을 특징으로 하는 다공성 질화규소 구조체
|
| 12 |
12
제10항에 있어서, 상기 다공성 질화규소 구조체는 미세구조 판상의 형태를 가지며, 상기 미세구조 판상의 두께는 15 내지 30 ㎛, 상기 미세구조 판상의 간격은 10 내지 25 ㎛ 의 범위인 것을 특징으로 하는 다공성 질화규소 구조체
|
| 13 |
13
제10항의 다공성 질화규소 구조체를 포함하는 필터
|
