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홀이 형성된 기판;상기 기판상에 상기 홀에 인접하여 한 쌍으로 형성되는 제1 전극 패드;상기 제1 전극 패드에 전기적으로 접착되며 부분적으로 감지 물질이 형성된 히터선; 및상기 홀에 인접하여 형성되며 상기 제1 전극 패드의 어느 한 전극 및 상기 감지 물질과 전기적으로 연결되는 제2 전극 패드를 포함하되,상기 제1 전극 패드로 전압이 인가됨에 따라 상기 히터선을 통해 상기 감지 물질이 가열되는 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 히터선은 상기 제1 전극 패드의 표면에 접착되어 상기 기판과 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 가스센서
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제 1항에 있어서,상기 감지 물질은 상기 홀의 상부을 지나는 히터선에 부분적으로 형성되되, 상기 감지 물질과 상기 기판이 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는 가스센서
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제 3항에 있어서,상기 히터선은 상기 감지 물질이 도포되는 부분의 적어도 일부분이 두께가 상대적으로 얇아지도록 식각된 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 4항에 있어서,상기 히터선은 백금(Pt) 소재인 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 제1 전극 패드는 상기 홀을 중심으로 대향하여 형성되는 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 기판은 복수개의 홀이 형성되며,상기 홀 마다 상기 제1 전극 패드, 상기 제2 전극 패드 및 상기 부분적으로 감지 물질이 형성된 히터선이 형성되되,상기 감지 물질은 다양한 종류의 가스 농도 감지를 위해 감지하려는 대상가스의 종류에 따라 다양하게 형성된 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 7항에 있어서,상기 제1 전극 패드는 상기 홀 마다 형성된 히터선으로의 전류 공급을 위한 공통 전극 형태로 형성되는 것을 특징을 하는 가스 센서
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제 1항에 있어서,상기 기판을 탑재한 패키징 기판 및 상기 패키징 기판을 고정시키기 위한 전극 연결핀을 더 포함하되,상기 제1 전극 패드로의 전압 인가는 상기 제1 전극 패드와 상기 전극 연결핀 간 와이어링(wiring)을 통한 전기적 연결에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 가스 센서
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제 9항에 있어서,상기 패키징 기판상에 가스 투과막이 형성된 것을 특징으로 하는 가스 센서
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