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실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015116470
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실리콘 적외선 윈도우를 얇게 형성하여 적외선의 투과도를 높이면서, 적외선 센서를 진공 상태로 패키징한 실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈 및 그 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판(12) 상에 적외선 센서(14)가 형성된 소자 웨이퍼(10); 붕소(Boron) 도핑된 실리콘 적외선 윈도우(24)를 포함하는 캡 웨이퍼(20); 상기 소자 웨이퍼(10)와 상기 캡 웨이퍼(20) 사이에 개재되는 스페이서(30); 및 상기 소자 웨이퍼(10)와 상기 캡 웨이퍼(20)를 결합시키는 결합 물질(40)을 포함하여 구성되는 것을 기술적 특징으로 한다. 본 발명에 따른 실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈은 실리콘 적외선 윈도우가 얇은 두께로 형성되어 적외선 감지 효과가 뛰어나다.
Int. CL G01J 5/14 (2006.01) G01J 5/00 (2006.01)
CPC G01J 5/18(2013.01) G01J 5/18(2013.01) G01J 5/18(2013.01) G01J 5/18(2013.01)
출원번호/일자 1020130018888 (2013.02.21)
출원인 한국과학기술원, 재단법인 다차원 스마트 아이티 융합시스템 연구단
등록번호/일자 10-1448296-0000 (2014.09.30)
공개번호/일자 10-2014-0104862 (2014.08.29) 문서열기
공고번호/일자 (20141013) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020140060678;
심사청구여부/일자 Y (2013.02.21)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 재단법인 다차원 스마트 아이티 융합시스템 연구단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이희철 대한민국 대전 유성구
2 김태식 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김인기 대한민국 대전광역시 서구 대덕대로 ***, ***호 (월평동, 우림필유)(윤성국제특허법률사무소)
2 박상선 대한민국 대전광역시 서구 대덕대로***번길 **, 한국농수산식품유통공사 *층(윤성국제특허법률사무소)
3 박봉서 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, **층(센스국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
2 재단법인 다차원 스마트 아이티 융합시스템 연구단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2013-0159579-37
2 보정요구서
Request for Amendment		 2013.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0024125-95
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0259433-04
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.01.13 수리 (Accepted) 9-1-2014-0005646-75
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0139803-94
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0401619-77
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0475245-62
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.05.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0475220-21
10 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2014.05.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0475585-70
11 등록결정서
Decision to grant		 2014.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0669236-47
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.04.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5056254-22
16 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2016-0456183-19
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 기판(12) 상에 적외선 센서(14)가 형성된 소자 웨이퍼(10);붕소 도핑된 실리콘 적외선 윈도우(24)를 포함하는 캡 웨이퍼(20);상기 소자 웨이퍼(10)와 상기 캡 웨이퍼(20) 사이에 개재되는 스페이서(30) 및상기 소자 웨이퍼(10)와 상기 캡 웨이퍼(20)를 결합시키는 결합 물질(40)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈
2 2
청구항 1에 있어서,상기 소자 웨이퍼(10)에는 상기 적외선 센서(14)를 둘러싸는 형상으로 댐층(18)이 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈
3 3
청구항 1에 있어서,상기 캡 웨이퍼(20)는 상기 실리콘 적외선 윈도우(24)의 어느 한쪽 면 또는 양쪽 면에 형성되는 반사방지층(26)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈
4 4
청구항 1에 있어서,상기 스페이서(30)는 상기 붕소 도핑된 실리콘 적외선 윈도우(24)에 일정 높이로 폐곡선 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈
5 5
청구항 1에 있어서,상기 스페이서(30) 위에 금속층(32)이 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 적외선 윈도우를 구비하는 적외선 센서 모듈
6 6
제1 실리콘 기판(12) 상에 적외선 센서(14)를 형성하여 소자 웨이퍼(10)를 제작하는 소자 웨이퍼 제작 단계(S10);제2 실리콘 기판(22)에 붕소를 주입하여 붕소 도핑된 실리콘 적외선 윈도우(24)를 포함하는 캡 웨이퍼(20)를 제작하는 원시 캡 웨이퍼 제작 단계(S20);상기 소자 웨이퍼(10) 또는 상기 실리콘 적외선 윈도우(24) 상에 스페이서(30)를 폐곡선 모양으로 형성하는 스페이서 형성 단계(S30);진공 상태에서 상기 소자 웨이퍼(10)와 상기 캡 웨이퍼(20)를 결합시키는 결합 단계(S40) 및 상기 캡 웨이퍼(20)에서 실리콘층을 제거하는 식각 단계(S50)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 모듈 제조방법
7 7
청구항 6에 있어서,상기 원시 캡 웨이퍼 제작 단계(S20)는 상기 실리콘 적외선 윈도우(24)에 반사방지층(26)을 형성하는 내부 반사방지층 형성 단계(S24)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 모듈 제조방법
8 8
청구항 6에 있어서,상기 스페이서 형성 단계(S30)는 상기 스페이서(30)에 금속층(32)을 형성하는 금속층 형성 단계(S32)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 모듈 제조방법
9 9
청구항 6에 있어서,상기 스페이서 형성 단계(S30)는 상기 스페이서(30)가 형성되지 않은 웨이퍼(10, 20)에 댐층(18)을 형성하는 댐층 형성 단계(S34)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 모듈 제조방법
10 10
청구항 6에 있어서,상기 식각 단계(S50) 이후에 상기 실리콘 적외선 윈도우(24)에 반사방지층(26)을 형성하는 외부 반사방지층 형성 단계(S60)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 모듈 제조방법
11 11
청구항 6에 있어서,상기 식각 단계(S50)는 수산화칼륨, EDP 또는 TMAH 중 어느 하나를 이용한 습식 식각에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 적외선 센서 모듈 제조방법
12 12
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13 13
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14 14
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15 15
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1 KR101436822 KR 대한민국 FAMILY

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