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ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015116694
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 이온코팅 등에 적용되는 이온에 대하여 이온의 종류, 이온의 전하량, 에너지분포를 동시에 용이하고 정밀하게 측정할 수 있도록 하며, 동일 에너지를 가지는 불순물 이온을 식별할 수 있도록 하는 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치 및 그 방법에 관한 것으로,상기 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치는, 이온들의 진행방향에 수직인 자기장을 인가하고, 이온들의 진행방향 및 자기장에 수직으로 필터링전압(Vf)을 인가하여 특정 하전량 및 질량의 이온들을 통과시키는 ExB 필터를 포함하는 ExB 필터부;와, 상기 ExB 필터의 출구 측에 연결 구성되어, 상기 ExB 필터부로부터 입사된 이온들에 대한 이온지연전압(Vr)을 가변하여 인가하는 전압 스위핑과정을 수행하여 이온지연전압에 대응하는 에너지를 가지는 이온들을 차폐하고, 이온들의 차폐에 의해 감소하는 전류를 검출하여 이온들의 이온에너지분포를 검출하는 전위지연탐침부;를 포함하여 구성되어,이온특성정보 및 동일에너지를 가지는 다른 하전량의 이온, 불순물 이온의 이온특성정보를 동시에 용이하고 신속하게 분석할 수 있도록 하는 효과를 제공한다.
Int. CL H01J 49/30 (2006.01) H01J 49/40 (2006.01) G01N 27/62 (2006.01)
CPC H01J 49/40(2013.01) H01J 49/40(2013.01) H01J 49/40(2013.01) H01J 49/40(2013.01)
출원번호/일자 1020130129898 (2013.10.30)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1549119-0000 (2015.08.26)
공개번호/일자 10-2015-0049390 (2015.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20150902) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최원호 대한민국 대전광역시 유성구
2 김호락 대한민국 대전광역시 유성구
3 임유봉 대한민국 대전광역시 유성구
4 선종호 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0985209-67
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.06.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0055802-18
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0656662-33
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0725412-80
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-1227759-46
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.01.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0063846-29
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0180771-60
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0272625-93
13 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2015.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0059458-61
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0400653-86
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0400654-21
16 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2015.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0388615-14
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-0601995-99
18 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.06.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0601996-34
19 등록결정서
Decision to grant
2015.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0459691-17
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
입사되는 이온 빔에 포함되는 전자를 차단하기 위한 전자반발전압이 인가되는 제 1 전자반발격자가 장착되어 ExB 필터부의 전단에 배치되는 입구시준기를 구비한 입구시준기부;와이온들의 진행방향에 수직인 자기장을 인가하고, 이온들의 진행방향 및 자기장에 수직으로 필터링전압(Vf)을 인가하여 특정 하전량 및 질량의 이온들을 통과시키는 ExB 필터를 포함하는 ExB 필터부;와,상기 ExB 필터의 출구 측에 연결 구성되어, 상기 ExB 필터부로부터 입사된 이온들에 대한 이온지연전압(Vr)을 가변하여 인가하는 전압 스위핑과정을 수행하여 이온지연전압에 대응하는 에너지를 가지는 이온들을 차폐하고, 이온들의 차폐에 의해 감소하는 전류를 검출하여 이온들의 이온에너지분포를 검출하는 전위지연탐침부;를 포함하고,상기 ExB 필터부와 상기 전위지연탐침부는 전기적으로 절연 연결되며,상기 전위지연탐침부는,상기 ExB 필터부를 통해 입사되는 특정 에너지를 가지는 이온에 진행 방향의 반대방향 반발력을 가하는 이온지연전압을 가변하여 인가하는 이온지연전압 스위핑을 수행할 수 있도록 하는 이온지연격자;와,상기 이온지연격자에 의해 차폐되지 않고 통과된 이온들에 의한 전류를 검출하는 이온수집기;와,상기 이온지연격자의 전단에 구성되어, 상기 ExB 필터부에서 생성되거나 외부에서 유입된 전자의 유입을 차단하기 위한 전자반발전압이 인가되는 제 2 전자반발격자;와,상기 이온지연격자의 후단에 구성되어, 상기 이온수집기에서 발생한 전자를 상기 이온수집기로 재입사시키도록 전자반발전압이 인가되는 제 3 전자반발격자를 포함하여, 상기 제2전자반발격자, 상기 이온지연격자, 상기 제3전자반발격자, 상기 이온수집기가 순차적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 ExB 필터는,이온 빔이 유입 또는 유출되는 입구와 출구의 구경을 가변시킬 수 있도록 구성되어, 상기 전위지연탐침부에서 필터링된 이온에 의해 생성되는 전류의 세기를 가변할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치
3 3
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4 4
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삭제
7 7
청구항 1에 있어서,상기 ExB 필터부의 전기장 생성을 위한 필터링전압(Vf)과 초기 이온화전압(Vs)과 이온지연전압(Vr)과 이온수집기에서 검출된 전류 중 하나 이상의 정보를 이용하여, 이온들의 하전량, 질량 또는 이온에너지 분포 중 하나 이상을 연산하여 산출하는 제어부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치
8 8
삭제
9 9
청구항 1에 있어서,상기 입구시준기부와 ExB 필터부는 전기적으로 절연 연결되는 것을 특징으로 하는 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석장치
10 10
ExB 필터부로 입력되는 이온빔을 입구시준기를 경유하도록 하고, 입구시준기 내부의 제 1 전자반발격자에 전자반발전압을 인가하여 이온 빔에 포함된 전자를 차폐하면서 이온 빔에 직진성을 부여하는 이온빔시준과정;과,ExB 필터부로 이온 빔이 입사되는 경우, 특정 속도의 이온들에 적용되는 자기장과 전기장에 의한 힘이 평형을 이루도록 하는 전기장 생성을 위한 필터링전압을 인가하여 특정 속도의 이온들을 통과시키는 이온필터링과정;과,상기 이온필터링과정에 의해 필터링된 특정 속도의 이온들이 전위지연탐침부로 입사된 경우, 에너지별로 입사된 이온들을 차단하기 위하여 상기 전위지연탐침부 내부의 이온지연격자에 이온지연전압을 가변하면서 인가하는 이온지연전압스위핑을 수행하는 이온지연전압스위핑과정;과,상기 이온지연전압스위핑과정에 따라 이온수집기로 입사되는 이온에 의해 생성된 전류를 검출하여 이온지연전압별 전류분포에 의해 전류분포함수를 도출하고, 도출된 전류분포함수를 이온지연전압으로 미분하여 이온에너지분포함수를 도출하는 이온에너지분포함수연산과정;을 포함하며,전위지연탐침부로 상기 필터링된 이온들이 입사된 경우, 상기 전위지연탐침부 내부의 제 2 전자반발격자에 전자반발전압을 인가하여 이온들에 포함된 전자를 제거하는 입사전자제거과정;상기 이온지연격자와 상기 이온수집기의 사이에 배치되는 제 3 전자반발격자에 전자반발전압을 인가하여, 상기 이온수집기에서 상기 이온들에 의해 생성되는 전자를 상기 이온수집기로 재입사시키는 전자재입사과정 이루어지는 것을 특징으로 하는 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석방법
11 11
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12 12
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13 13
청구항 10에 있어서, 상기 이온에너지분포함수연산과정은,필터링전압(Vf)과 초기 이온화전압(Vs)에 의해, 통과되는 이온들의 하전량 또는 질량을 산출하고, 상기 이온지연전압과 상기 이온수집기의 전류분포에 의해 이온에너지분포함수를 도출하는 것에 의해 동일 에너지를 가지는 다른 하전량의 이온들 또는 불순물 이온들을 분리하는 연산처리과정을 수행하는 이온종특성분석과정;을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 ExB 필터부와 전위지연탐침부를 구비한 이온특성분석방법
14 14
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1 교육과학기술부 경희대학교 우주개발사업 우주탐사용 고비추력 전기추력기 시스템 핵심기술 연구개발 (5/5)