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임베드된 패턴 구조체를 갖는 몰드 및 도금을 이용하여 나노 금속 패턴의 전사 방법 및 이를 통해 제조된 기판

  • 기술번호 : KST2015116883
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 금속 패턴 전사 방법은 패턴 구조체(13)가 임베드(imbed)된 몰드 기판(10)을 준비하는 단계, 상기 몰드 기판(10)의 임베드된 패턴 구조체(13) 상에 타겟 금속 패턴(22)을 공급하는 단계, 상기 몰드 기판(10)에 타겟 기판(20)을 결합하여 상기 타겟 금속 패턴(22)을 상기 타겟 기판(20) 상에 전사하는 단계, 및 상기 타겟 기판(20)을 상기 몰드 기판(10)으로부터 분리하는 단계를 포함하고, 상기 타겟 금속 패턴(22)을 상기 임베드된 패턴 구조체(13) 상에 공급하는 것은 도금 방식으로 수행된다.
Int. CL H05K 3/00 (2006.01)
CPC H05K 3/101(2013.01) H05K 3/101(2013.01)
출원번호/일자 1020140032129 (2014.03.19)
출원인 한국과학기술원, 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1522283-0000 (2015.05.15)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150521) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.03.19)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박인규 대한민국 대전광역시 유성구
2 엄현진 대한민국 대전광역시 유성구
3 이재민 대한민국 세종특별자치시
4 이정용 대한민국 대전광역시 유성구
5 정준호 대한민국 대전광역시 서구
6 이응숙 대한민국 경상남도 창원시 마산회원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
2 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0263469-10
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0483719-34
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.10.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0089713-83
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0837759-55
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0042829-16
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2015-0042827-25
11 등록결정서
Decision to grant
2015.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0181405-90
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
패턴 구조체(13)가 임베드(imbed)된 몰드 기판(10)을 준비하되, 상기 패턴 구조체(13)의 하부 일부분은 상기 몰드 기판(10)에 매립되고 상기 패턴 구조체(13)의 나머지 일부분은 상기 몰드 기판(10) 상에 노출되는 몰드 기판(10)을 준비하는 단계;상기 몰드 기판(10)의 임베드된 패턴 구조체(13)의 상부에 타겟 금속 패턴(22)을 공급하는 단계;상기 몰드 기판(10)에 타겟 기판(20)을 결합하여 상기 타겟 금속 패턴(22)을 상기 타겟 기판(20) 상에 전사하는 단계; 및상기 타겟 기판(20)을 상기 몰드 기판(10)으로부터 분리하는 단계;를 포함하고,상기 타겟 금속 패턴(22)을 상기 임베드된 패턴 구조체(13) 상에 공급하는 것은 도금 방식으로 수행되며,상기 전사 단계는, 폴리머가 도포된 타겟 기판(20)을 상기 몰드 기판(10) 상에 덮은 상태로 열과 압력을 가하여 폴리머를 경화키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는,나노 금속 패턴의 전사 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 몰드 기판(10)은 실리콘, 폴리머, 에폭시 또는 하이브리머를 포함하는 그룹 중 어느 하나로부터 형성되는 것을 특징으로 하는,나노 금속 패턴의 전사 방법
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 패턴 구조체(13)는 상기 타겟 금속 패턴(22)과는 상이한 재료인 것을 특징으로 하는,나노 금속 패턴의 전사 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 패턴 구조체(13)는 은(Ag)을 포함하는 것을 특징으로 하는,나노 금속 패턴의 전사 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 타겟 금속 패턴(22)은 금, 니켈, 구리, 아연, 백금을 포함하는 그룹 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,나노 금속 패턴의 전사 방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 패턴 구조체(13)의 배열 형태는 메쉬(mesh), 선어레이(line array), 육각형(hexagonal), 및 네트워크(network)를 포함하는 그룹 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는,나노 금속 패턴의 전사 방법
8 8
제 1 항에 있어서,상기 타겟 기판(20)에서 분리되는 상기 몰드 기판(10) 상에는 상기 타겟 금속 패턴(22)이 재공급되어짐으로써 상기 몰드 기판(10)의 재사용이 가능한 것을 특징으로 하는,나노 금속 패턴의 전사 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 타겟 금속 패턴(22)은 복수의 금속층을 포함하는 것을 특징으로 하는,나노 금속 패턴의 전사 방법
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
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13 13
삭제
14 14
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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