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플라즈마내의활성종분포측정장치및측정방법

  • 기술번호 : KST2015116961
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마(plasma) 내의 활성종(radical) 분포를 측정하는 방법 및 측정장치에 관한 것디다. 본 발명의 플라즈마 내 활성종 분포 측정방법은 프라즈마 진공용기 내부에 광학탐침을 삽입하고 광학탐침으로 입사된 빛을 탐지하여 빛의 세기의 적분량을 측정하는 과정; 전기 과정에서 측정된 빛의 세기의 적분량을 미분하여 진공용기 내의 각 지점에서의 빛의 세기를 구하는 과정; 진공용기 내부에 전기탐침을 삽입하여 전기탐침에 인가된 전류 및 전압을 측정하는 과정; 전기 과정에서 측정된 전류 및 전압의 I-V 곡선으로부터 플라즈마 파라미터를 구하는 과정; 및, 전기 과정에서 의해 얻어진 빛의 세기 및 플라즈마 파라미터로부터 활성종의 분포를 구하는 과정을 포함하며, 본 발명의 측정장치는 진공용기, 광학탐침, 전기탐침, 선형운동 조절장치, 광분석기, 전기신호 분석기 및 컴퓨터를 포함한다. 본 발명의 측정방법 및 측정장치로부터 홀성종 분포의 측정시 별도의 부대장비를 부설치 않고도 진공용기의 구조와는 무관하게 플라즈마 내의 활성중 분포를 단시간에 적은 오차로 측정할 수 있다는 것이 확인되었다.
Int. CL H05H 1/00 (2006.01.01) H01J 37/32 (2006.01.01)
CPC H05H 1/0006(2013.01) H05H 1/0006(2013.01)
출원번호/일자 1019950000945 (1995.01.20)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-1996-0030754 (1996.08.17) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1995.01.20)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장홍영 대한민국 대전직할시유성구
2 이평우 대한민국 경기도과천시
3 김용진 대한민국 서울특별시송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이한영 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 ** (서초동, 아트스페이스 ***빌딩 *층)(리앤리국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 1995.01.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004289-76
2 출원심사청구서
Request for Examination		 1995.01.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004291-68
3 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.01.20 수리 (Accepted) 1-1-1995-0004290-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 1997.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0002176-62
5 거절사정서
Decision to Refuse a Patent		 1998.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-1995-0002177-18
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

플라즈마 진공요기 내부에 광학탐침을 삽입하고 광학탐침으로 입사된 빛을 탐지하여 빛의 세기의 적분량을 측정하는 과정; 전기 과정에서 측정된 빛의 세기의 적분량을 미분하여 진공용기 내의 각 지점에서의 빛의 세기를 구하는 과정; 진공용기 내부의 전기탐침을 삽입하여 전기탐침에 인가된 전류 및 전압을 측정하는 과정; 전기 과정에서 측정된 전류 및 전압의 I-V 곡선으로부터 플라즈마 파라미터를 구하는 과정; 및, 전기 과정에 의해 얻어지는 빛의 세기 및 플라즈마 파라미터로부터 활성종의 분포를 구하는 과정을 포함하는 플라즈마 내 활성종 분포의 측정방법

2 2

선형운동장치를 삽입하기 위한 구멍이 형성된 진공용기; 수평광 집속기, 제1집속렌즈, 절연봉 및 광섬유로 구성되며 진공용기 내의 활성종에 의해 방출된 빛을 탐지하기 위한 공학탐침; 절연체가 피복된 금속봉으로 구성되며 진공용기 내의 전류와 전압을 측정하기 위한 전기탐침; 주름관이 형성되어 있으며 광학탐침 및 전기 탐침을 진공용기 내에 삽입하기 위한 선형운동 조절장치; 제2집속렌즈, 분광기, 광센서 및 광센서 조절장치로 구성되며 광학탐침에 의해 탐지된 빛을 분석하기 위한 광분석기; 전기탐침에 인가된 전류 및 전압을 측정하는 측정기와 측정기에서 전송된 아날로그 전기신호를 디지틀 신호로 변환시키기 위한 A/D컨버터로 구성된 전기 신호 분석기; 및, 상기 광분석기와 전기신호 분석기로부터 전송된 자료에 의해 활성종의 분포를 분석하며 선형운동장치의 운동방향과 이동거리 및 전기탐침의 스위핑을 제어하기 위한 컴퓨터를 포함하는 플라즈마 내의 활성종 분포 측정장치

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지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US05627640 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 US5627640 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.