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깊이에 따른 개질면의 특성 조합을 통한 절단 장치

  • 기술번호 : KST2015117111
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 깊이에 따른 개질면의 특성 조합을 통한 절단 장치에 관한 것으로, 펄스 레이저를 출력하는 레이저 소스, 상기 레이저 소스에서 출력되는 레이저를 분리하거나 방향성을 결정하는 다수의 미러, 상기 미러에서 분리된 하나의 레이저를 집광하여 가공 대상물에 조사하기 위한 제 1집광렌즈, 상기 미러에 분리된 다른 하나의 레이저의 분산을 조절하기 위한 분산조절부 및 상기 분산조절부에서 분산 조절된 레이저를 집광하여 상기 가공 대상물에 조사하기 위한 제 2집광렌즈를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 높은 표면 정도를 유지함과 동시에 가공 정밀도를 극대화시킬 수 있는 이점이 있다.
Int. CL C03B 33/09 (2014.01) B23K 26/38 (2014.01) B23K 26/064 (2014.01) C03B 33/02 (2014.01)
CPC B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01) B23K 26/38(2013.01)
출원번호/일자 1020100119978 (2010.11.29)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1232008-0000 (2013.02.04)
공개번호/일자 10-2012-0058274 (2012.06.07) 문서열기
공고번호/일자 (20130208) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.29)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김승우 대한민국 대전광역시 유성구
2 김영진 대한민국 경상남도 창원시 진해구
3 김윤석 대한민국 광주광역시 서구
4 김승만 대한민국 인천광역시 남동구
5 유준호 대한민국 대전광역시 유성구
6 한승회 대한민국 대전광역시 동구
7 박상욱 대한민국 경상남도 김해시 인제로 ***,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인대한 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 부봉빌딩 *층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0783965-69
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.06.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.06.29 수리 (Accepted) 9-1-2012-0053829-13
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0399574-84
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0733640-00
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.10.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0827577-47
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2012-0827576-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
9 등록결정서
Decision to grant		 2013.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0078138-30
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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펄스 레이저를 출력하는 레이저 소스;상기 레이저 소스에서 출력되는 레이저를 분리하거나 방향성을 결정하는 다수의 미러;상기 미러에서 분리된 하나의 레이저를 집광하여 가공 대상물 내부에 초점이 맺히도록 조사하는 제 1집광렌즈;상기 미러에서 분리된 다른 하나의 레이저의 분산을 조절하기 위한 분산조절부; 및상기 분산조절부에서 분산 조절된 레이저를 집광하여 상기 가공 대상물 표면에 초점이 맺히도록 조사하는 제 2집광렌즈;를 포함하고,상기 미러는,상기 레이저 소스에서 출력된 레이저를 분할하는 제 1미러;상기 제 1미러에서 분할된 하나의 레이저를 상기 제 1집광렌즈로 제공하기 위한 제 2미러;상기 제 1미러에서 분할된 다른 하나의 레이저를 분산조절부로 제공하기 위한 제 3미러; 및상기 분산조절부에서 출력된 레이저를 상기 제 2집광렌즈로 제공하기 위한 제 4미러를 포함하여 구성되며,상기 분산조절부는,상기 레이저 소스에서 출력되는 레이저의 분산 및 처프 보상을 통해 극초단 펄스 폭을 가지는 레이저를 출력하고, 상기 분산조절부를 통과한 레이저는 통과하지 않는 레이저보다 펄스 폭이 짧은 것을 특징으로 하고,상기 가공 대상물은 투명재료 또는 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 깊이에 따른 개질면의 특성 조합을 통한 절단 장치
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3 3
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제 1항에 있어서,상기 절단 장치를 통해 상기 가공 대상물에 레이저를 조사하여 내부 제거 또는 개질영역 형성 후에는 열적, 기계적, 초음파 응력, 진동 응력을 통해 상기 가공 대상물을 최종적으로 절단하는 것을 특징으로 하는 깊이에 따른 개질면의 특성조합을 통한 절단 장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.