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판형의 테이블;상기 테이블의 하측에 구비되어 상기 테이블의 상부에 위치하는 물체의 진동을 저감시키는 적어도 하나의 마운트;상기 테이블의 일측에 구비되어 외란에 의한 상기 물체의 응답을 계측하는 센서; 및상기 센서에 의해 계측된 응답을 기초로 상기 마운트의 강성을 변화시키는 컨트롤러를 포함하고,상기 마운트는,복수개의 자성 입자를 포함하는 MRE(Magneto-Rheological Elastomer); 및상기 MRE 내부에 기 설정된 간격으로 적층되는 복수개의 플레이트를 포함하고,상기 플레이트는,상기 MRE 내부에 수평으로 적층됨으로써 상기 MRE의 수평강성은 유지시킨 채 수직강성을 증가시키며 상기 MRE의 볼록화 현상을 제거하는 알루미늄 플레이트인 것을 특징으로 하는 반능동 마운트 시스템
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제1항에 있어서,상기 센서는,상기 물체의 진동 주기 및 가속도 중 적어도 하나를 계측하는 것을 특징으로 하는 반능동 마운트 시스템
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제1항에 있어서,상기 컨트롤러는,상기 계측된 응답을 기초로 상기 물체가 상기 외란에 공진하는 것으로 판단되는 경우 상기 마운트의 강성을 변화시켜 상기 물체의 고유 진동 주기를 변화시킴으로써 상기 물체의 수직 진동 및 수평 진동을 포함하는 3차원 진동을 저감시키는 것을 특징으로 하는 반능동 마운트 시스템
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제1항에 있어서,상기 컨트롤러에 연결되어 상기 마운트로 입력되는 자기장을 생성하는 제너레이터를 더 포함하고,상기 컨트롤러는,상기 계측된 응답에 따라 상기 제너레이터에 의해 생성될 자기장의 크기를 결정하고 상기 제너레이터에서 생성된 자기장을 상기 마운트로 입력시키는 것을 특징으로 하는 반능동 마운트 시스템
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복수개의 자성 입자를 포함하는 고무인 MRE(Magneto-Rheological Elastomer); 및상기 MRE 내부에 기 설정된 간격으로 적층되는 복수개의 플레이트를 포함하고,상기 MRE는,외부로부터 입력되는 자기장의 크기에 따라 강성이 변화됨으로써 마운트 상부에 위치되는 물체의 수직 진동 및 수평 진동을 포함하는 3차원 진동을 저감시키는 것을 포함하고,상기 플레이트는,상기 MRE 내부에 수평으로 적층됨으로써 상기 MRE의 수평 강성은 유지한 채 수직 강성을 증가시키며 상기 MRE의 볼록화 현상을 제거하는 알루미늄 플레이트인 것을 특징으로 하는 마운트
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제7항에 있어서,상기 마운트는,상기 물체를 지반으로부터 격리시키는 것을 특징으로 하는 마운트
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반능동 마운트 시스템이 테이블의 상부에 위치하는 물체의 진동을 저감시키기 위한 반능동 제어를 수행하는 방법에 있어서,센서를 이용하여 외란에 의한 상기 물체의 응답을 계측하는 단계;상기 센서에 의해 계측된 응답을 기초로 자기장을 생성하는 단계; 및상기 생성된 자기장을 상기 테이블의 하측에 구비되어 상기 테이블의 상부에 위치하는 물체의 진동을 저감시키는 마운트로 입력하는 단계를 포함하고,상기 마운트는,복수개의 자성 입자를 포함하는 MRE(Magneto-Rheological Elastomer) 및 상기 MRE 내부에 기 설정된 간격으로 적층되는 복수개의 플레이트를 포함하고, 상기 입력된 자기장에 의해 강성이 변화되는 것을 특징으로 하고,상기 플레이트는,상기 MRE 내부에 수평으로 적층됨으로써 상기 MRE의 수평강성은 유지시킨 채 수직강성을 증가시키며 상기 MRE의 볼록화 현상을 제거하는 알루미늄 플레이트인 것을 특징으로 하는 반능동 제어 방법
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제10항에 있어서,상기 계측하는 단계 이후에,상기 계측된 응답을 기초로 상기 물체가 상기 외란에 공진하는지를 판단하는 단계;상기 물체가 상기 외란에 공진하는 것으로 판단되는 경우 상기 계측된 응답에 따라 상기 자기장의 크기를 결정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반능동 제어 방법
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제10항에 있어서,상기 센서는,상기 물체의 진동 주기 및 가속도 중 적어도 하나를 계측하는 것을 특징으로 하는 반능동 제어 방법
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제10항에 있어서,상기 입력하는 단계 이후에,상기 마운트를 이용하여 상기 물체의 고유 진동 주기를 변화시킴으로써 상기 물체의 수직 진동 및 수평 진동을 포함하는 3차원 진동을 저감시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반능동 제어 방법
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