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전기적 중성상태를 유지하고 있는 측정대상인 시료를 전해질에 담그어 전하량의 평형을 깨지도록 하여 시료 표면이 대전 상태를 이루도록 함으로써, 시료 표면에 고정되는 이온층과 전해질 내부의 전위차를 발생시키는 단계와,
상기 전해질 내부에서 시료 표면측으로 유체를 분사하여 전해질 내부에서 흐름되는 이온간의 전위차를 측정하여 시료 표면의 지형을 분석하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 1항에 있어서,
상기 시료 표면의 대전 단계에 의해 상기 시료의 재질에 따라 전해질 내에서 시료 표면에 밀착되는 전해질의 이온 수가 결정되는 구속영역과,
상기 구속영역의 이외의 전해질에서 잔존 이온이 자유 운동하는 자유영역으로 구분되어 계면동전위의 환경을 조성할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 동전기를 기반으로 하는 표면 분석측정 방법
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제 1항에 있어서,
상기 이온간의 전위차 측정은, 자유영역에서 시료 표면 측으로 분사되는 유체에 의해 자유영역에 존재하는 이온을 흐름시켜 자유영역에서 유체의 분사 범위 내
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제 1항에 있어서,
측정된 전위차 값을 통한 시료의 표면의 지형 분석으로 시표 표면의 지형 형상, 시료에 함유된 다양한 물질 분포 형태, 지형의 굴곡도, 단면도, 입체도를 분석할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 1항에 있어서,
상기 유체는 변형이 쉽고 흐르는 성질을 갖는 액체나 기체로 이루어진 것을 특징으로 하는 동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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제 1항 또는 제 5항에 있어서,
상기 유체는 액체를 사용할 경우 전해질의 농도를 일정하게 유지하기 위하여 전해질과 같은 용액을 작동 유체로 적용될 수도 있는 것을 특징으로 하는 동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법
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동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경에 있어서,
내부에 전해질을 충진한 수조와,
상기 전해질의 내부에 담그어 놓아 표면이 대전되도록 하여 재질에 따라 전해질 내에서 표면에 밀착되는 전해질의 이온 수가 결정되는 구속영역과 상기 구속영역의 이외의 전해질에서 잔존 이온이 자유 운동하는 자유영역으로 구분되어 계면동전위의 환경을 조성할 수 있도록 하는 측정대상인 시료와,
상기 시료의 표면으로 유체를 분사시켜 자유영역에 존재하는 이온을 자유 운동시켜 유체의 분사 범위 내의 이온과 그 외에 자유영역에서의 이온 흐름에 의한 전위차를 발생시키는 노즐과,
상기 노즐 내부와 자유영역에 전극을 각각 장착하여 노즐의 유체 분사에 의해 발생하는 이온의 전위차를 측정하고, 상기 전극으로 부터 전위차를 값을 인가받는 전압측정센서와,
상기 수조를 안착시키는 스테이지가 마련되어 노즐을 기준으로 시료 표면 전체가 스캐닝 작업이 진행되도록 상기 스테이지를 이동시키는 구동기와,
스캐닝되는 시료의 전위차를 통하여 시료의 재질에 따른 표면의 형상, 시료에 함유된 물질 분포 형태, 표면의 굴곡도, 단면도, 입체도의 형상, 각 부분의 굴곡도, 단면도, 입체도 및 각종 통계자료를 얻을 수 있도록 하는 출력부로 구성한 것을 특징으로 하는 동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경
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제 7항에 있어서,
상기 노즐은,
유량밸브를 통해 유량을 일정하게 유지시킨 유체가 입력되는 중공의 연결부와,
상기 중공의 연결부 끝단에 연통되게 장착되어 유체의 미세한 분사 범위를 가능하도록 내부에 구멍이 형성된 노즐팁이 마련되어 구성한 것을 특징으로 하는 동전기를 기반으로 하는 표면 분석 측정 방법을 이용한 원자현미경
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