어드레싱 회로가 구성되어 있는 기판;

상기 기판 중심을 기준으로 하여 서로 마주보도록 상기 기판 상에 형성되며 상기 어드레싱 회로와 전기적으로 연결되는 두개의 전극;

상기 기판 중심에 수직하게 형성되며 상기 어드레싱 회로와 전기적으로 연결되는 외팔보 지지대;

상기 외팔보 지지대에 의해 수평지지되며 상기 외팔보 지지대와 만나는 부분을 중심으로 하여 점대칭되도록 양쪽으로 각각 연장되며 상기 전극 상부에서 그 연장이 멈추되, 소정부분이 스프링 구조를 갖고, 끝단은 자신의 다른 부분보다 더 넓은 면적을 갖도록 2차원적으로 확장된 판형태를 갖는 두개의 외팔보;

상기 외팔보의 각 끝단 상에 수직하게 형성된 미러 지지대; 및

상기 미러 지지대 상에 수평하게 놓여지는 미러;

를 구비하여,

상기 어드레싱 회로에 의해서 발생하는 상기 전극과 상기 외팔보 사이의 정전기력 또는 상기 전극과 상기 미러 사이의 정전기력에 의해 상기 외팔보가 변형되도록 함으로써 상기 미러를 회전시켜 상기 미러에 의한 빛의 반사경로를 바꾸는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제1항에 있어서, 상기 외팔보는 도펀트가 도핑된 다결정실리콘 또는 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제1항에 있어서, 상기 미러는 표면이 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제3항에 있어서, 상기 미러는 내부가 다결정실리콘으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

삭제

제1항에 있어서, 상기 스프링 구조는 수평방향과 수직방향으로 번갈아 가면서 꼬인 형태를 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제1항에 있어서, 상기 스프링 구조는 수직방향으로 꼬인 형태를 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

삭제

제1항에 있어서, 상기 전극과 상기 외팔보 끝단의 모양과 크기가 동일한 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제1항에 있어서, 상기 기판은 사각형 모양을 하고; 상기 전극은 상기 기판의 마주보는 두개의 꼭지점 부위에 삼각형 모양으로 설치되되 그 꼭지점과 변이 상기 기판의 꼭지점과 변에 일치되도록 설치되며; 상기 외팔보 각각은 상기 외팔보 지지대와 만나는 부분에서 전극이 형성되어 있지 않은 상기 기판의 꼭지점 상부까지 직선으로 연장된 후에 상기 전극이 있는 방향으로 절곡되어 상기 전극 상부까지 연장되고 끝단은 상기 전극과 동일한 모양과 크기의 삼각형 형태를 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제10항에 있어서, 전극이 형성되어 있지 않은 상기 기판의 꼭지점 상부에서 상기 전극이 있는 방향으로 절곡된 상기 외팔보 부분이 스프링 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제11항에 있어서, 상기 스프링 구조는 수평방향과 수직방향으로 번갈아 가면서 꼬인 형태를 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제11항에 있어서, 상기 스프링 구조는 수직방향으로 꼬인 형태를 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제1항에 있어서, 상기 기판은 사각형 모양을 하고; 상기 전극은 상기 기판의 마주보는 두개의 꼭지점 부위에 사각형 모양으로 설치되되 그 꼭지점과 변이 상기 기판의 꼭지점과 변에 일치되도록 설치되며; 상기 외팔보 각각은 상기 외팔보 지지대와 만나는 부분에서 상기 기판이 변 상부까지 직선으로 연장된 후에 전극이 형성되어 있지 않은 상기 기판의 꼭지점 상부까지 절곡된 후에 전극이 형성된 기판의 꼭지점 방향으로 다시 절곡되어 상기 전극 상부까지 연장되고 끝단은 상기 전극과 동일한 모양과 크기의 사각형 형태를 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제14항에 있어서, 전극이 형성되어 있지 않은 상기 기판의 꼭지점 상부에서 전극이 형성된 상기 기판의 꼭지점 방향으로 절곡된 상기 외팔보 부분이 스프링 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제14항에 있어서, 상기 스프링 구조는 수평방향과 수직방향으로 번갈아 가면서 꼬인 형태를 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스

제14항에 있어서, 상기 스프링 구조는 수직방향으로 꼬인 형태를 하는 것을 특징으로 하는 마이크로미러 디바이스