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음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상측정장치

  • 기술번호 : KST2015117628
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치에 관한 것으로, 광원으로부터 조사되는 백색광이 반사 및 투과되어 각각 기준면과 측정부로 분리 조사되도록 하기 위한 제 2빔스플리터와, 상기 제 2빔스플리터의 반사각에 대응하는 위치로 제 2빔스플리터 및 기준면의 사이에 설치되어 기준면에 대한 백색광의 조사를 선택적으로 차단하는 블록킹 플레이트를 포함하여 이루어지는 마이켈슨 간섭모듈과, 백색광의 차단여부에 따라 기준면으로부터 선택적으로 반사되는 백색광 및 상기 측정부로부터 반사되는 백색광의 진행방향에 설치되어 표면에 조사되는 백색광 중 일정 파장대역의 백색광을 선별하는 음향광학변조필터와, 광원, 제 2빔스플리터 및 음향광학변조필터 사이의 백색광 반사 및 투과가 순차적으로 이루어질 수 있도록 광원으로부터의 백색광 출사방향 및 제 2빔스플리터로부터의 백색광 출사방향에 대해 대응하여 설치되는 무편광 큐브 형태의 제 1빔스플리터 및 음향광학변조필터에 대해 순차적으로 설치되어 선별된 백색광이 조사되어 분광이미지로 결상되는 CCD센서를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.음향광학, 변조필터, AOTF, 광원, 두께정보, 형상정보, 백색광, 마이켈슨
Int. CL G02F 1/11 (2006.01)
CPC G02F 1/11(2013.01) G02F 1/11(2013.01) G02F 1/11(2013.01)
출원번호/일자 1020020038873 (2002.07.05)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0451881-0000 (2004.09.24)
공개번호/일자 10-2004-0004825 (2004.01.16) 문서열기
공고번호/일자 (20041008) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.07.05)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김수현 대한민국 대전광역시유성구
2 김대석 대한민국 대전광역시서구
3 공홍진 대한민국 대전광역시유성구
4 유장우 대한민국 서울특별시 동대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손은진 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)(특허법인 아이퍼스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.07.05 수리 (Accepted) 1-1-2002-0214981-23
2 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)		 2002.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2002-5169208-52
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
5 등록결정서
Decision to grant		 2004.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0256622-47
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
1 1

단색광을 출사하는 광원(10);

상기 광원(10)으로부터 조사되는 단색광이 반사 및 투과되어 각각 기준면(33)과 측정부(80)로 분리 조사되도록 하기 위한 제 2빔스플리터(32)와,

상기 제 2빔스플리터(32)의 반사각에 대응하는 위치로 상기 제 2빔스플리터(32) 및 기준면(33)의 사이에 설치되어 상기 기준면(33)에 대한 단색광의 조사를 선택적으로 차단하는 블록킹 플레이트(34)를 포함하여 이루어지는 마이켈슨 간섭모듈(30);

상기 단색광의 차단여부에 따라 상기 기준면(33)으로부터 선택적으로 반사되는 단색광 및 상기 측정부(80)로부터 반사되는 단색광의 진행방향에 설치되어 표면에 조사되는 단색광 중 일정 파장대역의 단색광을 선별하는 음향광학변조필터(40);

상기 광원(10), 제 2빔스플리터(32) 및 음향광학변조필터(40) 사이의 단색광 반사 및 투과가 순차적으로 이루어질 수 있도록 상기 광원(10)으로부터의 단색광 출사방향 및 상기 제 2빔스플리터(32)로부터의 단색광 출사방향에 대해 대응하여 설치되는 무편광 큐브 형태의 제 1빔스플리터(20); 및

상기 음향광학변조필터(40)에 대해 순차적으로 설치되어 선별된 단색광이 조사되어 분광이미지로 결상되는 CCD센서(70);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치

2 2

제 1항에 있어서,

상기 측정부(80)는 웨이퍼(81) 상부에 불규칙적으로 형성되는 금속층(82)과, 상기 금속층(82)의 상부에 불규칙적으로 도포되어 형성되는 미세박막층(83)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치

3 3

제 1항에 있어서,

상기 단색광 출사방향으로 일측이 상기 광원(10)에 대응 연결되고, 타측은 상기 제 1빔스플리터(20)의 반사각에 대응 고정되는 싱글모드 광파이버(11)가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치

4 4

제 3항에 있어서,

상기 싱글모드 광파이버(11)로부터 출사되는 단색광의 진행방향에 따른 광폭이 상기 제 1빔스플리터(20)에 대한 조사 이전에 투과되어 정렬될 수 있도록 상기 싱글모드 광파이버(11) 및 상기 제 1빔스플리터(20) 사이에 제 1볼록렌즈(13)가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치

5 5

제 1항에 있어서,

상기 제 2빔스플리터(32)에 대해 상기 단색광의 초점이 맞추어질 수 있도록 상기 마이켈슨 간섭모듈(30)에는 상기 제 1빔스플리터(20) 및 제 2빔스플리터(32)의 사이에 설치되는 제 2볼록렌즈(31)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치

6 6

제 1항에 있어서,

상기 CCD센서(70)에 대해 선별된 단색광의 초점이 맞추어질 수 있도록 상기 CCD센서(70) 및 음향광학변조필터(40)의 사이에는 제 3볼록렌즈(50)가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치

7 7

제 1항에 있어서,

상기 기준면(33)은 단색광의 조사방향에 대응 설치되는 평면 반사경인 것을 특징으로 하는 음향광학변조필터를 이용한 투명박막의 3차원 형상 측정장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.