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(a) 레늄 소스 분말을 용매 중에 용해시켜 분사액을 준비하는 단계;(b) 상기 분사액이 전기분사될 기판을 가열하는 단계;(c) 상기 기판과 전기분사 노즐 사이에 전압을 인가한 상태에서 상기 전기분사 노즐을 통해 상기 분사액을 상기 기판 상에 분사하는 단계; 및(d) 상기 분사액이 분사된 기판을 환원분위기에서 열처리하여 레늄 박막을 형성시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분사액은 과레늄산염암모늄(NH4ReO4), 과레늄산염포타슘(KReO4), 과레늄산(HReO4), 과레늄산염소듐(NaReO4), 산화레늄(Re2O7) 중에 선택되는 레늄 소스 분말을 물에 혼합하여 제조되는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제2항에 있어서,상기 분사액의 농도는 0
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제1항에 있어서,상기 (b) 단계에서 상기 기판은 100 내지 400 ℃의 온도로 가열되는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계에서 0 내지 200 ℃의 온도와 대기압 하에서 전기분사하는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계에서 상기 분사액을 상기 기판으로부터 1 내지 30 ㎝ 높이의 상기 전기분사 노즐에서 분사하는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (c) 단계에서 시린지(syringe)에 상기 분사액을 넣어 펌프를 이용해 유속을 조절하고, 인가되는 전압을 조절하여 분사액의 분사양을 조절하는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제7항에 있어서,상기 (c) 단계에서 상기 전기분사 노즐에 1 내지 100 kV의 전압을 인가하여 전기분사하는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제7항에 있어서,상기 (c) 단계에서 상기 분사액은 0
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서 상기 환원분위기는 수소를 적어도 2% 포함하는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (d) 단계에서 열처리는 800 내지 1200 ℃의 온도에서 1 내지 5시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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제11항에 있어서,상기 기판은 상기 열처리 조건에서 안정적인 실리콘, 카본, 실리콘카바이드,카본-실리콘카바이드 복합체 또는 카본-카본 복합체로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전기분사법을 이용한 레늄 박막 제조방법
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