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유체가열과정에서 발생되는 기포의 압력을 이용하여 액적을 분사하는 미세 유체 분사기로서, 유체가 채워지는 분사실, 상기 분사실의 한 쪽 면에 형성된 분사공, 상기 분사실의 다른 쪽 면에 설치되는 미소히터, 및 상기 미소히터에 연결되고 상기 미소히터가 가열될 수 있도록 상기 미소히터에 전기신호를 인가시키는 다수의 입출력라인을 포함하고, 상기 미소히터의 발열면적 변화를 통해 상기 분사공으로 분사되는 액적의 크기를 조절할 수 있도록 전기신호가 인가되는 상기 입출력라인의 수 및 그 조합을 조절하는 것을 특징으로 하는 액적의 크기 조절이 가능한 미소유체분사기
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청구항 1에 있어서, 상기 미소히터는 다각형 또는 복수개의 다각형이 조합된 형태로 된 것을 특징으로 하는 액적의 크기 조절이 가능한 미소유체분사기
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청구항 1에 있어서, 상기 미소히터는 원형 또는 복수개의 원이 조합된 형태로 된 것을 특징으로 하는 액적의 크기 조절이 가능한 미소유체분사기
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청구항 1에 있어서, 상기 입출력라인은 상기 미소히터를 중심으로 사방으로 대칭되게 배열된 것을 특징으로 하는 액적의 크기 조절이 가능한 미소유체분사기
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청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미소히터에는 상기 입출력라인을 통해 인가된 전류의 집중현상 및 누설현상을 방지해 주는 홈이 상기 미소히터와 연결된 다수의 상기 입출력라인들 사이사이마다 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적의 크기 조절이 가능한 미소유체분사기
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청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미소히터에는 상기 입출력라인을 통해 인가된 전류의 집중현상 및 누설현상을 방지해 주는 홈이 상기 미소히터와 연결된 다수의 상기 입출력라인들 사이사이마다 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액적의 크기 조절이 가능한 미소유체분사기
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