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질소의 기화 및 액화 원리를 이용한 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치에 있어서,밀폐된 내부에 액체질소와 기체질소가 채워져 있는 상태로 하나 이상 형성되는 질소보관용기(10)와;상기 질소보관용기(10) 내에 구비되어 외부에서 전달되는 극저온의 냉기로 인해 기체질소를 냉각하여 액체질소로 변환하는 냉각핀(20)과;상기 질소보관용기(10) 내에 구비되어 외부에서 전달되는 고열에 의해 액체질소를 가열하여 기체질소로 변환하는 히터(30)와;상기 각각의 질소보관용기(10)의 일측에 연통되도록 연결되어 질소보관용기(10) 내의 질소의 액화량이 기화량보다 크면 내부의 압력이 낮아져 길이가 수축되고, 상기 질소보관용기(10) 내의 질소의 기화량이 액화량보다 크면 내부의 압력이 높아져 길이가 이완되는 질소측 벨로우즈(40)와;상기 각각의 질소측 벨로우즈(40)의 끝단부에 연결되어 질소측 벨로우즈(40)의 길이가 이완되면 길이가 수축되고, 상기 질소측 벨로우즈(40)의 길이가 수축되면 길이가 이완되어 내부에 충진된 기체헬륨이 왕복유동되는 헬륨측 벨로우즈(50)와;상기 각각의 헬륨측 벨로우즈(50)의 끝단부에 연결되어 상기 헬륨측 벨로우즈(50) 내의 기체헬륨이 압력차에 의해 내부에서 왕복유동되는 헬륨가스라인(60)과;상기 질소측 벨로우즈(40)와 헬륨측 벨로우즈(50) 사이에 형성되어 질소와 헬륨이 상호 섞이지 않도록 차단해주는 분리판(70);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치
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제 1항에 있어서,상기 냉각핀(20)은 외부에 구비된 극저온 냉동기(Cryocooler,3)와 연결되어 극저온의 냉기가 전달됨으로써, 기체질소를 지속적으로 냉각하는 것을 특징으로 하는 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치
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제 1항에 있어서,상기 히터(30)는 열선으로 형성되어 양끝단부가 질소보관용기(10)의 외부로 돌출되고, 상기 돌출된 열선은 외부에 구비된 직류전원장치(DC Power supply)와 연결되어 전위차에 의해 발생된 열이 전달되는 것을 특징으로 하는 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치
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제 1항에 있어서,상기 헬륨측 벨로우즈(50)와 헬륨가스라인(60) 사이에는 상호 연결시켜주면서 하나 이상의 헬륨측 벨로우즈(50)를 한번에 기계적으로 고정하는 연결판(80)이 형성되는 것을 특징으로 하는 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치
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제 1항에 있어서,상기 질소보관용기(10)와, 질소측 벨로우즈(40)와, 헬륨측 벨로우즈(50)는 두 개씩 형성되어 질소보관용기(10) 내의 질소 압력에 의해 각각의 질소측 벨로우즈(40)가 반대로 이완/수축되고, 상기 헬륨측 벨로우즈(50)도 질소측 벨로우즈(40)와 반대로 이완/수축되는 것을 특징으로 하는 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 헬륨가스라인(60)은 두 개의 헬륨측 벨로우즈(50)의 끝단부에 연통되도록 형성되어 하나로 형성됨으로써, 상기 질소측 벨로우즈(40)와 헬륨측 벨로우즈(50)의 이완/수축에 의해 기체헬륨이 일측 헬륨측 벨로우즈(50)에서 타측 헬륨측 벨로우즈(50)로 타측 헬륨측 벨로우즈(50)에서 일측 헬륨측 벨로우즈(50)로 왕복유동되는 것을 특징으로 하는 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치
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제 6항에 있어서,상기 헬륨가스라인(60)에는 왕복유동되는 기체헬륨에 의해 온도 구배가 발생하는 AMR(Active Magnetic Regenerator,1)이 연결되는 것을 특징으로 하는 극저온용 기체 헬륨 왕복 유동장치
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