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정밀 이송장치에 있어서,적어도 어느 한 쪽 방향으로 이송 운동이 가능한 이송부재(2)를 갖는 가이드 모듈과;상기 이송부재(2)를 이송 구동시키는 구동모듈이 포함되고,상기 구동모듈은,상기 이송부재(2)의 이송방향에 대하여 수직으로 설치되고, 전단 변형을 이용하여 상기 이송부재(2)를 구동시키는 가동수단과;상기 가동수단을 이송부재(2)에 밀어붙여 예압을 발생시키는 예압수단과;상기 이송부재를 예압수단측에 고정 및 해제시키는 죔 수단을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 압전 구동기를 이용한 장행정 정밀 이송 장치
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제 1항에 있어서, 상기 가동수단은, 전단 변형 압전구동기(9)와;상기 전단 변형 압전구동기(9)의 상면에 설치된 마찰패드(10)와;상기 전단 변형 압전구동기(9)를 받이하여 예압수단측에 고정시키는 가동장치 고정부(11)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 압전 구동기를 이용한 장행정 정밀 이송 장치
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제 1항에 있어서,상기 예압수단은,예압지그(8)와;상기 예압지그(8)에 나사 결합된 예압조절나사(19)와;상기 예압조절나사(19)에 의해 지지되어, 상기 가동수단과 죔 수단을 지지하는 예압장치 지지부(6)와;상기 예압장치 지지부(6)와 상기 예압조절나사(19)의 사이에 개재된 디스크 스프링(20)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 압전 구동기를 이용한 장행정 정밀 이송 장치
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제 3항에 있어서,상기 예압장치 지지부(6)에는 탄성 반발하는 탄성지지부(5)가 더 포함되어 구성된 것을 특징으로 하는 압전 구동기를 이용한 장행정 정밀 이송 장치
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제 1항에 있어서, 상기 죔 수단은,죔장치 이송부재(13)가 구비된 죔 장치 고정부(14)와;상기 죔 장치 고정부(14)에 지지되어 상기 죔장치 이송부재(13)를 승강 이송시키는 죔 구동기(16)와;상기 죔장치 고정부(14)에 나사 결합되어 상기 죔 구동기(16)의 위치를 조절하는 죔장치 조절나사(18)를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 압전 구동기를 이용한 장행정 정밀 이송 장치
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제 5항에 있어서, 상기 죔장치 이송부재(13)는 탄성지지부(15)를 매개로 죔장치 고정부(14)에 구비된 것을 특징으로 하는 압전 구동기를 이용한 장행정 정밀 이송 장치
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제1항 내지 제 6항 중 어느 한 한 항에 있어서, 전단 변형 압전구동기(9)는 2개가 수직으로 적층 배열하여 X,Y축 구동이 가능하록 된 것을 특징으로 하는 압전 구동기를 이용한 장행정 정밀 이송 장치
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