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패턴 제조 방법 및 패턴 전사 장치

  • 기술번호 : KST2015118489
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패턴 제조 방법 및 패턴 제조 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 간단한 공정으로 패턴을 반복적, 연속적으로 제조할 수 있는 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴 제조 방법에 의하면, 기판 상에 소수성 코팅층을 형성한 후 레이저 응용 플라즈마를 이용하여 소수성 코팅층을 선택적으로 제거하여 표면 몰드를 형성하는 제1 단계; 표면 몰드 상에, 패턴 물질을 입히고 건조시킨 후 고온 소결시켜 코팅하는 제2 단계; 표면 몰드와 대상 기판을 서로 맞대어 가압하고, 표면 몰드에서 대상 기판 방향으로 또는 대상 기판에서 표면 몰드 방향으로 레이저를 조사하는 것에 의하여 표면 몰드 상의 패턴 물질과 대상 기판이 맞대어진 부위에 발생하는 대상 기판의 점성력에 의하여 패턴 물질이 대상 기판으로 전사되는 제3 단계를 포함한다.
Int. CL B29C 59/14 (2006.01) B29C 59/16 (2006.01) B41M 3/00 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020100103480 (2010.10.22)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1226086-0000 (2013.01.18)
공개번호/일자 10-2012-0042022 (2012.05.03) 문서열기
공고번호/일자 (20130124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.10.22)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양민양 대한민국 대전광역시 유성구
2 강봉철 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손재용 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** (역삼동, 미진빌딩*층)(KNP 특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0684530-78
2 보정요구서
Request for Amendment
2010.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0096800-13
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2010.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2010-0707782-40
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.12.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.01.18 수리 (Accepted) 9-1-2012-0006536-50
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0458293-77
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.19 수리 (Accepted) 1-1-2012-0758999-04
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0759000-08
9 등록결정서
Decision to grant
2013.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0033612-83
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 소수성 코팅층을 형성한 후 레이저 응용 플라즈마를 이용하여 상기 소수성 코팅층을 선택적으로 제거하여 표면 몰드를 형성하는 제1 단계;상기 표면 몰드 상에, 패턴 물질을 입히고 건조시킨 후 고온 소결시켜 코팅하는 제2 단계;상기 표면 몰드와 대상 기판을 서로 맞대어 가압하고, 상기 표면 몰드에서 상기 대상 기판 방향으로 또는 상기 대상 기판에서 상기 표면 몰드 방향으로 레이저를 조사하는 것에 의하여 상기 표면 몰드 상의 패턴 물질과 상기 대상 기판이 맞대어진 부위에 발생하는 대상 기판의 점성력에 의하여 상기 패턴 물질이 대상 기판으로 전사되는 제3 단계를 포함하는,패턴 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 단계는 상기 기판 상으로 비산되는 플라즈마 유발층의 파티클을 제거하는 단계를 더 포함하는,패턴 제조 방법
3 3
제2항에 있어서,상기 제1 단계는 상기 플라즈마 유발층의 파티클을 제거하기 전에 상기 표면 몰드를 고온에서 아닐링(annealing)하는,패턴 제조 방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2 단계에서 사용되는 상기 패턴 물질은 친수성의 유기금속잉크인,패턴 제조 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 제2 단계는 상기 친수성의 유기금속잉크를 입히고 건조시키고 고온 소결시키는 것을 복수회 반복하는,패턴 제조 방법
6 6
제4항에 있어서,상기 제2 단계는 상기 표면 몰드 상에, 소수성이 약한 물질을 먼저 코팅한 후, 상기 친수성의 유기금속잉크를 입히고 건조시키고 고온 소결시켜 코팅하는,패턴 제조 방법
7 7
제5항에 있어서,상기 제2 단계는 표면 몰드 상에 상기 친수성의 유기금속잉크를 코팅하기 전에 소수성이 약한 물질을 먼저 코팅하는,패턴 제조 방법
8 8
폴리머 물질을 포함하고, 일 면이 롤에 감겨져 있는 유연 기판;상면에 형성된 소수성 코팅층이 선택적으로 제거된 후 패턴 물질이 코팅되어 있으며, 상기 유연 기판의 하부에 서로 맞닿은 채로 가압되도록 배치되는 기판;상기 기판의 하면에 배치되어 상기 기판을 이동시키는 이동부; 및상기 기판으로부터 상기 유연 기판 방향으로 또는 상기 유연 기판으로부터 상기 기판 방향으로 레이저를 조사하는 레이저 조사부를 포함하고,상기 이동부를 작동시켜 상기 기판이 이동되면서, 상기 유연 기판과 상기 기판이 서로 맞대어 가압되며, 상기 레이저 조사부로부터의 상기 레이저에 의하여 상기 패턴 물질과 상기 유연 기판이 맞대어진 부위에서 발생하는 상기 유연 기판의 점성력에 의하여 상기 패턴물질이 상기 유연 기판으로 전사되는, 패턴 전사 장치
9 9
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10 10
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14 14
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102452239 CN 중국 FAMILY
2 EP02444844 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 EP02444844 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
4 JP05341966 JP 일본 FAMILY
5 JP24094855 JP 일본 FAMILY
6 KR101091702 KR 대한민국 FAMILY
7 KR101141026 KR 대한민국 FAMILY
8 US20110209749 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN102452239 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 JP2012094855 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JP5341966 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 US2011209749 US 미국 DOCDBFAMILY
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