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전기광학 폴리머 디지털 광스위치와 그를 이용한 고전압 측정방법

  • 기술번호 : KST2015118504
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기광학 폴리머 디지털 광스위치와 그를 고전압 측정용 집적광학센서로 이용하는 경우에 있어서의 고전압 측정방법에 관한 것이다. 본 발명의 디지털 광스위치는 광표백(photobleaching) 공정에 의해 형성된 와이 분기형 폴리머 광도파로(Y branch polymer waveguide)와 변조용 전극을 포함하여 이루어진다.본 발명의 디지털 광스위치는 각 출력 포트의 선형적인 전달 특성을 이용, 즉 광스위치의 두 출력 포트의 광파워간의 로그비(logarithmic ratio)를 이용함으로써 광파워와 파장의 변동에 영향을 받지 않고 교류 고전압을 측정할 수 있는 고전압센서로서 효과적으로 응용될 수 있으며, 제작시 폴링전압과 폴리머층들의 두께를 조절하여 측정전압 범위를 용이하게 증가시킬 수 있다.또한 본 발명의 전기광학 폴리머 디지털 광스위치는 간단하고 저가인 폴리머 공정을 통하여 여러 개의 소자를 한 기판 위에 동시에 제작할 수 있기 때문에 대량 생산이 가능한 장점이 있다.
Int. CL G02B 26/00 (2006.01)
CPC G02F 1/3137(2013.01) G02F 1/3137(2013.01) G02F 1/3137(2013.01) G02F 1/3137(2013.01)
출원번호/일자 1019970008891 (1997.03.15)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-0222321-0000 (1999.07.05)
공개번호/일자 10-1998-0073553 (1998.11.05) 문서열기
공고번호/일자 (19991101) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1997.03.15)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신상영 대한민국 서울특별시 강남구
2 이상신 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
1997.03.15 수리 (Accepted) 1-1-1997-0029039-78
2 출원심사청구서
Request for Examination
1997.03.15 수리 (Accepted) 1-1-1997-0029040-14
3 특허출원서
Patent Application
1997.03.15 수리 (Accepted) 1-1-1997-0029038-22
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
1997.03.26 불수리 (Non-acceptance) 1-1-1997-0029041-60
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.08 수리 (Accepted) 4-1-1999-0002352-05
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.01.18 수리 (Accepted) 4-1-1999-0008675-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.02.01 수리 (Accepted) 4-1-1999-0025779-69
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.03.03 수리 (Accepted) 4-1-1999-0041039-77
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
1999.06.21 수리 (Accepted) 4-1-1999-0085486-82
10 등록사정서
Decision to grant
1999.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-1999-0214211-36
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

광표백 공정에 의해 형성된 와이 분기형 폴리머 광도파로와 변조용 전극을 포함하여 이루어지는 특징으로 하는 전기광학 폴리머 디지털 광스위치

2 2

제1항에 있어서, 그라운드(GND)로 이용되는 하부전극(10)과; 상기 하부전극(10) 위에 형성되는 하부 클래딩층(20), 코어층(30)과; 상기 코어층(30)을 광표백함으로써 형성된 광표백층(40) 및 와이 분기형 폴리머 광도파로(50)와; 상기 광표백층(40) 및 와이 분기형 폴리머 광도파로(50) 위에 형성되는 상부 클래딩층(60), 및 상부전극(70)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기광학 폴리머 디지털 광스위치

3 3

제2항에 있어서, 고전압센서로 이용되는 경우 폴링전압과 상기 클래딩층(20)(60)의 두께를 조절함으로써 측정전압 범위를 용이하게 증가시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 전기광학 폴리머 디지털 광스위치

4 4

결정성을 갖는 반도체 웨이퍼(wafer)를 기판으로 사용하여 금속을 증착하여 하부전극을 형성하는 제1공정과; 형성된 하부전극 위에 하부 클래딩층, 코아층, 상부 클래딩층을 각각 스틴코팅하여 형성하는 제2 공정과; 상기 결과물 위에 하부전극과 같은 방법으로 상부전극을 형성하는 제3 공정과; 전기 광학효과를 유발시키기 위하여 전계 폴링을 수행하고, 이후 코아층 폴리머를 광표백하여 도파로를 만드는 제4 공정과; 구동용 전극을 형성하고, 광을 결합시키기 위하여 단면을 쪼개는 제5 공정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전기광학 폴리머 디지털 스위치의 제조방법

5 5

제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 구조를 갖는 전기광학 폴리머 디지털 스위치를 고전압센서로 이용하여 고전압을 측정함에 있어 수학식 1에 나타낸 전기광학 폴리머 디지털 광스위치의 두 출력포트의 광파워 P1 과 P2간의 로그비 R을 이용하는 것을 특징으로 하는 고전압 측정방법

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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.