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플라즈마 처리를 이용한 질화알루미늄 박막의 안정화 방법

  • 기술번호 : KST2015118578
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수소가 첨가된 질화알루미늄 박막 내의 화학적 안정성 및 질화알루미늄 박막의 표면평탄도를 향상시키기 위해 수소가 첨가된 질화알루미늄 박막을 플라즈마 처리를 이용하여 수소가 첨가된 질화알루미늄 박막의 안정화 방법에 관한 것이다. 본 발명은 마이크로파 플라즈마 처리를 이용하여 박막내부의 수소를 저온에서 효율적으로 제거시키고 알루미늄과 질소의 결합 밀도를 크게 향상시킴으로서 수소첨가의 가장 큰 문제점인 화학적 안정성 문제를 해결하고 또한 수소첨가에 의한 1차적으로 표면평탄도를 향상시킨 질화알루미늄 박막에 플라즈마 처리를 실시함으로써 플라즈마 기체의 이온 또는 라디칼이 질화알루미늄 박막의 표면에 충돌함으로써 2차적으로 질화알루미늄 박막의 표면평탄화가 진행되어 매우 높은 표면평탄도를 나타내는 양질의 질화알루미늄 박막을 제공하는 것을 목적으로 한다.
Int. CL C23C 4/10 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020000012023 (2000.03.10)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2001-0088037 (2001.09.26) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.03.10)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이재영 대한민국 대전광역시유성구
2 조민희 대한민국 대전광역시유성구
3 강윤선 대한민국 대전광역시유성구
4 김해열 대한민국 대전광역시유성구
5 박성철 대한민국 대전광역시유성구
6 강용묵 대한민국 대전광역시유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2000.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2000-0046179-12
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2001.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0348889-96
3 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2002.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2002-0045031-65
4 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2002.02.14 수리 (Accepted) 1-1-2002-5039267-75
5 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.
2002.03.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0071936-13
6 의견서
Written Opinion
2002.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2002-5063980-18
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2003.05.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0198433-30
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2004-0001933-29
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2004.03.19 수리 (Accepted) 4-1-2004-0012166-74
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

질화알루미늄 박막을 처리하는 공정에 있어서, 질화알루미늄 박막에 수소를 첨가하는 공정 후에 플라즈마 처리를 하여 질화알루미늄 박막의 표면탄성도 및 안정성을 향상시키는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리를 이용한 질화알루미늄 박막의 안정화 방법

2 2

제 1항에 있어서, 플라즈마 처리에 사용되는 기체는 질소 또는 아르곤, 헬륨, 네온, 크립톤, 세논중에서 선택된 1종류의 불활성기체인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리를 이용한 질화알루미늄 박막의 안정화 방법

3 3

제 1항에 있어서, 플라즈마 처리에 사용되는 기체는 질소와 아르곤, 헬륨, 네온, 크립톤, 세논중에서 선택된 1종류의 불활성기체를 질소:불활성기체=0

4 4

제 1항 내지 제 3항 중 선택된 어느 항에 있어서, 플라즈마 처리조건은 플라즈마 처리에 사용하는 기체유량 50∼100sccm, 압력 0

지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP03449979 JP 일본 FAMILY
2 JP13253778 JP 일본 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 DE10054593 DE 독일 DOCDBFAMILY
2 JP2001253778 JP 일본 DOCDBFAMILY
3 JP3449979 JP 일본 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.