| 1 |
1
전기 전도가 가능한 기판;상기 기판 상에 형성되는 패드층(pad layer);상기 패드층의 일측면에 형성되고, 상기 패드층과 전기적으로 연결되는 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층;상기 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층 위에 형성되는 마이크로-나노 복합체(Micro-Nano Complex); 및상기 패드층, 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층 및 마이크로-나노 복합체를 커버하고, 소정의 표면에너지를 갖는 고분자막 또는 자기조립 단분자막(Self Assembled Monolayer);을 포함하며,상기 패드층, 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층 및 마이크로-나노 복합체를 하나 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘(Silicon), 유리(Glass), 석영(Quartz), 세라믹(Celamic), 폴리머(Polymer) 또는 수지 중에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 패드층은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al),인-주석 산화물(Indium-Tin Oxide; ITO) 또는 산화 아연(Zinc Oxide; ZnO) 중에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서, 상기 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 인-주석 산화물(Indium-Tin Oxide; ITO) 또는 산화 아연(Zinc Oxide; ZnO) 중에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서, 상기 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층의 한 변의 길이는 적어도 100nm 이상인 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서, 상기 마이크로-나노 복합체(Micro-Nano Complex)는 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 팔라듐(Pd), 안티몬(Sb), 구리(Cu), BiSbTe, CdSe, FeNi, PbTe, BiSbTe 중에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자
|
| 7 |
7
제 1항에 있어서, 상기 고분자막 또는 자기조립 단분자막(Self Assembled monolayer)은, 테플론(Teflon),FOTS(CF3(CF2)5(CH2)2SiCl3), FOTES(CF3(CF2)5(CH2)2Si(OC2H5)3), FOMDS(CF3(CF2)5(CH2)2Si(CH3)Cl2),FOMMS(CF3(CF2)5(CH2)2Si(CH3)2Cl),FDTS(CF3(CF2)7(CH2)2SiCl3), OTS(CH3(CH2)17(CH2)2SiCl3) 중에서 선택된 어느 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자
|
| 8 |
8
제 1항에 있어서, 상기 패드층 및 상기 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층은 상기 기판 위에 적어도 2쌍 이상 배열되어 형성되는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자
|
| 9 |
9
친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자의 제조방법에 있어서, 기판상에 패드층을 형성하는 단계;상기 패드층 일측면에 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층을 기판상에 형성하는 단계;상기 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층위에 마이크로-나노 복합체를 형성하는 단계; 및 상기 패드층, 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층 및 마이크로-나노 복합체를 커버하고, 소정의 표면 에너지를 갖는 고분자막 또는 자기조립 단분자막(Self Assembled monolayer)을 기판상에 형성하는 단계;를 포함하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자의 제조방법
|
| 10 |
10
제 9항에 있어서, 상기 마이크로-나노 복합체의 형성단계에서,상기 마이크로-나노 복합체는 전기화학적 증착방법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자의 제조방법
|
| 11 |
11
제 9항에 있어서, 상기 마이크로-나노 복합체의 형성단계에서,상기 마이크로-나노 복합체는 전기화학적 증착의 용액, 증착 시간 또는 인가전압에 의해 표면 에너지가 조절되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자의 제조방법
|
| 12 |
12
제 11항에 있어서, 상기 전기화학적 증착의 용액은 HAuCl4
|
| 13 |
13
제 11항에 있어서, 상기 인가전압은 0
|
| 14 |
14
제 9항에 있어서, 상기 마이크로-나노 복합체의 형성단계에서,상기 마이크로-나노 복합체는 전기화학적 증착의 증착 시간에 의해 광흡수도가 조절되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자의 제조방법
|
| 15 |
15
제 9항에 있어서, 상기 패드층의 형성단계와 상기 마이크로-나노 복합체의 형성단계에서,상기 패드층 및 상기 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층은, 상기 기판 위에 적어도 2쌍 이상 배열하여 형성하고, 각각의 패드층과 마이크로-나노 복합체가 증착되는 층의 쌍마다 개별적으로 전압을 조절하여 마이크로-나노 복합체의 표면 에너지가 조절되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자의 제조방법
|
| 16 |
16
제 9항에 있어서, 상기 고분자막 또는 자기조립 단분자막(Self Assembled monolayer)의 형성단계에서,건조 식각(Dry etch) 또는 습식 식각(Wet etch)에 의해 상기 고분자막 또는 자기조립 단분자막의 소정의 영역만을 선택적으로 식각하여 소수성을 조절하는 것을 특징으로 하는 친수성과 소수성의 조절이 가능한 소자의 제조방법
|
